후막 감광제를 이용한 $100{\mu}m$ 두께 몰드 제작과 전해도금
(Fabrication of $100{\mu}m$ thick mold and electroplating using thick photoresist)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.2008-2010
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- 2002