Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.14
no.5
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pp.258-262
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2013
Poly(2,3-naphthalenevinylene-alt-N-ethylhexyl-3,6-carbazolevinylene), 2,3-PNCPV, poly(2,6-naphthalene vinylenealt- N-ethylhexyl-3,6-carbazolevinylene), 2,6-PNCPV, and poly(1,4-naphthalenevinylene-alt-N-ethylhexyl-3,6- carbazolevinylene), 1,4-PNCPV were synthesized through the Wittig polycondensation reaction. The conjugation lengths of the polymers were controlled by differently linked naphthalenes in the polymer main chain. The resulting polymers were completely soluble in common organic solvents, and exhibited good thermal stability at up to $400^{\circ}C$. The synthesized polymers showed UV-visible absorbance and photoluminescence (PL) in the ranges of 357-374 nm and 487-538 nm, respectively. The carbazole and 2,3-linked naphthalene containing 2,3-PNCPV showed a blue PL peak at 487 nm. A single-layer light-emitting diode was fabricated with an ITO/polymer/Al configuration. The electroluminescence (EL) emission of 2,3-PNCPV was shown at 483 nm.
Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2007.06a
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pp.179-182
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2007
Polycrystaline (poly) 3C-SiC thin film on n-type and p-type Si were deposited by APCVD using HMDS, $H_2$, and Ar gas at $1180^{\circ}C$ for 3 hour. And then the schottky diode with Au/poly 3C-Sic/Si(n-type) structure was fabricated. Its threshold voltage ($V_d$), breakdown voltage, thickness of depletion layer, and doping concentration ($N_D$) value were measured as 0.84 V, over 140 V, 61nm, and $2.7{\times}10^{19}\;cm^3$, respectively. The p-n junction diode fabricated by poly 3C-SiC was obtained like characteristics of single 3C-SiC p-n junction diode. Therefore, its poly 3C-SiC thin films are suitable MEMS applications in conjuction with Si fabrication technology.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.22
no.3
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pp.235-238
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2009
This paper describes the mechanical properties of poly (Polycrystalline) 3C-SiC thin films with $N_2$ in-situ doping. In this work, the poly 3C-SiC film was deposited by APCVD (Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) method using single-precursor HMDS (Hexamethyildisilane: $Si_2(CH_3)_6)$ at $1200^{\circ}C$. The mechanical properties of doped poly 3C-SiC thin films were measured by nono-indentation according to the various $N_2$ flow rate. In the case of 0 sccm $N_2$ flow rate, Young's Modulus and hardness were obtained as 285 GPa and 35 GPa, respectively. Young's Modulus and hardness were decreased according to increase of $N_2$ flow rate. The crystallinity and surface roughness was also measured by XRD (X-Ray Diffraction) and AFM (Atomic Force Microscopy), respectively.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.18-19
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2008
Polycrystalline(poly) 3C-SiC film is a promising structural material for M/NEMS used in harsh environments, bio and fields. In order to realize poly 3C-SiC based M/NEMS devices, the electrical properties of poly 3C-SiC film have to be optimized. The n-type poly 3C-SiC thin film is deposited by APCVD using HMDS$(Si_2(CH_3)_6)$ as single precursor and are in-situ doped using N2. Resistivity values as low as 0.014 $\Omega$cm were achieved. The carrier concentration increased with doping from $3.0819\times10^{17}$ to $2.2994\times10^{19}cm^{-3}$ and electronicmobility increased from 2.433 to 29.299 $cm^2/V{\cdot}s$.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1999.05a
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pp.677-680
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1999
Rapid developing automation technology enhances the need of sensors. Among many materials, silicon has the advantages of electrical and mechanical property, Single-crystalline silicon has different piezoresistivity on 야fferent directions and a current leakage at elevated temperature, but poly-crystalline silicon has the possibility of controling resistivity using dopping ions, and operation at high temperature, which is grown on insulating layers. Each wafer has slightly different thicknesses that make difficult to obtain the precisely same thickness of a diaphragm. This paper deals with the fabrication process to make poly-crystalline silicon based pressure sensors which includes diaphragm thickness and wet-etching techniques for each layer. Diaphragms of the same thickness can be fabricated consisting of deposited layers by silicon bulk etching. HF etches silicon nitride, HNO$_3$+HF does poly -crystalline silicon at room temperature very fast. Whereas ethylenediamice based etchant is used to etch silicon at 11$0^{\circ}C$ slowly.
Cloud-point data to $160^{\circ}C$ and 1,000 bar are presented with poly(ethylene-co-15.3 mole% octene) copolymers ($PEO_{15}$) in pure 1-octene and mixtures of ethylene - 1-octene. The cloud-point curves for $PEO_{15}$ - ethylene - 1-octene mixture dramatically increase in pressure to as high as 1,000 bar with an increasing ethylene concentration. At ethylene concentrations less than 18 wt%, the ternary mixture has bubble- and cloud-point curves. As the ethylene concentration of the ternary mixture increases, the bubble-point curve and the single-phase region reduce. The reduction in the single phase region with increasing ethylene concentrations is the result of reduced dispersion interactions between $PEO_{15}$ and the mixed solvent. The single-phase region decreases with increasing temperatures when ethylene concentrations are lower than 36 wt%, whereas the single-phase region increases with temperatures at ethylene concentrations greater than 50 wt%. At ethylene concentrations greater than 50 wt% the effect of the polar interactions of the mixed solvent, which is unfavorable to dissolve PEO, is greater than the effect of the density of the mixed solvent. Therefore, the cloud-point pressures increase with a decreasing temperature. However, at ethylene concentrations less than 50 wt%, the cloud-point pressures decrease with temperature, because the effect of the polar interactions is less than the density effect.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.06a
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pp.199-200
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2009
This paper describes the electrical properties of polycrystalline (poly) 3C-SiC thin films with different nitrogen doping concentrations. The in-situ-doped poly 3C-SiC thin films were deposited by using atmospheric-pressure chemical vapor deposition (APCVD) at $1200^{\circ}C$ with hexamethyldisilane (HMDS: $Si_2$$(CH_3)_6)$ as a single precursor and 0 ~ 100 sccm of $N_2$ as the dopant source gas. The peaks of the SiC (111) and the Si-C bonding were observed for the poly 3C-SiC thin films grown on $SiO_2/Si$ substrates by using X-ray diffraction (XRD) and Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) analyses, respectively. The resistivity of the poly 3C-SiC thin films decreased from $8.35\;{\Omega}{\cdot}cm$ for $N_2$ of 0 sccm to $0.014\;{\Omega}{\cdot}cm$ with $N_2$ of 100 sccm. The carrier concentration of the poly 3C-SiC films increased with doping from $3.0819\;{\times}\;10^{17}$ to $2.2994\;{\times}\;10^{19}\;cm^{-3}$, and their electronic mobilities increased from 2.433 to $29.299\;cm^2/V{\cdot}S$.
This paper describes the electrical characteristics of polycrystalline (poly) 3C-SiC thin film diodes, in which poly 3C-SiC thin films on n-type and p-type Si wafers, respectively, were deposited by APCVD using HMDS, $H_{2}$, and Ar gas at $1150^{\circ}C$ for 3 hr. The schottky diode with Au/poly 3C-SiC/Si (n-type) structure was fabricated. Its threshold voltage ($V_{bi}$), breakdown voltage, thickness of depletion layer, and doping concentration ($N_{D}$) value were measured as 0.84 V, over 140 V, 61 nm, and $2.7{\times}10^{19}cm^{-3}$, respectively. Moreover, for the good ohmic contact, Al/poly 3C-SiC/Si (n-type) structure was annealed at 300, 400, and $500^{\circ}C$, respectively for 30 min under the vacuum condition of $5.0{\times}10^{-6}$ Torr. Finally, the p-n junction diodes fabricated on the poly 3C-Si/Si (p-type) were obtained like characteristics of single 3CSiC p-n junction diode. Therefore, poly 3C-SiC thin film diodes will be suitable for microsensors in conjunction with Si fabrication technology.
Poly(ethylene terephthalate)(PET) filaments were treated in binary mixtures of organic solvents such as benzyl alcohol/perchloroethylene(BA/PER), benzyl alcohol/trichloroethylene(BA/TRI), benzyl alcohol/ethylene chloride(BA/EC), methanol/perchloroethylene (ME/PER), and methanol/trichloroethylene(ME/TRI). From the equilibrium swelling of PET, total and partial isotherms of PET for sorption of solvent mixtures and isotherms for distribution of the components between the phases were taken. Also the shrinkage and the crystallinity of PET treated with binary mixtures were investigated. The results obtained were summerized as follows: 1. All isotherms for distribution of the components between the phase deviated from the diagonal in system of PET-binary mixtures. Especially in the binary mixtures of ME/PER or ME/TRI, selectivo sorption of chlorinated hydrocarbon PER and TRI by PET occured. 2. The shrinkage of PET treated in binary mixrures was increased to compare with single solvent-treated, but the composition of binary mixtures corresponding to maximum values of shrinkage was not always agreed with the composition of binary mixtures corresponding to maximum values of shrinkage was not always agreed with the composition of binary mixtures exhibiting of the maximum swelling of PET. 3. The crystallinity of PET treated in binary mixtures generally increased than that of single solvent-treated.
Poly(vinyl alcohol) (PVA) and N-(2-hydroxy)propyl-3-trimethylammonium chitosan chloride (HTCC), a water soluble chitosan derivative synthesized by the reaction of quaternary ammonium compound with chitosan, were blended using water as a solvent and the PVA/HTCC blend films with various compositions were prepared by solution casting method. The miscibility between the two polymers and the thermal properties of the blend films were investigated using FT-IR, DSC, DMA, and TGA. Single glass transition temperatures and single melting temperatures of the blend films along with the strong and clear film state for the whole composition of blending ratios suggest the miscibility between PVA and HTCC. The PVA/HTCC blend films with HTCC content of 1% and greater showed excellent antimicrobial activity.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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