4-히드록시스티릴피리딘과 4-비닐벤질클로리드를 반응시켜 감광성 단량체로서 비닐벤질옥 시스티릴피리딘 (VSP)을 합성하였다. 5-20 mo1%의 VSP를 로진 moiety를 함유하는 메타크릴단량체와 라디칼 공중합하여 로진 moiety를 함유하는 몇가지 광경화성 고분자를 합성하였다. UV분광법으로 결정한 공중합체 중의 VSP의 함량은 5.3-17.3mol%정도였다. 이들 고분자의 수평균 분자량은 18000-28000정도였고 다분산지수는 1.8 정도였으며, 또한 유리전이온도는 15$0^{\circ}C$ 부근이였고 초기 열분해온도는 34$0^{\circ}C$ 정도였다. 이들 고분자는 자외선에 의해 비교적 빠르게 경화되었고, 이 광경화 반응은 UV분광법과 잔막수율법으로 분석될 수 있었다.
Photoresist로의 응용을 위하여 감광성 관능기를 가진 폴리머인 polyresorcinol-formaldehyde glycidyl ether의 cinnamoyl ester(RGEFC)를 제조하였다. RGEFC의 감광 특성은 노광 전후의 유기용매에 대한 용해도 차이로서 결정하였는데, 유리판상에 도포한 각종 시료를 제반조건하에서 노광한 다음, 도포시에 사용한 같은 용매에 담그어 잔막수득량을 계산하였다. 필름의 감도와 밀접한 관계를 가지는 수득량은 수지의 중합도, 증감제의 종류 및 첨가농도에 따라 좌우되었으며, 그 감도는 폴리머의 중합도에 의존되어 중합도가 커질수록 증가되었다. 사용된 증감제 중 RGEFC에 대한 가장 효과적인 증감제는 2, 6-dichloro-4-nitroaniline이었다.
본 연구에서는 50 mN급 마이크로 추력기를 활용하여, ADN 기반 추진제인 LMP-103S의 연소 실험을 수행하였다. 마이크로 추력기는 MEMS 공정 과정을 거쳐 감광유리로 제작하였다. LMP-103S 분해용 촉매로 $Pt/{\gamma}-Al_2O_3$를 사용하였다. 연소 실험 초기에 촉매 예열을 위해 90 wt.% 과산화수소를 주입하였으며, 이후 LMP-103S를 주입하여 연소 실험을 수행하였다. 실험 결과 백금 촉매 환경에서 LMP-103S의 점화가 이루어짐을 확인하였으며, 연소실 온도는 $650^{\circ}C$로 형성되었다.
Cadmium sulfide thin films were deposited on glass substrate by Chemical Mist Deposition from solutions containing equimolar (0.1M) cadmium chloride and thiourea [(NH$_2$)$_2$CS] at a mist velocity of 1.6m/sec. Substrate temperatures were ranged between 200$^{\circ}C$ and 400$^{\circ}C$. The microstructure and semiconducting property of the films were investigated using SEM, X-ray diffraction, UV transmittance measurement and four point probe method. All the films have hexagonal structure and diffraction patterns indicate that the intensity of (112) and (101) reflections increase with increasing substrate temperature, whereas (002) reflection substrate temperature, whereas(002) reflection decrease for substrate temperatures between 250$^{\circ}C$ and 350$^{\circ}C$. The films prepared at lower temperature have a significant number of pinholes due probably to entrapped gaseous reaction. Optical transmittance of the films deposited at 350$^{\circ}C$ was about 75%. Optical bandgap of the films were 2.43eV regardless of substrate temperature. The dark resistivity of the films decreased with increasing substrate temperature up to 300$^{\circ}C$ and increased with further increasing substrate temperature. The films were photosensitive and had dark-to-light resistivity ratios of about 10 at room temperature for a white-light photoexcitation intensity of 50mw/$\textrm{cm}^2$.
合成한 pllyglyceryl phthalate, bisphenol A-epichlorohydrin 축중합물과 polyvinyl alcohol의 naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonyl esters(PGND, BEND 및 PVAND)의 感光特性을 지배하는 諸因子를 이들에 대한 光照射前後의 溶解度 차이에 의하여 檢討하였다. 유리 또는 石英支持薄板上에 塗布한 各試料를 各種條件下에서 露光하고 알카리 水溶液에 침지시킨 다음 塗布된 필림의 殘膜收率(W/W0)을 計算하였다. 필름의 感光度와 직접적인 관계가 있는 殘膜收率은 母體樹脂의 重合度, 增感劑의 種類 및 添加濃度에 따라 영향이 있었다. 母體樹脂의 重合度가 크면 클수록 感光性이 더 우수하였으며, 增感劑의 添加濃度는 5%일때가 가장 좋은 效果를 나타내었다. PGND, BEND 및 PVAND에 대해 본실험에서 사용한 各種 增感制 중에서 가장 效果的인 것은 benzanthrone, 5-nitroacenaphthene, picramide이였다. 이들 樹脂와 增感劑를 添加한 경우의 固相에 있어서의 紫外線吸收스펙트럼과 感色性 寫眞을 각각 비교 검토하여 그 增感과 分光感度的 特性을 糾明하였다. PGND, BEND 및 PVAND는 使用한 增感制에 의하여 光學增感하였으며 增感效果가 현저한 것일수록 그 感光波長城이 長波長쪽으로 伸張하였다. 未增感, 增感試料에 있어서 分光吸收 極大 波長城과 分光感光極大波長城이 거의 一致하고 있는 점으로 보아 試料 樹脂들에 의해서 吸收된 波長城의 光은 그 分野에 有效하게 使用되고 있음을 확인하였다
본 연구에서는 LCD 컬러필터 레지스트용 fluorene 단위 구조를 가지는 다기능 바인더 고분자를 개발하여 카본블랙 기반 감광성 레지스트(CBR)를 제조하고 블랙 매트릭스(BM)에 적용하였다. 다기능 바인더 고분자를 얻기 위해 bisphcnol fluorene epoxy acrylate를 함유한 불포화 폴리에스터(BFEA-polyester)를 합성하였으며 이는 $^1H$ NMR, GPC 및 FTIR을 이용하여 분석하였다. 합성된 BFEA-polyester 바인더 고분자를 상업용 아크릴 바인더와 비교 평가하기 위하여 각각 CBR 제조 후 BM 리소그래피 테스트를 수행하였다. 그 결과, 본 연구에서 합성된 BFEA-polyester 바인더 고분자는 적합한 광경화 반응성과 알칼리 용해성을 가질 뿐만 아니라 기존 아크릴 바인더보다 더 우수한 공정 마진, 패턴 특성 및 유리 가판에 대한 접착력을 나타내었다.
In this study, experiments were conducted for micro pattern printing to combine solution atomization process and stencil printing based on electrospray deposition. The stencil mask fabricated by etching the photosensitive glass placed below 0.3 mm distance to substrate has 100 um line width. The process parameters of electrospray deposition system for the atomization of the solution are applied voltage and supply flow rate of the solution. Meniscus angle of cone-jet was optimized by varying the supply flow rate from 0.3 ml/hr to 0.7 ml/hr. Voltage condition was verified having symmetric cone-jet angle and no pulsation at 8.5 kV applied voltage. In addition, a number of micro patterns are printed using a single 1 step process by solution atomization process. Variable line width of approximate 100 um was confirmed by changing conditions of solution atomization regardless of the pattern size of stencil mask.
감광성 폴리이미드의 전구체 폴리이미드는 2, 2, 2-트리플루오르에탄 디안하이드라이드의 유도체와 3,3'-디히드록시-4,4'-디아미노비페닐로부터 제조하였다. 감광성 폴리이미드(PI-SP6와 PI-SP12)는 전구체 폴리이미드와 감광성 2-스티릴피리딘알킬렌(헥실렌과 도데실렌)유도체로부터 제조하였다. 합성한 광반응성 폴리이미드는 여러 가지 유기 용매에 잘 녹았다. 감광성 폴리이미드의 초기 열분해온도는 $350^{\circ}C$였다. PI-SP6와 PI-SP12의 유리전이온도는 $130^{\circ}C$와 $85^{\circ}C$였다. 이는 헥실렌기를 가지는 PI-SP6 보다 도데실렌기를 가지는 PI-SP12가 유연하다는 것을 의미한다. 이들 감광성 고분자의 필름은 $250^{\circ}C$에서도 90%의 투과율을 유지하였다. 이 결과는 이들 감광성 폴리이미드가 투명성 및 내열성이 우수한 고분자라는 것을 의미한다. PI-SP6와 PI-SP12는 $1.5\;J/cm^2$ 광량에서 이색비가 각각 0.01과 0.03이었다. 이 결과는 광배향에 유연한 알킬렌 스페이서를 가지는 감광성 폴리이미드가 보다 효과적이라는 것을 뜻한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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