Fabrication and Performance Evaluation of Thin Polysilicon Strain Gauge Bonded to Metal Cantilever Beam (금속 외팔보에 접착된 박막 실리콘 스트레인 게이지의 제작 및 성능 평가)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.34 no.4
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- pp.391-398
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- 2010