• Title/Summary/Keyword: poly-crystallization

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Crystallization of Sil-xGex Films Using Field Aided Lateral Crystallization Method (전계 유도 방향성 결정화법을 이용한 Sil-xGex 박막의 결정화)

  • 조기택;최덕균
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.73-73
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    • 2003
  • 최근 LCD(liquid crystal display)분야에서 고해상도와 빠른 응답속도를 가지는 다결정 실리콘 박막트랜지스터에 대한 연구를 하고 있다. 그러나, poly-Si은 poly-Sil-xGex에 비해 intrinsic carrier mobility가 낮고 고온의 결정화 공정을 필요로 한다. 따라서, Poly-Si을 대체할 재료로 poly-SiGe에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 전계에 의해 결정화가 가속되고 한쪽 방향으로 결정화를 제어하여 채널내 전자나 정공의 이동도를 향상시 킬 수 있는 새로운 결정화 방법인 전계 유도 방향성 결정화법을 이용하여 Ge 함량에 따른 a-Sil-xGex(0$\leq$x$\leq$0.5)의 결정화 특성을 연구하였다. 대기압 화학 기상 증착법으로 5000$\AA$의 산화막(SiO$_2$)이 증착된 유리 기판상에 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 800$\AA$의 비정질 실리콘을 증착한 후 RF magnetron sputtering법을 이용하여 Ge 함량에 따른 Sil-xGex 박막을 1000$\AA$ 증착하였다. Photolithograph방법을 이용하여 금속이 선택적으로 증착될 수 있는 특정 Pattern을 가진 mask를 형성한 후 금속을 DC magnetron sputtering법을 이용하여 상온에서 50$\AA$.을 증착하였다. 이후 시편에 전계를 인가하기 위해 시편의 양단에 전극을 형성한 후 DC Power Supply를 통해 전압을 제어하는 방식으로 전계를 인가하였다. 결정화 속도는 광학현미경을 이용하여 분석하였으며 결정화된 영역의 결정화 정도는 micro-Raman spectroscopy로 분석하였다.

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A Systematic Method for SPICE Simulation of Electrical Characteristics of Poly-Si TFT-LCD Pixel (SPICE를 사용한 다결정 실리콘 TFT-LCD 화소의 전기적 특성 시뮬레이션 방법의 체계화)

  • Son, Myung-Sik;Ryu, Jae-Il;Shim, Seong-Yung;Jang, Jin;Yoo Keon-Ho
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.38 no.12
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    • pp.25-35
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    • 2001
  • In order to analyze the electrical characteristics of complicated thin film transistor-liquid crystal display (TFT-LCD) array circuits, it is indispensible to use simulation programs such as PSPICE and AIM-SPICE. In this paper, we present a systematic method of extracting the input parameters of poly-Si TFT for SPICE simulations. This method was applied to two different types of poly-Si TFTs, fabricated by excimer laser annealing and silicide mediated crystallization methods, and yielded good fitting results to experimental data. Among the SPICE simulators, PSPICE has the graphic user interface feature making the composition of complicated circuits easier. We added successfully a poly-Si TFT device model to the PSPICE simulator, and analyzed easily the electrical characteristics of pixels considering the line RC delay. The results of this work would contribute to efficient simulations of poly-Si TFT-LCD arrays.

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Effects of Chitosan Addition on Physical Properties and Crystallization of Poly(3-hydroxybutyric acid) Film (Chitosan 첨가가 Poly(3-hydroxybutyric acid) 필름의 물리적 특성 및 결정구조에 미치는 영향)

  • 김미라;구진경
    • Journal of the Korean Society of Food Science and Nutrition
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    • v.31 no.3
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    • pp.475-481
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    • 2002
  • Blend films of poly(3-hydroxybutyric acid) (PHB) with chitosan were prepared, and their Physical properties and crystallization were investigated. The degree of crystallinity of PHB/chitosan films by X-ray diffraction decreased with increasing chitosan concentration. In the fourier-transformed infrared spectra, carbonyl peak of PHB became lower with increasing the amount of chitosan. The addition of chitosan to PHB film decreased thermal stability and crystallinity of the blend films. The granular sizes of the films were reduced with the addition of chitosan to the film in the microstructural observation by a scanning electron microscope. Mechanical properties, including tensile strength and percent elongation, of the blend films increased with increasing chitosan ratio in the films. For color of the films, L and b values generally decreased with increasing chitosan ratio, but transparency of the films increased.

Structural Changes of Poly(trimethylene 2,6-naphthalate)(PTN) Films During Isothermal Crystallization (등온 결정화 과정에서의 Poly(trimethylene 2,6-naphthalate)(PTN) film의 구조적 변화)

  • 양영일;김영호;이한섭
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2002.04a
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    • pp.443-446
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    • 2002
  • 일반적으로 결정성 고분자의 모폴로지 형태 및 결정화정도는 고분자 물질의 물리적 성질에 매우 큰 영향을 미치므로 결정화과정에 관한 연구는 고분자 물질의 공정-구조-물성의 상호관계를 이해하는데 매우 중요하다. Poly(trimethylene 2,6-naphthalate) (PTN)은 1,3-propanediol 과 2,6-naphthalene dicarboxylic acid로 합성된 결정성 고분자이며 1969년에 Doling 와 Chester에 의하여 처음으로 합성방법이 발표되었다$^1$. 그러나 1,3-propanediol의 공업적 합성이 이루어진 최근에서야 이 물질을 이용한 고분자의 연구가 활발하게 진행되게 되었다. (중략)

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The Effect of an External Electric Field on Phase Separation, Phase Dissolution, and Isothermal Crystallization Behavior of Poly(vinylidene fluoride)/Poly(1,4-butylene adipate) Blends

  • Kim, Kap-Jin;Lee, Jong-Soon
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.7-8
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    • 2003
  • Since PVDF/poly(1,4-butylene adipate) blend shows much lower LCST curve compared with PVDF/PMMA blend, the PVDF/PBA blend can be a good candidate for investigating the effect of the electric field on the phase separation and dissolution behavior of an electro-active polymer and electro-inactive polymer blend. (omitted)

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Phase Behavior, Crystallization, and Curie transition in Blends of Poly(Vinylidene Fluoride-co-Trifluoroethylene) and Poly(1,4-butylene adipate)

  • Kim, Kap-Jin;Thein Kyu
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 1998.04a
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    • pp.54-57
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    • 1998
  • Recently, Manley's group published several papers on the blend of PVDF and poly(1, 4-butylene adipate) (PBA) chosen as a model system of somicrystallineisemicrystalline polymer blend.[1-4]. This blend system has several advantages over the other PVDF/semicrystalline polymer blends.(omitted)

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Quenching rate controlled Laser Annealing (QLA) for poly-Si TFT fabrication

  • Han, Gyoo-W.;Alexander, Voronov;Ryu, S.G.;Kim, H.S.;Roh, C.L.
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 2005.07b
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    • pp.897-897
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    • 2005
  • We report QLA (Quenching-rate controlled Laser Annealing) system as new concept using pulsed DPSSL and CW lasers. This process can control temperature quenching-rate of poly-Si crystallization by additional CW laser and fabricate high quality poly-Si with faster scanning speed than conventional processes. In this paper, QLA system, the experimental results and theoretical discussion will be introduced.

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Effect of External Electric Field on the Isothermal Crystallization of Poly(ethylene Oxide) (외부 전장이 Poly(ethylene Oxide)의 등온결정화에 미치는 영향)

  • 김영호;최재원;김갑진
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2001.10a
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    • pp.271-274
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    • 2001
  • 최근 압전성 및 유전성, 비선형 광학전도성 등과 같은 특성을 갖는 전기전자 및 광기능성 고분자에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다[1-2]. 그 중에서 압전 및 초전성을 나타내는 대표적 유기 고분자인 poly(vinylidene fluoride)(PVDF)의 경우 압전성을 향상시키기 위하여 vinylidene. fluoride(VDF)나 vinyl fluoride(VF), trifluoroethylene(TrFE) 등과 공중합시킨 고분자들에 대한 연구가 활발히 진행되어 왔다[3-4]. (중략)

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