• 제목/요약/키워드: sub 100nm CMOSFETs.

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Capacitance - Voltage 방법을 이용한 MOSFET의 유효 채널 길이 추출 (Accurate Extraction of the Effective Channel Length of MOSFET Using Capacitance Voltage Method)

  • 김용구;지희환;한인식;박성형;이희덕
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제41권7호
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    • pp.1-6
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    • 2004

  • 나노 급 소자에서의 성능이 유효 채널 길이에 대하여 더욱 민감하게 되므로 정확한 유효 채널 길이의 추출이 중요하다. 본 논문에서는 100 ㎚ 이하의 MOSFET에서 유효 채널 길이를 추출하기 위하여 새로운 정전용량-전압(Capacitance-Voltage) 방법을 제안하였다. 제안한 방법에서는 게이트와 소스와 드레인 사이의 정전용량(C/sub gsd/)를 측정하여 유효 채널 길이를 추출하였다. 그리고 추출된 유효 채널 길이와 기존의 1/β 과 Terada 방법 그리고 다른 정전용량-전압 방법의 추출된 유효 채널 길이의 결과들과 비교하여 본 논문에서 제안한 추출방법이 100 ㎚ 이하 크기의 MOSFET의 유효 채널 길이를 추출함에 타당함을 증명하였다.

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