Effects of the Electrical Characteristics of Capacitive Relative Humidity Sensor by Polyimide Film and Upper Electrode Grain by Sputtering Method (폴리이미드 박막과 스퍼터링 방법으로 증착한 상부금속 그레인이 용량형 습도센서의 전기적 특성에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.24 no.3
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- pp.224-228
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- 2011