Fabrication of Polycrystalline Si Films by Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing and Their Application to Thin Film Transistors (Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.24 no.9
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- pp.443-450
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- 2014