역 임프린팅을 이용한 sub-100nm급 Hydrogen Silsequioxane 패턴 형성에 대한 연구 (Fabrication of sub-100nm sized Hydrogen Silsequioxane patterns using reversal imprint lithography)

• 양기연;이헌;김종우;윤경민;배병주
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.153-154
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  • 2007
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역 임프린트 공정을 이용한 양면 다층 나노 구조물 제작 (Fabrication of sub-micron double patterned structure using reversal imprint)

• 한강수;홍성훈;이헌
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.489-490
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  • 2006
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역 임프린트를 이용한 sub micron급 2차원 나노 패턴의 적층 구조물 제작

• 한강수;홍성훈;이헌
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2006년도 추계학술발표대회 및 제11회 신소재 심포지엄
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  • pp.28.1-28.1
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  • 2006
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나노임프린트 리소그래피를 통한 sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구

• 한강수;홍성훈;이종화;이헌
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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  • pp.40.2-40.2
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  • 2006
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