A HIGH-ASPECT-RADIO COME ACTUATOR USING UV-LIGA SURFACE MICROMACHINING AND (110) SILICON BULK MICORMACHINING (UV-LIGA 표면 미세 가공 기술과 (110) 실리콘 몸체 미세 가공 기술을 이용한 큰 종횡비의 빗모양 구동기 제작에 관한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- v.49 no.2
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- pp.132-139
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- 2000