CO2가스를 이용하여 증착된 터널층의 계면포획밀도의 감소와 이를 적용한 저전력비휘발성 메모리 특성 (Decrease of Interface Trap Density of Deposited Tunneling Layer Using CO2 Gas and Characteristics of Non-volatile Memory for Low Power Consumption)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제29권7호
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- pp.394-399
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- 2016