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잔류가스분석기 (RGA)의 작동원리 (Operating Principle of Residual Gas Analyzer)

  • 박창준
    • 한국진공학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.262-269
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    • 2008

  • 진공시스템 안의 잔류가스를 측정하여 공정제어에 이용되는 잔류가스분석기의 주요부품인 이온원, 사중극자질량분석기, 이온검출부의 작동원리와 사용 상 발생될 수 있는 문제점 및 가능한 해결방법을 소개한다.

  • https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.4.262 인용 PDF KSCI