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(NiFe/CoFe)/Cu/CoFe Spin-Valve 박막의 자기저항 특성 (Magnetoresistive of (NiFe/CoFe)/Cu/CoFe Spin-Valvec)

  • 오미영;이선영;이정미;김미양;이장로
    • 한국자기학회지
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    • 제7권5호
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    • pp.265-273
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    • 1997
  • 연자성 자유자성층과 피속박자성층을 각각 2중층 Ni$_{81}$fe$_{19}$/ $Co_{90}$ Fe$_{10}$$Co_{90}$ Fe$_{10}$로 하고, 반강자성 속박층을 NiO로 하는 NiFe/CoFe/Cu/CuFe/NiO 구조를 갖는 spin-valve 박막을 sputtering 방법으로 유리기판위에 제작하고, 자기저항비(MR), 자기장감응도(field sensitivity), 반강자성층과 피속박자성층사이의 교환결합 자기장(exchange coupling field), 자유자성층과 피속박자성층사이의 층간결합자기장(interlayer coupling field) 등의 비자성 사이층 Cu 두께, 자유자성층두께, 피속박자성층 두께 및 반강자성층 두께 의존성을 조사하였다. 2중층 자유자성층에 연자성 NiFe가 20 .angs. 이상 포함됨으로써 10 Oe의 보자력을 가져 연자성특성을 향상시키는 것을 확인할 수 있었다. Cu의 두께가 30 .angs. 일 때 극대 MR비를 가졌으며 두께증가에 따라 감소하는 경향을 보였다. 피속박자성층 CoFe의 두께가 35 .angs. 일 때 그대 MR비 6.3%를 나타내며 두께증가에 따라 감소하며 교환결합자기장도 CoFe 두께가 증가함에 따라 감소하였다. NiO 두께가 800 .angs. 일 때 극대 MR비를 보이며 교환결합자기장은 두께증가에 따라 50 Oe 정도로 포화되어 NiO가 반강자성 특성을 유지하기 위해서는 일정한 두께이상이 되어야 함을 알 수 있었다. 열처리온도 200 .deg. C 까지는 MR비 5.3%를 유지하다 이보다 높하지면 점점 감소하여 300 .deg. C에서도 약 3% 정도를 유지하여 열적 안정성이 향상되었다. 따라서 CoFe 합금을 사용하여 NiFe(40 .angs. )/CoFe(50 .angs. )/Cu(30 .angs. )/CoFe(35 .angs. )/NiO(800 .angs. ) 구조를 갖는 spin-valve 박막은 극대 MR비 6.3%, 유효자기장감응도 약 0.5(%/Oe)를 보여 spin-valve head 재료로 적합함을 알 수 있었다.다.다.다.

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추출조건에 따른 차가버섯 생리활성 및 면역활성 다당 (Pharmacological Activity of Chaga Mushroom on Extraction Conditions and Immunostimulating Polysaccharide)

  • 백길훈;정헌상;김훈;윤택준;서형주;유광원
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제41권10호
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    • pp.1378-1387
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    • 2012
  • 추출조건에 따른 생리활성 영향을 검토하기 위하여 차가버섯(Inonotus obliquus)을 물($50^{\circ}C$ reflux, $90^{\circ}C$ 이상 decoction, $12^{\circ}C$ 가압추출)과 에탄올(50, 70과 $90^{\circ}C$ reflux)로 추출한 후 물 추출물을 조다당획분(IO-CP)으로 분획하였을 때 IO-CP(4.8~16.8%)의 수율은 에탄올추출물(IO-E, 1.9~2.7%)보다 높았으며 추출온도 증가에 따라 그 차이는 더 컸다. 가압추출로 조제된 조다당획분(IO-CP-121)은 가장 높은 총 폴리페놀 및 플라보노이드 함량(35.10 mg TAE/g와 18.48 mg QE/g)과 DPPH와 ABTS를 이용한 자유 라디칼소거능(26.08과 27.99 mg AEAC/100 mg)을 나타내었다. IO-CP-D(decoction)와 IO-CP-50(reflux)은 IO-CP-121보다 유의적으로 높은 마이토젠(saline 대조군의 2.10과 1.95배, 100 ${\mu}g/mL$)과 장관면역 활성(6.30과 5.74배)을 보였으나 에탄올추출물 활성은 확인되지 않았다. 또한, 모든 IO-CP는 0.1 mg/mL 농도에서 RAW 264.7 세포주에 대하여 독성을 나타내지 않았으나, IO-CP-121이 LPS-자극 RAW 264.7 세포주에 대하여 가장 유의적으로 염증성 인자인 TNF-${\alpha}$와 nitric oxide(NO) 생성을 억제하였다(29.2와 63.5%). 에탄올추출물도 0.1 mg/mL 농도에서 독성을 보이지 않았으나 TNF-${\alpha}$와 NO의 생성 억제능은 IO-CP-121보다 현저히 낮음을 알수 있었다. 한편, 활성 다당획분을 분리하기 위하여 면역활성 획분인 IO-CP-D를 DEAE-Sepharose CL-6B column에서 비흡착 획분(IO-CP-I)과 7개의 흡착 획분(IO-CP-II~VIII)으로 분획한 결과, IO-CP-II가 가장 우수한 마이토젠과 마크로파지 활성(4.51과 1.64배)을 나타내었다. 이와 같이 분리된 면역활성 획분인 IO-CP-II는 주로 중성당(61.86%)과 함께 소량의 산성당(2.96%)을 포함하고 있는 다당류임이 밝혀졌으며, 주요 구성당으로서 Glc, Gal와 Man(molar ratio of 1.00:0.55:0.31)를 포함하고 있음을 확인할 수 있었다. 이러한 결과로부터 추출조건은 차가버섯 생리활성에 중요하게 작용하고 있으며, decoction 추출방법으로 제조하여 분획한 면역활성 획분으로부터 차가버섯 면역활성은 적어도 중성 다당류가 관여하고 있음을 알 수 있었다.

동맥전환술을 시행한 대혈관전위 환자에서 심초음파를 이용한 술후 추적 (Echocardiographic Follow-up after Arterial Switch Operation for Transposition of the Great Arteries)

  • 한승세;정태은;이동협;오정훈;이정철
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제34권10호
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    • pp.754-762
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    • 2001
  • 배경: 영낡치대 흥부외과학교실에서 1989년부터 1998년 사이에 대혈관전위로 동맥전환술을 받고 6개월 이상 추적관찰한 환자 8례를 대상으로, 동맥 전환술의 효용도를 평가하기 위해 반복적인 심초음파 검사를 시행한 후 그 자료를 후향적으로 분석하였다. 대상 및 방법: 추적관찰기간은 평균 4.1년이었고 최단 6개월에서 최장 11년이었다. 대성환자의 연령은 평균 29일(범위 3∼56일)이었고 체중은 평균 3.6kg(범위 2.6∼4.8kg)이었다. 술 전 진단은 TGA+VSD가 5례, TGA+IVS가 3례이었다. 좌심실 shortening fraction, 좌심실 수축기 시간간격(left ventricle systolic time interval, LVSTI), 우심실 수축기 시간간격(right ventricle systolic time interval, RVSTI), 그리고 좌심실구축률(EF)을 측정하여 좌심실의 기능을 평가하였다. 대동맥과 폐동맥의 최고 수축기압차 속도 (peak systolic pressure gradient velocity, PSPGV), 판막의 폐쇄부전상태, 좌심방/대동맥비(LA/Ao ratio), 대동맥과 폐동맥 근부의 크기, 등을 정상치와 비교하여 판막의 기능과 대혈관의 성장을 평가하였다. 결과: 좌심실구축률은 평균 65.0+9.03%이었으며 추적관찰 동안 시간이 경가함에 따라 대체로 증가하는 경향을 보였다. 좌심실상행대동맥압차는 평균 15.9mmHg이었고 우심실폐동맥압차는 평균 27.5mmHg이었다. 수축기말 대동맥근부 크기(aortic root dimension at end-systole)는 8례 중 6례에서 동일 연령군의 정상발육 평균치보다 발육이 증가하는 양상이었고 발육과정에 따라 증가하는 양상을 보였다. 수축기말 폐동맥 근부 크기(PA root dimension at end-systole)는 동일연령군의 정상발육 평균치와 비교할 때 비슷한 성장경과를 보였다. 술후 판막 폐쇄부전의 변동을 보면 폐동맥판막폐쇄부전은 8례 중 5례에서 있었고 1례에서 2도이었고 그 외는 1도 이하이었다. 대동맥판막폐쇄부전은 8례 중 술전 0도에서 술후 1도로 변동한 경우가 6례였다. 이상과 간이 폐쇄부전이 있더라도 대부분 1도 이하이었기 때문에 인상적인 의의는 없었다

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단일 3차 의료기관에서 외상환자에 대한 대량수혈 프로토콜 적용 분석 (Analysis of Application of Massive Transfusion Protocol for Trauma Patients at a Single Tertiary Referral Hospital)

  • 김혜린;유동원;김혜림;신경화;이현지;장철훈;김형회
    • 대한수혈학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.262-272
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    • 2018
  • 배경: 외상에 의한 대량출혈은 외상 환자의 주요 사망 원인 중 하나이며, 이 경우 초기에 다량의혈액제제를 적절한 비율로 신속하게 공급하는 것이 외상성 출혈로 인한 사망률을 감소시킨다는 점에서 매우 중요하다. 본 연구에서는 외상 환자에 대한 대량수혈을 보다 안전하고 신속하게 수행하기 위해 마련한 대량수혈 프로토콜(MTP)을 도입한 이후, MTP 적용군과 비적용군의 특성을 비교 분석하여 MTP를 적용할 환자를 예측하는데 도움을 줄 수 있는 임상적 지표가 있는지, MTP를 적용할 경우 보다 신속한 수혈이 가능한지를 확인하였다. 방법: 2018년 2월부터 8월까지 7개월간 단일 3차의료기관의 외상응급실을 통해 입원한 환자들 중 대량수혈을 받은 환자들의 전자의무기록 및 검사결과를 후향적으로 분석하였다. 대량수혈 환자는 초기 24시간 이내에 적혈구제제 10단위 이상을 수혈받은 16세 이상의 환자로 정의하였으며, 이들 중 MTP를 적용받은 군(MTP군)과 비적용군(non-MTP군)을 구분하여 수상 종류 및 메커니즘, 초기 활력징후, 혈액검사결과, 외상 중증도 평가 점수, 수혈된 혈액제제의 비율과 양, 혈액제제가 처방된 시점부터 출고되기까지 소요된 시간을 비교 분석하였다. 결과: 2018년 2월부터 8월까지 7개월간 대량수혈을 받은 53명의 외상환자들 중 MTP군은 31명, non-MTP군은 22명으로 확인되었으며, 수축기혈압 및 이완기혈압을 제외한 초기활력징후 및 초기 혈액검사결과는 두 군간 유의한 차이가 없었다. 두 군의 혈액제제 사용량 및 비율 또한 큰 차이가 없었으나, 혈액제제 출고 소요시간의 경우 non-MTP군보다 MTP군에서 더 짧은 것이 확인되었다. 결론: MTP군과 non-MTP군의 초기활력징후 및 검사결과 등 임상적 특성은 큰 차이를 보이지 않았으나, MTP군에서 혈액제제가 출고되기까지 소요되는 시간이 더 짧아 보다 신속하게 수혈을 시작할 수 있었다.

영종도 중산동 신석기시대 토기의 재료학적 분류와 물리적 특성 (Classifications by Materials and Physical Characteristics for Neolithic Pottery from Jungsandong Site in Yeongjong Island, Korea)

  • 김란희;이찬희;신숙정
    • 헤리티지:역사와 과학
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    • 제50권4호
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    • pp.122-147
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    • 2017
  • 중산동 유적은 선캠브리아기의 석영편암층과 운모편암층에 걸쳐 분포하며, 풍화층에는 운모, 석영, 장석, 각섬석 및 녹니석 등 다양한 비가소성 광물이 다량 포함되어 유적지의 지반을 형성하고 있다. 중산동 유적 신석기시대 토기는 다양한 갈색계열을 보이며, 일부 시료는 속심과 내면을 따라 흑심이 발달하고 예리한 빗살시문과 손누름 자국이 관찰된다. 이들은 비가소성 입자의 조성과 입도 및 분급과 원마도가 다양하여 특징적 광물조성에 따라 4 유형으로 세분하였다. I-형은 장석질 토기로 장석이 주성분이며 석영과 운모를 포함하기도 한다. II-형은 운모질 토기로 녹니석화된 운모류, 활석과 투각섬석 및 투휘석의 조합을 이룬다. III-형은 활석질 토기로 미량의 석영과 운모를 동반한다. IV-형은 석면질 토기로 투각섬석과 미량의 활석을 포함한다. 중산동 토기는 내외면의 색상이 다소 불균질하다. I-형 토기군은 장석류 함량에 따라 적색 및 황색도에 차이가 있으며, III-형 토기군과 유사하다. II-형은 적색도가 다소 높아 IV-형과 유사하다. 유적지 토양은 토기에 비해 적색 및 황색도가 높다. 전암대자율은 0.088~7.360(${\times}10^{-3}$ SI unit)의 넓은 범위이나, 각 유형별 주성분 광물에 따라 구분된다. 토기의 부피비중과 흡수율은 1.6~1.7 및 13.1~26.0%의 범위를 보인다. 각 유형별 토기군은 I-형의 유기물 고착시료 < III-형 및 IV-형 < I-형 < II-형 (IV-형의 IJP-15 포함)의 순으로 공극률과 흡수율이 증가하며 뚜렷한 영역 차이를 보였다. 이는 비가소성 입자의 종류와 입도 등에 따라 물리적 성질의 차이가 나타나기 때문이다. 중산동 토기는 다양한 재료의 혼합으로 이루어져 있으나, 유적지 토양은 중산동 토기가 갖는 모든 광물조성을 공급할 수 있는 지질조건을 갖추고 있다. 따라서 원료는 유적지 주변 석영편암과 운모편암의 풍화대에서 수급이 가능하였을 것으로 판단된다. 그러나 구성광물, 입도 및 암편이 다양한 양상을 보여 원료 채취장소가 여러 곳이었을 가능성이 높으며, 이에 따른 점토화 및 풍화도의 차이가 있는 것으로 해석할 수 있다.

국내 미이용 바이오매스 순환유동층 연소에서 NOx 저감을 위한 air-staging 효과 (Air-staging Effect for NOx Reduction in Circulating Fluidized Bed Combustion of Domestic Unused Biomass)

  • 윤상희;백건욱;문지홍;조성호;박성진;김재영;서명원;윤상준;윤성민;이재구;김주식;문태영
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제59권1호
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    • pp.127-137
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    • 2021
  • 미세먼지 전구체인 질소산화물(NOx)에 대한 대기배출부과금 제도가 2020년부터 국내에 도입 및 시행됨에 따라 이를 저감하기 위한 경제적인 연소기술 개발은 매우 시급한 실정이다. 본 연구에서는 해외 우드펠릿 대체재로서 REC(Renewable Energy Certificates) 확보가 가능한 국내 미이용 산림 바이오매스를 연료로 하여 0.1 MWth급 순환유동층 연소 설비에서 NOx 저감을 위한 air-staging 효과를 고찰하였다. 운전 변수로는 air-staging 적용 유무, 3차 공기 공급 높이(6.4 m, 8.1 m, 9.4 m) 그리고 air-staging 비율(1차 공기:2차 공기:3차 공기=91%:9%:0%, 82%:9%:9%, 73%:9%:18%) 변화이며 운전 변수에 대한 배기가스 내 NO와 CO 농도, 연소로 높이별 온도와 압력 프로파일, 포집된 비산재(fly ash) 내 미연탄소 함량과 연소효율을 분석하였다. 3차 공기를 가장 높은 9.4 m에서 공급한 air-staging 운전 시 NO 농도는 100.7 ppm으로 air-staging을 적용하지 않은 운전 조건(148.8 ppm)보다 32.3% 감소하지만 CO 농도는 오히려 52.2 ppm에서 99.8 ppm으로 91% 증가하였다. 더불어, NO 농도의 저감을 위한 환원영역과 CO 농도의 저감을 위한 산화영역 확보를 위해 3차 공기 공급 높이를 6.4 m로 유지하며 3차 공기 공급량을 늘리고 1차 공기 공급량을 낮춘 air-staging 운전 조건(73%:9%:18%)에서는 NO와 CO 농도가 각각 90.8 ppm과 66.1 ppm으로 air-staging 적용 조건 중 가장 감소되는 것을 확인하였다. 이러한 최적 운전 조건에서 연소효율 역시, air-staging을 적용하지 않은 운전 조건의 연소효율(98.3%) 보다 높은 99.3%임을 확인하였다.

급성 환기부전과 산소화부전에서 비침습적 환기법의 비교 (Use of Noninvasive Mechanical Ventilation in Acute Hypercapnic versus Hypoxic Respiratory Failure)

  • 이성순;임채만;김백남;고윤석;박평환;이상도;김우성;김동순;김원동
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제43권6호
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    • pp.987-996
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    • 1996
  • 연구배경: 기존의 양압환기법은 기관내관이나 기관절개술을 통해서만 시행되어 왔으나 최근 이러한 인공기도에 의한 기도합병증을 피하기 위한 방법으로 안연 또는 코마스크를 환자~인공환기기 사이의 매체로 이용하는 비침습적 환기법 (noninvasive positive pressure ventilation, 이하 NIV라 함)이 시도되고 있다. 이에 저자 등응 급성호흡부전 환자들에서 NIV의 적용 가능성, 치료성공율 및 치료성공과 연관된 지표를 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방법: 대상응 급성 환기부전 (acute vemilarory failure, 이하 VF : $PaCO_2$ > 43 mrn Hg & pH < 7.35)이나 급성 산소화호흡부전 (acure oxygenarion failure, 이하 OF : $PaO_2/FIO_2$ < 300 mrn Hg & $pH{\geq}7.35$)으로 기계호흡이 필요했던 환자 106 예 중 NIV 시도가 가능한 환자 26명이었으며, 총 VF 19예 중 11 예 (57.9%) (남 : 여 =7 : 4, $55.4{\pm}14.6$세), 총 OF 87예 중 15 예 (17.2%) (남 : 여 =12 : 3, $50.6{\pm}15.6$세)에서 NIV 시도가 가능하였다. 결과: 1. 기관내삽관 없이 NIV로 기계호흡 이탈까지 성공한 환자는 VF에서 81.8% (9/11), OF에서 40%(6/15)였다. NIV 의 합병증은 코부위 피부괴사와 가스성 위장 팽대 각 1예씩 이었다. 2. 환기부전 환자의 NIV 성공 예 에서 분당호흡 수는 기저치에 비해 NIV 시작 12시간 후(각각 $34{\pm}9$회, $26{\pm}6$회, p=0.045)에 유의한 감소를 보였다. $PaCO_2$와 pH는 모두 기저치에 비해 NIV 시작 24시간 후($PaCO_2$ 각각 $87.3{\pm}20.6$, $81.2{\pm}9.1$ mm Hg, p < 0.05, pH 각각 $7.26{\pm}0.04$, $7.32{\pm}0.02$, p < 0.05)에 유의한 호전을 보였다. 3. 산소화부전에서 NIV가 성공한 6 예와 실패한 9 예에서 $PaCO_2$는 NIV 시작전 (각각 $59.8{\pm}9.2$, $76.0{\pm}22.8$ mm Hg), NIV 시작 후 30분 (각각 $121.5{\pm}20.2$, $99.6{\pm}35.8$ mm Hg,), 6시간 (각각 $100.0{\pm}26.4$, $76.2{\pm}22.3$ mm Hg) 및 12시간 ($88.7{\pm}28.7$, $74.3{\pm}16.7$ mm Hg)에 서로 유의한 차이가 없었으나 (모두 p > 0.05), $PaO_2/FIO_2$ 비는 NIV 성공 예에서는 각각 $120.0{\pm}19.6$, $218.9{\pm}98.3$, $191.3{\pm}55.2$$232.8{\pm}17.6$ mm Hg (p=0.0211)로 상승한 반면, 실패 예에서는 $127.9{\pm}63.0$, $116.8{\pm}24.4$, $100.6{\pm}34.6$$129.8{\pm}50.3$ mm Hg (p=0.5319)로 유의한 상승이 관찰되지 않았다. 결론: 비침습적 환기법은 급성 환기부전군에서 급성 산소화부전에 비해 적용성과 성공율이 높으며, 환기부전의 NIV 성공 예에서는 분당호흡수의 감소가 선행하고 $PaO_2$와 pH의 호전이 뒤따랐고 산소화부전에서는 NIV 시작 30분 후의 $PaO_2/FIO_2$ 비가 성공적 NIV 적용 여부의 한 예측 지표가 될 수 있을 것으로 사료되었다.

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기류 제한에 영향을 미치는 허탈성 기도의 분석 (The detection of collapsible airways contributing to airflow limitation)

  • 김윤성;박병규;이경인;손석만;이효진;이민기;손춘희;박순규
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제43권4호
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    • pp.558-570
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    • 1996
  • 연구배경 : 허탈성 기도의 분석은 만성 기도 질환 및 기관지 천식의 치료에 있어서 중요성을 가지고 있다. 순수한 허탈성 기도 질환과 기관지 천식에 의한 허탈성 기도 질환의 감별은, 전자는 pursed lip breathing이나 nasal positive pressure ventilation으로 치료하며, 후자는 약물요법이 사용된다는 점에서 중요하다. 기관지 천식이나 폐기종의 요인으로 고려되는 허탈성 기도는 비가역적인 기류 제한의 한 형태이며, 그것은 폐활량 측정법에 의해 측정되는 용적과 체적 기록법에 의해 측정되는 가스 압박에 의한 용적과의 차이를 비교함으로써 접근할 수 있다. 방법 : 폐활량 측정법을 이용하여 폐활량과 노력성 폐활량(SVC-FVC) 사이의 용적 차이를 측정함으로써, 기도 허탈의 지표로 유용한지를 조사하기 위해, 1995년 1월부터 7월까지, 본원 폐기능 검사실에 내원한 기류 폐쇄가 있는 환자 20명(만성폐쇄성폐질환 12명, 안정시의 기관지천식 7명, 만성폐쇄성폐질환과 기관지천식이 병합된 1명)과, 기류 폐쇄의 소견이 보이지 않는 정상인 20명을 대상으로 폐활량 측정법과 체적 기록법을 이용하여, 기관지 확장제 투여 전후의 폐활량 측정법 검사지표들의 변화를 측정하였다. 결과 : 1) 기류 폐쇄가 있는 환자의 평균 연령은 $58.3{\pm}7.24$(세), 신장은 $166{\pm}8.0$(cm), 체중은 $59.0{\pm}9.9$(kg)였으며, 정상인의 평균 연령은 $56.3{\pm}12.47$(세), 신장은 $165.9{\pm}6.9$(cm), 체중은 $64.4{\pm}0.4$(kg)으로 유의한 차이는 없었으며(p>0.05), 남녀비는 각각 14:6이었다. 2) 환자군의 SVC-FVC는 $395{\pm}317ml$, 정상군의 SVC-FVC는 $154{\pm}176ml$로 유의한 차이가 있었으며(p<0.05), 두 군의 분별치를 208ml로 했을때 민감도와 특이도가 가장 높았다. 3) 기관지 확장제 투여후, 폐활량 측정법이나 체적 기록법으로 가역성 기도 폐쇄를 보인 경우는 환자군에서 16명, 대조군에서는 7명이었으며(p<0.05), 기관지 확장제 반응군 및 비반응군의 SVC-FVC는 각각 $300.4{\pm}306ml$, $144.7{\pm}180ml$로 유의 한 차이가 있었다(p<0.05). 4) 기관지 확장제 투여전의 SVC-FVC는, 기도 저항(Raw)과 연관이 있었으며(r=0.307 p=0.05), 기관지 확장제 투여후의 SVC-FVC는, 기관지 확장제 투여전의 SVC-FVG(r=0.559 p=0.0002), TGV(r=0.488 p=0.002)및 기관지 확장제 투여후의 기도 저항(r=0.583 p=0.0001), TGV(r=0.375 p=0.0170)와 연관이 있었다. 5) 전체 실험군에서 흡연자(28명)와 비흡연자(12명)의 SVC-FVC는 각각 $267.5{\pm}303ml$, $277.5{\pm}276ml$이었으며, 통계적 유의성은 없었다(p>0.05). 결론 : 폐활량계에 의한 SVC-FVC측정이 허탈성 기도를 분석하고, 치료방침을 결절하는데 도움을 줄 수 있을 것으로 기대된다.

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O2/SF6, O2/N2와 O2/CH4 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트 건식 식각 (Dry etching of polycarbonate using O2/SF6, O2/N2 and O2/CH4 plasmas)

  • 주영우;박연현;노호섭;김재권;이성현;조관식;송한정;전민현;이제원
    • 한국진공학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.16-22
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    • 2008
  • [ $O_2/SF_6$ ], $O_2/N_2$ 그리고 $O_2/CH_4$의 혼합 가스를 이용하여 폴리카보네이트의 플라즈마 식각을 연구하였다. 플라즈마 식각 장비는 축전 결합형 플라즈마 시스템을 사용하였다. 폴리카보네이트 식각은 감광제 도포 후에 UV 조사의 포토리소그래피 방법으로 마스크를 제작하여 실험하였다. 본 식각 실험에서는 $O_2$와 다른 기체와의 혼합비와 RIE 척 파워 증가에 따른 폴리카보네이트의 식각 특성 연구를 중심으로 하였다. 특히 건식 식각 시에 사용한 공정 압력은 100 mTorr로 유지하였으며 공정 압력은 기계적 펌프만을 사용하여 유지하였다. 식각 실험 후에 표면 단차 측정기, 원자력간 현미경 그리고 전자 현미경 등을 이용하여 식각한 샘플을 분석 하였다. 실험 결과에 의하면 폴리카보네이트 식각에서 $O_2/SF_6$의 혼합 가스를 사용하면 순수한 $O_2$$SF_6$를 사용한 것보다 각각 약 140 % 와 280 % 정도의 높은 식각 속도를 얻을 수 있었다. 즉, 100 W RIE 척 파워와 100 mTorr 공정 압력을 유지하면서 20 sccm $O_2$의 플라즈마 식각에서는 약 $0.4{\mu}m$/min, 20 sccm의 $SF_6$를 사용하였을 때에는 약 $0.2{\mu}$/min의 식각 속도를 얻었다. 그러나 60 %의 $O_2$와 40 %의 $SF_6$로 혼합된 플라즈마 분위기에서는 20 sccm의 순수한 $O_2$에 비해 상대적으로 낮은 -DC 바이어스가 인가되었음에도 식각 속도가 약 $0.56{\mu}m$/min으로 증가하였다. 그러나 $SF_6$ 양의 추가적인 증가는 폴리카보네이트의 식각 속도를 감소시켰다. $O_2/N_2$$O_2/CH_4$의 플라즈마 식각에서는 $N_2$$CH_4$의 양이 각각 증가함에 따라 식각 속도가 감소하였다. 즉, $O_2$$N_2$$CH_4$의 혼합은 폴리카보네이트의 식각 속도를 저하시켰다. 식각된 폴리카보네이트의 표면 거칠기 절대값은 식각 전에 비해 $2{\sim}3$ 배정도 증가하였지만 전자현미경으로 표면을 관찰 하였을 때에는 식각 실험 후의 폴리카보네이트의 표면이 깨끗한 것을 확인할 수 있었다. RIE 척 파워의 증가는 -DC 바이어스와 폴리카보네이트의 식각 속도를 거의 선형적으로 증가시켰으며 이 때 폴리카보네이트의 감광제에 대한 식각 선택비는 약 1:1 정도였다. 본 연구의 의미는 기계적 펌핑 시스템만을 사용한 간단한 플라즈마 식각 시스템으로도 $O_2/SF_6$의 혼합 가스를 사용하면 폴리카보네이트의 미세 구조를 만드는데 사용이 가능하며 $O_2/N_2$$O_2/CH_4$의 결과에 비해 상대적으로 우수한 식각 조건을 얻을 수 있었다는 것이다. 이 결과는 다른 폴리머 소재 미세 가공에도 응용이 가능하여 앞으로 많이 사용될 수 있을 것으로 예상한다.

천연기념물 제374호 제주 평대리 비자나무 숲의 보존·관리방향 설정을 위한 기초연구 (A Basic Study on the Establishment of Preservation and Management for Natural Monument(No.374) Pyeongdae-ri Torreya nucifera forest of Jeju)

  • 이원호;김동현;김재웅;오해성;최병기;이종성
    • 한국전통조경학회지
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    • 제32권1호
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    • pp.93-106
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    • 2014
  • 본 연구는 천연기념물 제374호 제주 평대리 비자나무 숲의 입지환경, 식생자원과 이용 및 관리현황을 조사하고, 현재 적용되는 관리구역에 대한 등급을 설정한 것으로써 다음과 같은 결과를 도출하였다. 첫째, 제주 평대리 비자나무 숲은 토지이용형태가 농업지역으로 변화하면서 대상지 주변지역으로의 개발압력에 의한 영향이 우려되며, 비자나무 숲 내 곶자왈지대는 종 다양성을 확보할 수 있는 기반요소로 원형보존의 관리계획 설정 및 지형의 변화를 야기하는 개발행위는 배제되어야 한다. 둘째, 제주 평대리 비자나무 숲의 소산식물상은 총 91과 263속 353종 41변종 8품종의 402분류군이 조사되었다. 이 중 환경부 지정 법정 멸종위기식물종 중 멸종위기식물 I II급에 해당하는 식물의 분포가 확인되었으나 현재의 서식처 변화 및 종의 병해, 불법 남획 등에 따른 개체 소실에 의해 비자나무 숲 내 종의 절멸 위험도 존재하므로 제주 평대리 비자나무 숲의 관리방안 설정 시 우선적으로 보호되어야 할 대상으로 고려되어야 한다. 셋째, 비자나무가 상관을 대표하는 식생구조를 나타내고 있으나, 노거수 위주의 영속적 관리와 보존전략은 빈약한 연령구조를 야기하였으며, 일부 구역의 인위적 관리에 의한 숲의 건조화, 자연적 천이에 의한 비자나무의 입지 감소 등의 문제점이 발생하는 바, 수목밀도의 조절 및 후계목 증식 등 제주 평대리 비자나무 숲의 특성을 유지할 수 있는 방안의 마련이 필요하다. 넷째, 이용에 따른 탐방로의 훼손이 발견되었으며, 특히 화산송이길의 훼손 및 분담율이 높게 나타났다. 따라서 화산송이의 단순한 보충보다는 현행 탐방로 외에 추가적인 관광루트 개발을 통한 분담율 완화 방안이 고려되어야 한다. 섯째, 제주 평대리 비자나무 숲의 관광요소 중 높은 선호도를 나타내는 식물적 요소는 이용에 관한 압력이 민감하게 작용하고, 비영속적인 특성상 지속적 모니터링이 필요하며, 추가적 관광요소 개발과 동시에 현재 높은 선호도를 나타내는 요소를 적극 활용하는 등의 방안이 마련되어야 한다. 여섯째, 보호강도별 중요도에 따라 I등급 지역은 존속개체군의 유지와 서식처의 훼손을 방지하고, II등급 지역은 연차별 숲의 재생을 위주로 관리방향을 설정하며, III등급 지역은 비자나무 시범림이나 후계목 증식을 위한 지역으로 설정되어야 한다. IV등급 지역은 고유 식생의 교란이 많이 발생하는 곳으로 부분별 휴식년제의 도입이 필요하다. V등급 지역은 비자나무 숲의 관광활용을 위한 서비스 공간 적지에 속한다. 상이한 등급의 지역 인접에 따른 가장자리효과에 대한 방안으로는 상대적으로 등급이 낮은 곳에 환경간섭을 피하기 위한 버퍼존의 설치와 주기적 모니터링이 요구된다.