1 Giga급 집적회로 구현을 위한 3차원 산화 공정 시뮬레이터 개발 및 산화층 성장 특성 분석에 관한 연구 (Development of three-dimensional thermal oxidation process simulator and analysis the characteristics of multi-dimensional oxide growth)
-
- 전자공학회논문지A
- /
- 제32A권8호
- /
- pp.107-118
- /
- 1995