• 제목/요약/키워드: single crystal magnetic garnet film

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광 CT용 자성 가넷 막의 에피택시 육성 및 평가 (Epitaxial Growth and Evaluation of Magnetic Garnet Films for Optical Current Transducers)

  • 조재경
    • 한국자기학회지
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    • 제17권6호
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    • pp.246-252
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    • 2007
  • 본 논문에서는 출발원료 배합비 및 육성 파라미터가 LPE(Liquid Phase Epitaxy)법으로 육성된 자성 가넷 막의 특성에 미치는 영향을 조사하며, 광 CT의 페러데이 회전자용으로서 적합한 막의 육성 조건을 제시한다. 막을 평가하기 위하여 조사한 특성은 막후, 표면 모폴로지, X선 회절, 격자상수, 막과 기판(단결정 비자성 가넷 웨이퍼)사이의 격자상수의 부정합, 페러데이 회전각 등이었다. 또한, 육성된 자성 가넷 막을 이용하여 광 CT를 제작하고, 성능을 평가했다.

YIG 단결정 후막의 열처리의 효과 (Effect of Annealing for YIG Single Crystal Thick Films)

  • 김근영;윤석규;김용탁;이성문;윤대호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권9호
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    • pp.855-858
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    • 2003
  • Liquid Phase Epitaxy (LPE)법으로 Yttrium Iron Garnet (YIG:Y$_3$Fe$_{5}$O$_{12}$) 단결정 후막을 성장시킬 때 PbO계 응제에서는 Pb 이온이 성장되는 결정내로 혼입되어 성장된 막의 격자상수를 증가시키고, 일축 자기이방성 상수값(Ku)을 변화시키거나 전기 전도도를 변화시킨다. 또한 광 흡수율을 증가시키는 등의 성장된 막의 물성에 악영향을 미친다. 열처리 후 Pb 이온의 휘발로 인한 결정내의 농도감소로 성장된 단결정 후막의 격자상수가 평균 0.0115$\AA$ 감소하였다.

YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG 단결정 후막의 성장과 특성 (Growth and Characteristics of YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG Single Crystal Thick Films)

  • 윤석규;김근영;김명진;이형만;김회경;윤대호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권7호
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    • pp.672-676
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    • 2003
  • Y$_3$Fe$_{5}$O$_{12}$(YIG), $Y_3$Fe$_{5}$O$_{12}$(Bi:YIG), TbBi:YIG를 (GdCa)$_3$(GaMgZr)$_{5}$O$_{12}$ (SGGG)기판 위에 Liquid Phase Epitaxy (LPE)법으로 단결정 후막을 성장시켰다. 기판회전속도, 과냉도, 성장시간을 고정하여 치환되는 원소의 종류와 양에 따라 가네트 단결정의 격자상수, Bi 치환양, 표면형상, 자기적 특성을 조사하였다. TbBi:YIG 조성의 경우 격자상수는 12.500 $\AA$으로 기판의 격자상수인 12.496 $\AA$에 근접하게 나타났으며, 포화자계는 150 Oe로 향상된 결과가 나타났다.