As the size of the integrated circuit is scaled down the importance of Si cleaning has been emphasized. One of the major concerns is abut the removal of metallic impurities such as Cu and Fe on Si surface. In this study, we intentionally contaminated Cu and Fe on the Si wafers and cleaned the wafer by cleaning splits of the chemical mixture of $\textrm{H}_2\textrm{O}_2$ and HF and the combination of HF treatment with UV/$\textrm{O}_3$ treatment. The contamination level was monitored by TXRF. Surface microroughness of the Si wafers was measured by AFM. The Si wafer surface was examined by SEM. AES analysis was carried out to analyze the chemical composition of Cu impurities. The amount of Cu impurities after intentional contamination was abut the level of $\textrm{10}^{14}$ atoms/$\textrm{cm}^2$. The amount of Cu was decreased down to the level of $\textrm{10}^{10}$ atoms/$\textrm{cm}^2$ by cleaning splits. The repeated treatment exhibited better Cu removal efficiency. The surface roughness caused by contamination and removal of Cu was improved by repeated treatment of the cleaning splits. Cu were adsorbed on Si surface not in a thin film type but in a particle type and its diameter was abut 100-400${\AA}$ and its height was 30-100${\AA}$. Cu was contaminated on Si surface by chemical adsorption. In the case of Fe the contamination level was $\textrm{10}^{13}$ atoms/$\textrm{cm}^2$ and showed similar results of above Cu cleaning. Fe was contaminated on Si surface by physical adsorption and as a particle type.
Journal of Dental Rehabilitation and Applied Science
/
v.32
no.3
/
pp.194-201
/
2016
Purpose: The purpose of this study was to evaluate of Zirconium Nitride (ZrN) coating on shear bond strength with denture base resin in Co-Cr and Ti-6Al-4V alloy. Materials and Methods: Co-Cr and Ti-6Al-4V alloy disks (10 mm in diameter, 2.5 mm in thickness; each other: n = 14) were prepared and divided with 2 groups each other by ZrN coating. After primer was applied to disks surface, denture base resin with diameter 6 mm, height 5 mm was bonded on metal disk surface. After surface roughness was measured by Profiler, shear bond strength was determined with Universal testing machine and analyzed with two-way ANOVA. The specimen surfaces and failure mode were examined using a scanning electron microscope. Results: ZrN coated groups showed significantly higher rough surface than non-coated groups (P < 0.05). Irrespective of alloy materials, shear bond strength of ZrN coated groups were lower than non-coated groups (P < 0.001). The scanning electron microscope (SEM) of ZrN coated groups showed mixed and adhesive fractures. Conclusion: ZrN coating weakened bonding strength between denture base resin and Co-Cr, Ti-6Al-4V alloy.
Kim, Dong-Hee;Ryu, Dong-Woo;Kim, Su-Chul;Yoon, Sang-Kil;Lee, Woo-Jin
Journal of the Korean Geotechnical Society
/
v.23
no.11
/
pp.67-76
/
2007
The characteristics of rockfall are determined by virtually all factors and conditions e.g. the physical figure of the slope such as inclination, height, roughness, the elemental figure of the slope such as vegetation and material deposited, and the shape and weight of the rockfall itself. Although it is one of the major factors to be considered in rockfall simulation, little attention has been given to the weight of the rockfall. And, since the size of the rockfall is dominated by joint spacing, the distribution of the rockfall block weight can be predicted as a function of the joint spacing. In this study, the weight distribution of rockfall was estimated by using the method of volumetric joint count, $J_{\nu}$, based on joint spacing, and $RQD-J_{\nu}$. The results indicate that the weight distributions were analogous in two methods, and the distribution was to be $75.3{\sim}76.7%$ for 200 kilograms or lesser, $15.0{\sim}16.6%$ for $200{\sim}400$ kilograms, and $6.7{\sim}9.7%$ for 400 kilograms or more, which show good matches with the actual on-site weight distribution. Therefore, the weight distribution of rockfall suggested in this paper is able to be considered as appropriate data for rockfall simulation.
Dong-Guk Kim;Deok-kyu Yoon;Yongchan Lee;Min-Uk Kim;Jihyoung Roh;Yohan Seo;Kwan-Su Kang;Young Hun Jeong;Kyung-Ah Kim;Tae-Ha Song
Journal of Biomedical Engineering Research
/
v.44
no.6
/
pp.404-413
/
2023
In this research, we studied the development of a SUS304 microneedle array based on microfabrication technology and the applicability of Parylene-C thin film, a medical polymer material. First of all, four materials commonly used in the field of medical engineering (SUS304, Ti, PMMA, and PEEK) were selected and a 5 ㎛ Parylene-C thin film was deposited. The applicability of Parylene-C coating to each material was confirmed through SEM analysis, contact angle measurement, surface roughness(Ra) measurement, and adhesion test according to ASTM standards for each specimen. Parylene-C thin film was deposited based on chemical vapor deposition (CVD), and a 5 ㎛ Parylene-C deposition process was established through trial and error. Through characteristic experiments to confirm the applicability of Parylene-C, SUS304 material, which is the easiest to apply Parylene-C coating without pretreatment was selected to develop a microneedle array based on CNC micromachining technology. The CNC micromachining process was divided into a total of 5 steps, and a microneedle array consisting of 19 needles with an inner diameter of 200 ㎛, an outer diameter of 400 ㎛, and a height of 1.4 mm was designed and manufactured. Finally, a 5 ㎛ Parylene-C coated microneedle array was developed, which presented future research directions in the field of microneedle-based drug delivery systems.
Veneers of two nominal thicknesses, 1.5 and 2.5mm, were rotary peeled from Japanese larch (Larix leptolepis). Dahurian larch (Larix gmelinei) and Radiata pine (Pinus radiata) bolts unheated and heated in the water vat temperature of $66^{\circ}C$ by rising a final temperature at 10cm core of $60^{\circ}C$ to remain core diameter of 11.4cm. 1.5 and 2.5mm thick veneer cut from the heated Japanese larch were significantly thinner than those of the unheated bolt and 2.5mm thick veneer cut from the heated Dahurian larch were significantly thicker than that of the unheated bolt. 1.5mm thick Dahurian larch veneer and 1.5 and 2.5mm thick Radiata pine veneers showed insignificant difference between the unheated and heated bolts, respectively. Check distance on the loose side of 1.5mm thick veneer cut from the heated Radiata pine was significantly wider than that of the unheated bolt. However check distances on the loose side of 1.5 and 2.5mm thick Japanese larch and Dahurian larch veneers and 2.5mm thick Radiata pine veneers showed insignificant difference between the unheated and heated bolts. Also the depth of check on the loose side of three species showed insignificantly difference between the unheated and heated bolts. Arithmatic mean deviation($R_a$) and maximum height($R_{max}$) of the profile on the loose side of dried veneer by preheating the bolt compared with unheated bolts were different among apecies and between veneer thickness. The preheating treatment slightly affected qualities of these thin veneers such as 1.5 and 2.5mm. The yield of 2.5mm thick veneer from the heated radiata pine was significantly higher than that of the unheated bolt. However the yield of 2.5mm thick veneer for other two species and 1.5mm thick veneer for three species showed insignificant difference between the unheated and heated bolts. The yield of 2.5mm thick veneer for three species were higher than those of 1.5mm thick veneer. The average yields of green veneer of Japanese larch. Dahurian larch and Radiata pine were 57.1, 55.1 and 54.0 percent, respectively. Variables such as initial MC. drying time and veneer thickness had strong effect for Japanese larch veneer, less effect for Radiata pine veneer and nuch less effect on final MC for Dahurian larch veneer in jet drying. Correlation between the current MC and the drying time of Dahurian larch with low variation of initial MC was higher than those of Japanese larch and Radiata pine veneer with high variation of initial MC in high temperature drying. Thickness shrinkages of 2.5mm thick veneer for Japanese larch and Radiata pine were higher than those of 1.5mm thick veneers, but shrinkages of Dahurian larch veneer were similar between two nominal veneer thicknesses.
The purpose of this study is to acquire essential data to reduce the amount of woody debris resulted from the debris flow. This research examined topographic characteristics of the channelbed affecting generation, movement and storage of woody debris and woody characteristics related to number, sizes, shapes, decay, storage direction to mountainous stream. 1. The number of woody debris had a tendency to increase in proportion to stream width, but it was hardly affected by longitudinal gradient of stream. Especially, the greater amount of woody debris was stored at wide section of the stream with compound channel, and it was found in deposits of channelbed rather than in the present channel. 2. Total woody debris over 10cm in diameter and over 2m in length was 402 units and storage number was 35.3 units per 100m of stream. Average diameter of breast height and length were 14cm and 4m, respectively. The woody debris appeared shorter in length and greater in diameter at down-stream than up-stream. 3. Since woody debris met sediments and bed-materials of great roughness in moving, the greater amount of woody debris without root was found in up-stream and down-stream, but deformed woody debris was discovered in upper stream. Decay of woody debris was more severe in down-stream and woody debris on rotting process was found down-stream. 4. Storage direction of woody debris was mainly parallel to center line of stream, and rate of parallel and perpendicularity was 276 and 126 units, respectively. But, as woody debris storing to the perpendicular direction was unstable, the traveling debris could easily be stored. Therefore, some counterplan was required to prevent the traveling woody debris. 5. Tree species of woody debris was mainly larch, which occupied about two third of total woody debris(256 units). The woody debris of larch is easy to move due to hitting of channelbed materials or lower channelbed fluctuation because the lower part of larch is weaker than its upper part. Therefore, the section of the tree species planting in the riparian vegetation needs much more carefulness.
Selection of the plant material for planting to reduce fine dust should comprehensively consider the visual characteristics, such as the shape and texture of the plant leaves and form of bark, which affect the adsorption function of the plant. However, previous studies on reduction of fine dust through plants have focused on the absorption function rather than the adsorption function of plants and on foliage plants, which are indoor plants, rather than the outdoor plants. In particular, the criterion for selection of fine dust reduction species is not specific, so research on the selection criteria for plant materials for fine dust reduction in urban areas is needed. The purpose of this study is to identify the priorities of eight indicators that affect the fine dust reduction by using the fuzzy multi-criteria decision-making model (MCDM) and establish the tree selection criteria for the urban planting to reduce fine dust. For the purpose, we conducted a questionnaire survey of those who majored in fine dust-related academic fields and those with experience of researching fine dust. A result of the survey showed that the area of leaf and the tree species received the highest score as the factors that affect the fine dust reduction. They were followed by the surface roughness of leaves, tree height, growth rate, complexity of leaves, edge shape of leaves, and bark feature in that order. When selecting the species that have leaves with the coarse surface, it is better to select the trees with wooly, glossy, and waxy layers on the leaves. When considering the shape of the leaves, it is better to select the two-type or three-type leaves and palm-shaped leaves than the single-type leaves and to select the serrated leaves than the smooth edged leaves to increase the surface area for adsorbing fine dust in the air on the surface of the leaves. When considering the characteristics of the bark, it is better to select trees that have cork layers or show or are likely to show the bark loosening or cracks than to select those with lenticel or patterned barks. This study is significant in that it presents the priorities of the selection criteria of plant material based on the visual characteristics that affect the adsorption of fine dust for the planning of planting to reduce fine dust in the urban area. The results of this study can be used as basic data for the selection of trees for plantation planning in the urban area.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.