Measurement of Ion Energy Distribution using QMS & Ionization Enhancement by usign Magnetic Field in Triod BARE (자장을 이용한 이온화율 증대형 삼극형 BARE에서 이온화율의 증대경향과 QMS를 이용한 이온의 에너지 분포 측정)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.24 no.3
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- pp.119-124
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- 1991