• 마케팅과학연구
• /
• 제20권3호
• /
• pp.269-277
• /
• 2010

现有文献表明, 影响服务业顾客忠诚的最重要因素是服务质量. 然而, 在服务质量是直接还是间接影响顾客忠诚方面, 学者们的观点有着明显的分歧. 目前, 中国国内专门针对移动通信行业服务质量与顾客忠诚之间关系的文章较少. 此外, 以往相关文献多是将顾客忠诚作为一个整体变量进行研究, 没有进一步将其细分为多个维度. 基于此, 本文拟通过实证研究来探析移动通信业服务质量各维度与顾客忠诚各维度之间的直接和间接影响机理, 其中选择顾客满意作为二者关系的中介变量, 希望研究结论能给国内移动通信企业的服务管理提供有效的理论指导. 为了使搜集到的数据有效, 本次调研范围仅限于黑龙江哈尔滨市, 调查对象为移动通信公司的用户. 本次调研采取随机抽样的方式, 共发放问卷350份, 收回问卷325份, 回收率为 92.9%. 剔除无效问卷, 有效问卷为289份, 即有效回收率为82.6%. 本文借鉴国内外现有文献所使用的量表, 这些量表已经在实证研究中得到验证. 本文提出六个假设, 总体而言, 只有四个假设没有得到支持. 为了验证服务质量构成要素量表的合理性, 本文对289份有效样本进行探索性因子分析. 同样, 对顾客忠诚的维度进行检验. 本研究采用Cronbach's ${\alpha}$系数来评价量表的信度. 本研究从内容效度, 结构效度和聚合效度三方面对问卷进行效度检验. 本研究对数据和模型的拟合优度进行检验, 以提高假设检验的准确程度. 通过文献资料的收集, 整理及数据处理, 本文提出了服务质量五维度模型以及服务质量与顾客忠诚度之间相互关系模型, 通过实证分析验证了有形性, 可靠性, 反应性, 保证性和关怀性是服务质量的五个构成要素, 验证了PZB对于服务质量的SERVQUAL的测量方法, 研究了移动通信服务质量各维度对顾客忠诚各维度的直接影响机理, 以及服务质量各维度如何通过顾客满意这一中介变量对顾客忠诚各维度的间接影响机理, 建立了相应的关系模型,并运用结构方程分析方法,对模型进行实证检验, 得出如下研究结论: 第一, 移动通信服务质量由有形性, 可靠性, 响应性, 保证性和移情性五个要素构成, 顾客忠诚由态度忠诚和行为忠诚两个维度构成. 在PZB设计的SERVQUAL量表基础上, 本文针对移动通信行业设计了服务质量测量量表, 通过探索性因子分析得出五个因子. 这五个因子与五构成要素基本一致, 说明服务质量五要素概念适用于移动通信行业. 同样, 对顾客忠诚量表进行因子分析, 得出两个因子, 与本文中的态度忠诚和行为忠诚相一致. 第二, 移动通信服务质量对顾客忠诚存在直接和间接的正向影响作用. 其中, 服务质量对态度忠诚有直接和间接的正向作用, 间接作用是通过顾客满意这一中介变量影响的; 服务质量对行为忠诚有直接和间接的正向作用, 间接作用是通过顾客满意和态度忠诚这两个中介变量影响的. 这说明移动通信服务质量越好, 顾客的满意度越高, 其对服务提供商的态度就越积极, 在行为上就越容易表现出对服务提供商的忠诚. 而且, 服务质量各维度对顾客忠诚各维度的影响机理是不同的, 比如: 有形性对顾客满意有直接的正向作用, 但对顾客忠诚却没有显著的直接作用; 保证性对顾客满意没有显著的直接作用, 但对顾客忠诚有直接和间接的正向作用. 第三, 顾客满意在移动通信服务质量与态度忠诚, 行为忠诚之间的具有显著的中介作用, 这说明服务质量的提高可以增加顾客的满意度, 而满意的顾客更容易成为忠诚的顾客; 而态度忠诚在移动通信服务质量与行为忠诚之间的具有显著的中介作用, 这说明顾客行为上表现出忠诚可能是虚假忠诚, 只有态度和行为都忠诚的顾客才是真正的忠诚顾客. 本文的研究结论对中国及其它国家的电信运营商如何提升服务质量有一定的借鉴意义. 本文存在两方面的局限性: 首先, 本研究仅在黑龙江哈尔滨地区进行问卷调研, 针对移动公司用户, 统计数据会存在一定的抽样误差, 影响最终的统计分析结果. 第二, 本研究主要探讨了服务质量对顾客忠诚的影响关系, 并引入了顾客满意作为中介变量, 但没有考虑其他可能影响顾客忠诚的因素, 例如顾客价值, 消费者特征等.

• 수면정신생리
• /
• 제20권1호
• /
• pp.35-40
• /
• 2013

목 적: 임상실제에서 하지불안증후군(restless legs syndrome, RLS) 환자들의 수면다원검사 결과의 특징과 약물치료의 현황을 자연적인 후향성 연구로 조사하는 것이다. 방 법: 임상적으로 RLS의 진단기준을 만족하며 수면다원검사를 시행 받고 치료받은 18세 이상 환자들의 의무기록을 검토하여 분석하였다. 대상자들에 대해 초진시 International Restless Legs Syndrome Study Group(IRLSSG)의 4가지 진단기준과 국제하지불안척도(International Restless Legs Scale, IRLS)를 평가하고 야간수면다원검사와 제안부동검사(suggested immobilization test, SIT)를 시행하였고, 도파민효현제로 한 달간 약물치료 후 IRLS를 재평가하였다. 결 과: 분석에 포함된 총 대상자수는 211명으로 남자가 94명(44.5%), 여자가 117명(55.5%)이었고 평균연령은 46.9세였다. 폐쇄성수면무호흡증이 136명(64.5%), PLMD가 53명(25.1%)에서 동반되어 다른 수면장애를 동반한 환자의 수는 185명(87.7%)이었다. 수면다원검사결과 수면효율은 78.0%, 수면중각성시간(wake after sleep onset)는 86.8분, N3는 3.4%였다. 평균 무호흡저호흡지수(apnea hypopnea index)는 시간당 12.4회, PLMS는 시간당 14.8회, SIT 중 PLMW는 시간당 41.2회였다. 수면중 총 각성지수는 시간당 21.6회였다. 전체 환자 중 ropinirole을 복용한 환자는 149명(70.6%), pramipexole을 복용한 환자수는 47명(22.3%)이었고 ropinirole은 평균 0.9 mg(용량범위 0.125~5 mg), pramipexole은 평균 0.5 mg(용량범위 0.125~4 mg)을 사용하였다. Ropinirole의 용량은 연령과 유의한 양의 상관관계를 보였고(r=0.25, p=0.002), IRLS와도 유의한 양의 상관관계를 보였다(r=0.23, p=0.038). IRLS는 초진시 24.9점에서 1달 뒤 13.4점으로 감소하였다. 결 론: 본 연구의 분석결과 임상적으로 RLS 진단이 가능한 환자 중에 다른 수면장애를 동반하는 경우가 대다수였다. PLMD에 해당되는 사람은 25.1%로 기존 보고보다 적었고 평균 PLMS도 시간당 14.8회로 높지 않았다. 사용하는 도파민효현제의 용량은 한국에서 허가용량으로 승인받은 용량보다 더 높은 경우가 많았다. 향후 이 주제에 대한 전향적이고 통제된 대규모의 연구가 필요하다.

• Journal of Acupuncture Research
• /
• 제19권3호
• /
• pp.107-114
• /
• 2002

Objective : This study was designed to find the most effective and safest way to overcome Lumbago due to blood stasis and sprain involved in a few Meridian Tendino-musculatures by evaluating the effect of two kinds of Dong-gi(Dong-qi) Acupuncture(DGA) and by reporting their side effects. Material : 97 patients of out and admission patients were selected, who were diagnosed with lumbar sprain caused by repetitive bending, heavy weight lifting, unsuitable posture, concussion and falling down and whose Lumbago due to blood stasis and sprain in the concept of oriental medicine. Methods : 97 patients were divided into three groups. One is exclusive DGA group to which DGA and the method retaining needles on the acupoints for about 20 minutes were applied, the other is DGA combined active exercise group in which patients stretched their Meridian Tendino-muscuIatures with their hips moving up and downward repeatedly during DGA, the third is DGA combined passive exercise group in which patients were made to flex or extend their bodies on the auto flexion-distraction table in a prone position, from 10 to 20 degree, during DGA. In each group, bed rest, physical therapy and herbal medicine were used according to symptoms, in addition to DGA. In DGA method, "Su(Shu)" points of the meridian related to the involved Meridian Tendino-musculature were mainly chosen, that is, Sokkol(Shugu, B65), Hugye(Houxi, SI3), ChungJo(Zhongzhu, TE3) were used, for most LBP belonged to Bladder and Gallbladder Meridian Tendino-musculature disorders. Pyong-Bo-Pyong-Sa(Ping-Bu-Ping-Xie) such as Dong-Gi and Yeom-Jeon(Nian-Zhuan) was applied as Bo-Sa method. For evaluation of effectiveness, new score system was devised by severity of pain and range of movement. the score was given twice at patients' first and last visit and the difference between first and last score was regarded as a evaluation scale, the effectiveness was classified into four grade by evaluation scale.(scale : 12-15; excellent, 8-11; good, 4-7; fair, 0-3; bad) Results : 1. Exclusive DGA, DGA combined active exercise and DGA combined passive exercise group showed 97, 87 and 89% in effectiveness. 2. Exclusive DGA, DGA combined active exercise and DGA combined passive exercise group showed no aggravation of pain, range of movement. 3. In blood test of 34 patients, only one patient showed abnormal rise of sGOT, sGPT and $\gamma$-GTP at his first visit and the others didn't show any detrimental change. DGA had no bad influence upon BUN and creatinine of patients. Conclusion : For complex theraphy combining DGA, exercise, physical therapy and Herbal medicine proved to be highly effective on treating lumbago due to blood stasis and sprain, this is expected to be available for clinical use.

• 한국보건간호학회지
• /
• 제10권1호
• /
• pp.118-138
• /
• 1996

Because of accelerated urbanization public body visiting nursing project that started according as matter of health on urban class in the lower brackets of income was concentrated on Social interests has a unsatisfied points to propel project efficiently from the lack of rating materials. Therefore centering around written contents in documentary literature of citizen health by household in five years from starting year of project to now. visiting frequency by medical manpower was evaluated quantitatively and qualitatively in aspect of management hereupon. for the sake of giving a basic materials for public health project of this field. This research presents documentary literature of citizen health which become materials is that as one person's charged region of nurse in duty scale. district is Kang-Buck Gu. the object is resident in the lower brackets of income grounded livelihood protection law and who is admitted by the head of organ~chief of health care). and the number of material centering around the head of a household is 415 copy. The result of research is summarized. as follow. 1. Average visiting frequency examinated by medical manpower show difference according to valuables of supervision characteristics namely average visiting. Frequency of nurse has long term residence in case registration season is early and supervision season is the first year and is high incase a kind of house is unlicdnsed mountain town. Average visiting frequency with doctor is high incase supervision season is the first year and the medical insurance system is admitted by chief of health care. That shows that a man of discomfort behavior left alone are yet many in local society. The meaning of this result shows that the continuity of official relation about class in the lowest brackets of income of long term residence goes well between househole who is a user of visiting nursing service of the object according to midway income under management influences a given duty of nurse s and so causes quantitative decrease. 2. In case behavier and condition of health that nurse diagnoses are bad. as the type matter is a lack of health and the number of patient is large. the average visiting frequency of nurse is high. because average visiting frequency with doctor is high as the condition of health is bad and the number of patient is large. That is similar with that of nurse. CD Average visiting frequency of nurse s seen by matter of disease is very high only in apoplexy by 39.50 and is confined within limits from 7.63 to 11.36 in other disease. But average visiting frequency with doctor is double as many as that of nurse but defined in apoplexy hypertension and articulate. (1) Average visiting frequency of nurse by existence in inoculation of hepatitis is low by 6.73 in unidentified group and very high by 26.89 in group of non-inoculation and the case of the antigenic positive man of B type hepatitis or epileptic who can't be inoculated shows 13.00 and that even family nursing service is needed to them. That result shows that though one person nurse of local charge has a large scale of duty. as visting nursing service is given a class who has a large demand preferentially by respectively accurate nursing diagnosis. the number of diagnosis service is similar with it. 3. During five years. average visiting frequency of nurse is 10.84 and average visiting frequency with doctor is 76.50 seeing from the official scale of nurse. visiting by household is performed two more per year to the average. Seeing this by type of service. average visiting frequency of nurse is higher in indirectly nursing than in directly nursing and that suggests that at the time of visiting household nurse performs education of protection lively save patient but at the time of contrastedly visiting with doctor. directly nursing is more contents of service show no difference by man power and medication dressing by demand is 14.3 and 18.6 the aid of hardship term of doctor and nurse is high by 18.7 and 17.00 in the request of hospitalization when seeing by demands. 4. Action by turns exemplified 1994 is well in sequence of 2/4 turn. 3/4 turn. 1/4 turn. 4/4 turn. When seen by average visiting frequency of nurse but gradually is even. Without difference by turns. average visiting frequency of doctor is much higher in 1/4 turn than other turns. Type of service by turns is all even but directly nursing is inactive in 4/4 and indirectly nursing. Very increases in 4/4 and so. Nurse's quantity of duty is plentiful that shows that by evaluation of last turn and plan of project. Contents of service follows that medication and dressing is the highest by' 5.57 in 1/4turn. goes down gradually by turn. becomes 3.57 in 3/4 turn. and increases again by 4.83 in 4/4 turn. the rest service is higher in 2/4 turn than other turns. 5. Total visiting frequency of nurse is explained to total $37.5\%$ by six valuables of visiting frequency of doctor. nursing demand. demand of diagnosis. condition of behavior. year. Special terms and magnitude of influential power is the same as sequence of enumerated valuables. Namely. the higher the visiting frequency of doctor. the bigger nursing and demand of diagnosis is. the worse the condition of behavior is. the older the object is and the more the household of special terms is. the high total visiting frequency of nurse is.

• 한국지역지리학회지
• /
• 제3권1호
• /
• pp.63-80
• /
• 1997

본 연구의 목적은 쓰레기 매립장의 입지선정 기준을 정립하고, 경상북도 영양군을 사례로 GIS 기법을 이용하여 실제 쓰레기 매립장의 입지후보지를 선정한 다음, 선정된 후보지를 상호비교하여 적정입지의 요인별 특성을 제시하는 것이다. 분석에 사용된 GIS소프트웨어는 Idrisi모듈인 Multi-Criteria Evaluation(MCE)이다. 영양군 쓰레기 매립장 입지선정에 이용된 입지요인은 경사도, 단층선, 기반암과 인구밀집지역, 상수원, 하천, 범람원, 도로 그리고 휴양관광지와의 거리등 9개 요인이다. 입지요인의 표준화와 요인별 가중치를 이용한 적합도와 배제기준을 적응한 결과 쓰레기 매립장 건립 불가지역은 시가지와 그 인접지역, 산악지역, 하천, 간선도로, 휴양관광지 및 그 인접지역으로 전체면적의 85.3%에 해당하는 $695.08km^2$였다. 쓰레기 매립장 적정입지 후보지로는 수비면 신암리, 청기면 행화리와 무진리 그리고 석보면 포산리등 3개지역 총 25개 지점이 선정되었다.

• 한국수자원학회논문집
• /
• 제55권spc1호
• /
• pp.1251-1260
• /
• 2022

최근 상수관망은 노후화 및 관 내 스케일의 박리로 인해 적수 사고등 수질사고가 지속적으로 발생하고 있다. 관내 퇴적되어있는 스케일은 평상시엔 안정화되어 문제를 야기하지 않지만, 상수관망 시스템의 급격한 유속 및 유향 변화 등에 의해 발생하는 수충격에 의해 박리된 후 수용가로 유입되며 수질사고를 야기한다. 이를 사전에 방지하기 위해서는 주기적인 관세척으로 스케일을 제거할 필요가 있다. 관세척공법 중 가장 보편적으로 사용되는 방법은 플러싱으로 현재 국내·외에서 관세척을 위한 유속 및 세척기준 연구가 활발하게 진행되고 있다. 하지만, 플러싱 공법 적용 시 적정유속 기준에 관한 연구가 주로 진행되어, 세척시 관내 적정유속 확보여부를 사전에 검토하기 위한 구체적인 방안에 관한 연구는 미흡한 실정이다. 관 세척시 용수는 소화전 또는 이토변을 통과하면서 주손실과 미소손실이 발생하며, 이는 관 내 유속에 영향을 미치는 요인으로 세척효과 분석에 직접적인 영향을 준다. 이에 본 연구는 Minorloss Coefficient와 Emitter Coefficient를 적용한 모의를 통해 플러싱 적용 시 관 내 유속을 분석하는 수리해석 방법을 제안하였다. 제안한 방법을 예시관망과 A시 일부구역에 적용하여 적절성을 검토하고, 소화전과 이토변의 세척효과를 비교하였다. 적용 결과 소화전을 통과하는 수리학적 조건을 고려하지 않은 경우, 실제 발생하는 손실을 고려하지 못해 소화전에서 방출 가능한 유량 대비 큰 유량과 유속이 산출되는 결과를 보였고, 이토변의 경우는 긴 세척구간에도 세척유속과 유량의 확보가 용이하여 소화전에 비해 시간적. 효율적으로 큰 세척효과가 있을 것으로 판단하였다. 하지만, 실제 상수관망의 적용 시 이토변은 소화전에 비해 설치 개수가 적어 적용이 제한적이다. 이와같은 특성을 이해하여 실무자의 판단과 대상지역의 특징에 따라서 적절한 세척계획을 수립하는 것이 필요할 것으로 판단된다.

• 한국지역지리학회지
• /
• 제3권2호
• /
• pp.37-87
• /
• 1997

만경강유역을 하나의 연장선상에 놓고 연구한 결과, 그 공간상에서 역사와 더불어 형성발달해온 시공연속체를 확인할 수 있었다. 만경강상류에서 하류 하구연안에 이르는 면장공간상에서의 개간과정은 여말에서 부터 시작되어 오늘에 이른 것으로 볼 수 있다. [기원지-지향지] 지향가설에서 본 개간과정에서 개간의 기원지는 만경강상류 산간계곡의 지류곡지 개간을 효시로 하여 기원지가 이루어지고, 조선조 중기까지는 수방대책의 발달과 더불어 하천 중류까지 진출하고, 하천 본류에 대한 하류지역의 계간은 하천의 규모와 유수량의 증가로 인한 하안의 홍수와 범람을 극복할 수 있는 인공제방을 축조할 수 있는 기술수준에 이른 1920년대에 들어서야 본격화되고, 그후 연이어 하구연안의 간석지 개간도 시행되어 개간의 개척첨단이 이들 지향지인 해안간석지일대에 형성되는 것을 볼 수 있다. 시간의 흐름과 더불어 각 시기마다 공간의 변화도 수반되어 시공연속체가 발달하는 것을 볼 수 있다. 취락의 경우 개간과정에 따라 산간계곡 산록일대에서는 주변입지적 집촌, 하천중류와 하류에서는 중앙입지적 집촌, 하천하구 간석지에서는 중앙입지적 열촌형태가 우세하게 나타났다.

• 지능정보연구
• /
• 제23권1호
• /
• pp.1-22
• /
• 2017

사업타당성 분석이나 기업 기술가치평가 등 미래의 사업에 대한 진입이나 투자 타당성을 분석하기 위해서는 새로운 사업과 관련한 시장을 추정하고 그 안에서 확보 가능한 매출을 객관적으로 추정하는 과정이 필수 불가결하다. 이런 신규 매출이나 시장규모의 추정 방법은 다양한 방법으로 구분이 가능한데 크게 정량적인 방법과 정성적인 방법으로 구분할 수 있다. 그러나 두 가지 방법 모두 많은 자원과 시간을 필요로 한다. 그래서 우리는 신규 사업의 평가지원을 위한 데이터 기반의 지능형 매출 예측 시스템을 제안하고자 한다. 본 연구는 사업타당성 분석이나 기술가치평가를 위한 신규 사업의 매출 추정 시스템을 개발하는데, 알고리즘 기반으로 전통적인 정량 예측방법 중 하나인 유추방법에 주목했다. 동일한 국내 산업에서 최근 창업한 기업의 매출 실적을 국내 신규 사업의 매출액을 추정하는 유추 대상 변수로 활용할 수 있는지 검토한다. 여기서 유추예측 대상은 최초 매출액과 초기 성장률이며, 주요 비교 차원은 산업분류, 창업시기 등이 고려된다. 특히 본 연구는 우리나라 창업 기업이 가지는 매출 성장률의 평균회귀 현상을 활용하는 지능형 정보 지원 시스템을 제안하다. 본 연구에서는 신규 매출 추정을 위해서 역사적 자료인 창업 매출 실적을 활용하는 방법이 적절한지 판단하기 위해서 잠재성장모형 등을 활용해 산업분류에 따른 신규 사업의 초기 매출액과 연도별 성장률이 산업분류별로 차이가 있는지 분석한다. 기존 기업의 창업 후 4년간 매출 성과의 종단자료를 잠재성장모형으로 분석하는데, 특정 산업분류에서 차이를 보여주는지 분석해 산업분류가 유추 예측에서 고려해야할 유의미한 변수인지 분석하는 것이다. 본 연구의 결과는 신속하고 객관적인 신규 사업 매출 추정을 가능하게 하는 지능형 정보시스템을 개발하게 해서 사업성타당성 분석이나 기술가치평가 과정의 효율성을 개선시켜 줄 것으로 기대된다.

• 정신신체의학
• /
• 제21권1호
• /
• pp.62-71
• /
• 2013

연구목적 본 연구는 경기도 일지역의 음주실태, 위험음주와 알코올사용장애의 정도 및 지역사회 음주정책 요구도 조사를 위해 수행되었다. 방 법 연구대상자는 경기도 안산시 거주 19세 이상 65세 미만 성인 1,000명으로 2011년 6월부터 7월까지 두 달 간 조사하였다. 조사설문지는 연구목적에 의해 구성한 사회인구학적 특성 문항, Alcohol Use Disorder Identification Test(AUDIT)와 Cut down, Annoyed, Guilty, Eye-opener(CAGE) 척도, 지역사회 음주문제 해결에 대한 서비스 및 정책 요구도에 대한 문항으로 구성하였다. 자료분석은 SPSS version 18.0 통계프로그램을 이용하였다. 결 과 대상군의 평생음주율은 97.4%이고, 이들 중 21.9%가 주 2~4회 음주 빈도를 보였으며, 유해음주 빈도는 남성의 24.4%로 남성 4명 중 1명은 한 번의 좌석에서 소주 한 병 또는 맥주 4병 이상을 마시는 빈도가 주 1회 이상이었다. 음주시작 연령은 평균 20.3세이나 19세 이전에 음주를 시작하는 경우가 51.6%이었다. AUDIT 척도를 적용한 유해음주 및 알코올사용장애의 비율은 각각 14.9%, 3.3%, CAGE 척도 기준을 적용하였을 때 알코올사용장애자는 9.6%였다. 조사응답자들의 지역사회 음주문제에 대한 서비스 및 정책요구도는 예방교육(57.2%), 치료시설 연계(50.1%), 알코올상담과 개입(41.7%), 그리고 재활프로그램(39.8%) 순이었다. 결 론 본 연구결과, 경기도 도시 지역의 유해음주와 알코올사용장애 등 문제음주의 정도는 높은 비율로 나타나며, 지역주민들의 음주문제 관련 요구도와 음주시작연령에 대한 고려를 통해 효과적인 음주예방프로그램과 정책개발이 요구된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
• /
• pp.239-240
• /
• 2008

As semiconductor devices are scaled down for better performance and more functionality, the Cu-based interconnects suffer from the increase of the resistivity of the Cu wires. The resistivity increase, which is attributed to the electron scattering from grain boundaries and interfaces, needs to be addressed in order to further scale down semiconductor devices [1]. The increase in the resistivity of the interconnect can be alleviated by increasing the grain size of electroplating (EP)-Cu or by modifying the Cu surface [1]. Another possible solution is to maximize the portion of the EP-Cu volume in the vias or damascene structures with the conformal diffusion barrier and seed layer by optimizing their deposition processes during Cu interconnect fabrication, which are currently ionized physical vapor deposition (IPVD)-based Ta/TaN bilayer and IPVD-Cu, respectively. The use of in-situ etching, during IPVD of the barrier or the seed layer, has been effective in enlarging the trench volume where the Cu is filled, resulting in improved reliability and performance of the Cu-based interconnect. However, the application of IPVD technology is expected to be limited eventually because of poor sidewall step coverage and the narrow top part of the damascene structures. Recently, Ru has been suggested as a diffusion barrier that is compatible with the direct plating of Cu [2-3]. A single-layer diffusion barrier for the direct plating of Cu is desirable to optimize the resistance of the Cu interconnects because it eliminates the Cu-seed layer. However, previous studies have shown that the Ru by itself is not a suitable diffusion barrier for Cu metallization [4-6]. Thus, the diffusion barrier performance of the Ru film should be improved in order for it to be successfully incorporated as a seed layer/barrier layer for the direct plating of Cu. The improvement of its barrier performance, by modifying the Ru microstructure from columnar to amorphous (by incorporating the N into Ru during PVD), has been previously reported [7]. Another approach for improving the barrier performance of the Ru film is to use Ru as a just seed layer and combine it with superior materials to function as a diffusion barrier against the Cu. A RulTaN bilayer prepared by PVD has recently been suggested as a seed layer/diffusion barrier for Cu. This bilayer was stable between the Cu and Si after annealing at $700^{\circ}C$ for I min [8]. Although these reports dealt with the possible applications of Ru for Cu metallization, cases where the Ru film was prepared by atomic layer deposition (ALD) have not been identified. These are important because of ALD's excellent conformality. In this study, a bilayer diffusion barrier of Ru/TaCN prepared by ALD was investigated. As the addition of the third element into the transition metal nitride disrupts the crystal lattice and leads to the formation of a stable ternary amorphous material, as indicated by Nicolet [9], ALD-TaCN is expected to improve the diffusion barrier performance of the ALD-Ru against Cu. Ru was deposited by a sequential supply of bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium [Ru$(EtCp)_2$] and $NH_3$plasma and TaCN by a sequential supply of $(NEt_2)_3Ta=Nbu^t$ (tert-butylimido-trisdiethylamido-tantalum, TBTDET) and $H_2$ plasma. Sheet resistance measurements, X-ray diffractometry (XRD), and Auger electron spectroscopy (AES) analysis showed that the bilayer diffusion barriers of ALD-Ru (12 nm)/ALD-TaCN (2 nm) and ALD-Ru (4nm)/ALD-TaCN (2 nm) prevented the Cu diffusion up to annealing temperatures of 600 and $550^{\circ}C$ for 30 min, respectively. This is found to be due to the excellent diffusion barrier performance of the ALD-TaCN film against the Cu, due to it having an amorphous structure. A 5-nm-thick ALD-TaCN film was even stable up to annealing at $650^{\circ}C$ between Cu and Si. Transmission electron microscopy (TEM) investigation combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis revealed that the ALD-Ru/ALD-TaCN diffusion barrier failed by the Cu diffusion through the bilayer into the Si substrate. This is due to the ALD-TaCN interlayer preventing the interfacial reaction between the Ru and Si.