• 제목/요약/키워드: photo-chemical method

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반도체 PR 공정의 인화성 물질 누출 빈도분석을 통한 위험성 평가 (Risk Assessment of Semiconductor PR Process based on Frequency Analysis of Flammable Material Leakage)

  • 박명남;천광수;이진석;신동일
    • 한국가스학회지
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    • 제25권5호
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    • pp.1-10
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    • 2021
  • 반도체 Photo Resist (PR) 자동화 장비는 여러 인화성 물질을 혼합하여 사용하며, 인화성 물질이 공정 중 누출되는 경우 다양한 사고로 이어질 수 있어 위험성 평가가 필요하다. 본 연구는 PR 자동화 장비에서 사용되는 Acetone, PGMEA의 누출 빈도와 이러한 누출이 화재 사고로 이어질 수 있는 빈도를 빈도분석 방법을 통해 분석하였으며, 현 설비의 추가적인 위험성 경감 조치의 필요성을 평가하였다. IOGP의 공정 누출 데이터와 점화 확률 데이터를 기반으로 누출 빈도 및 점화 확률을 도출하였으며, 이를 조합하여 실제 화재 사고의 빈도를 분석하였다. 반도체 PR 공정 중에 발생할 수 있는 물질 누출에 대한 빈도는 7.30E-03/year이며, 화재 사고는 물질이 누출되었을 때 인화점 이상의 상태로 존재하는 Acetone에 의해 발생할 수 있으며, 빈도는 1.24E-05/year의 수준으로 계산되었다. UK HSE에서 제시하는 자료에 따르면, 1.24E-05/year의 빈도로 발생하는 주요 사고에 대해서는 7명 이내의 사망자를 발생시킬 때 위험성 경감을 위한 추가 조치가 필요 없는 수준 "Broadly Acceptable" 이라고 정의하고 있어, 2인 1조로 운영되는 공정의 특성상 별도의 위험성 경감 조치가 요구되지 않는다.

Improved Performance of CdS/CdTe Quantum Dot-Sensitized Solar Cells Incorporating Single-Walled Carbon Nanotubes

  • Shin, Hokyeong;Park, Taehee;Lee, Jongtaek;Lee, Junyoung;Yang, Jonghee;Han, Jin Wook;Yi, Whikun
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제35권10호
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    • pp.2895-2900
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    • 2014
  • We fabricated quantum dot-sensitized solar cells (QDSSCs) using cadmium sulfide (CdS) and cadmium telluride (CdTe) quantum dots (QDs) as sensitizers. A spin coated $TiO_2$ nanoparticle (NP) film on tin-doped indium oxide glass and sputtered Au on fluorine-doped tin oxide glass were used as photo-anode and counter electrode, respectively. CdS QDs were deposited onto the mesoporous $TiO_2$ layer by a successive ionic layer adsorption and reaction method. Pre-synthesized CdTe QDs were deposited onto a layer of CdS QDs using a direct adsorption technique. CdS/CdTe QDSSCs had high light harvesting ability compared with CdS or CdTe QDSSCs. QDSSCs incorporating single-walled carbon nanotubes (SWNTs), sprayed onto the substrate before deposition of the next layer or mixed with $TiO_2$ NPs, mostly exhibited enhanced photo cell efficiency compared with the pristine cell. In particular, a maximum rate increase of 24% was obtained with the solar cell containing a $TiO_2$ layer mixed with SWNTs.

Unidirectional Photo-induced Charge Separation and Thermal Charge Recombination of Cofacially Aligned Donor-Acceptor System Probed by Ultrafast Visible-Pump/Mid-IR-Probe Spectroscopy

  • Kim, Hyeong-Mook;Park, Jaeheung;Noh, Hee Chang;Lim, Manho;Chung, Young Keun;Kang, Youn K.
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제35권2호
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    • pp.587-596
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    • 2014
  • A new ${\pi}$-stacked donor-acceptor (D-A) system, [Ru(1-([2,2'-bipyridine]-6-yl-methyl)-3-(2-cyclohexa-2',5'-diene-1,4-dionyl)-1H-imidazole)(2,2':6',2"-terpyridine)]$[PF_6]_2$ (ImQ_T), has been synthesized and characterized. Similar to its precedent, [Ru(6-(2-cyclohexa-2',5'-diene-1,4-dione)-2,2':6',2"-terpyridine)(2,2':6',2"-terpyridine)]$[PF_6]_2$ (TQ_T), this system has a cofacial alignment of terpyridine (tpy) ligand and quinonyl (Q) group, which facilitates an electron transfer through ${\pi}$-stacked manifold. Despite the presence of lowest-energy charge transfer transition from the Ru-based-HOMO-to-Q-based-LUMO (MQCT) predicted by theoretical calculations by using time-dependent density functional theory (TD-DFT), the experimental steady-state absorption spectrum does not exhibit such a band. The selective excitation to the Ru-based occupied orbitals-to-tpy-based virtual orbital MLCT state was thus possible, from which charge separation (CS) reaction occurred. The photo-induced CS and thermal charge recombination (CR) reactions were probed by using ultrafast visible-pump/mid-IR-probe (TrIR) spectroscopic method. Analysis of decay kinetics of Q and $Q^-$ state CO stretching modes as well as aromatic C=C stretching mode of tpy ligand gave time constants of <1 ps for CS, 1-3 ps for CR, and 10-20 ps for vibrational cooling processes. The electron transfer pathway was revealed to be Ru-tpy-Q rather than Ru-bpy-imidazol-Q.

폐 FRP선박의 재활용공정에서 용이한 면포추출공정을 위한 화학적 처리 방법에 관한 연구 (A Study For The Simple Method In Dividing The Layers of Fiber-reinforced Plastic)

  • 이승희;김용섭;윤구영
    • 한국해양환경ㆍ에너지학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.43-46
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    • 2010
  • 중소형 폐 선박으로부터 배출되는 FRP를 재활용하기 위한 방법으로 층상으로 배열된 로빙층과 매트층을 분리하는 것은 에너지 면에서나 환경적인 면에서 많은 장점을 가지고 있다. 비록 로빙층과 매트층은 모두 유리섬유로 이루어져있으나 수지함유량의 차이와 유리섬유의 조직형태의 차이로 인하여 재활용 용도는 매우 달라지고 있다. 그러나 로빙층은 매트층에 비해 얇은 두께로 존재한다는 이유로 인해 로빙층을 FRP에서 분리할 때 기계가 자동적으로 층간의 차이를 인식하기는 매우 어렵다. 따라서 이 추출과정에서 많은 로빙층의 손실과 공정의 난이도에 의한 처리시간 지연 등의 문제가 발생한다. 본 연구에서는 유리의 구성비가 다른 두 층의 화학적 성질의 차를 이용하여 광학적으로 층간 인식이 가능한 방법을 모색하였다. FRP에 대해 유리의 $SiO_2$와 반응하는 플루오르산(HF) 용액으로 처리한 후 수용성 염료를 도포한 경우 두 층간의 차별화가 확연하게 일어났다. 본 연구는 이 결과를 이용하여 폐 FRP의 면포분리 공정의 효율성을 극대화 할 수 있는 시스템을 개발 하였다.

TiO2와 Graphene 혼합물을 전극으로 사용한 염료감응형 태양전지특성 연구 (Dye-Sensitized Solar Cell Based on TiO2-Graphene Composite Electrodes)

  • 바트무르;양우승;암바데;이수형
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제50권1호
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    • pp.177-181
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    • 2012
  • 본 연구에서는 $TiO_2$ 필름에 그라핀나노시트(graphenenanosheet, GNS)의 양을 다르게 함으로써 형성한 전극을 이용하여 염료감응형 태양전지를 제작하였고 그 특성을 연구하였다. $TiO_2$-GNS 혼합물 전극은 단순한 혼합방식에 의하여 제작되었으며, N3를 염료로 사용하여 태양전지의 효율을 평가하였다. $TiO_2$-GNS 혼합물 전극을 사용한 염료감응형 태양전지의 전환효율은 GNS의 양에 의해 영향을 받았으며, $TiO_2$에 GNS를 0.01 wt% 혼합한 전극을 사용하여 제작한 염료감응형 태양전지가 가장 높은 효율인 5.73%를 나타내었다. 이는 GNS를 혼합하지 않은 전극을 사용한 태양전지보다 26% 높은 효율이었다. 이와 같은 효율 증가의 원인으로는 GNS 첨가에 의한 N3의 흡착량 증가, 전자 재결합(electron recombination)과 back transport reaction의 감소, 전자 수송의 증가로부터 기인한 것으로 생각된다. 본 연구에서 $TiO_2$(anatase)와 GNS의 존재는 Field-Emission Scanning Electron Microscopy를 통하여 확인하였으며, 흡착된 염료의 양은 자외선분광기(UV-vis Spectroscopy), 전자 재결합의 감소 및 전자 수송에 대한 분석은 전기화학적 임피던스분광법(Electrochemical Impedance Spectroscopy)을 이용하였다.

휘발성유기화합물 처리를 위한 고도산화법과 고분자 담체 바이오필터 결합시스템의 적용 (Applications of a Hybrid System Coupled with Ultraviolet and Biofiltration for the Treatment of VOCs)

  • 신승규;송지현
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권4B호
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    • pp.441-447
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    • 2008
  • 산업현장에서 발생되는 휘발성유기화합물은 생분해 가능한 화합물과 난분해성 물질이 혼합되어 있는 경우가 많으며, 저감기술을 단독으로 적용해서는 효과적인 제어가 불가능하다. 따라서 본 연구에서는 난분해성 물질이 혼합된 휘발성유기화합물을 처리하기 위하여, 자외선(UV) 광분해 장치와 미생물 고정화 복합고분자 담체가 적용된 바이오필터 기술을 결합한 통합시스템을 구성하고 반응 특성을 검토하였다. 대상 휘발성유기화합물로는 toluene과 TCE를 선정하였다. 자외선 광산화 단독실험 결과 TCE는 99% 이상의 제거효율을 나타내었으며 수용성 중간생성물 발생량도 크게 증가하였다. 그러나 toluene과 TCE를 혼합하여 유입시키면 자외선 광분해만으로는 유기화합물 제거율이 낮아졌다. 자외선 광산화와 바이오필터를 결합한 통합시스템 실험에서는 높은 toluene 제거효율을 얻을 수 있었으며, 전처리로 자외선을 조사한 후 toluene과 TCE의 처리효율도 함께 증가하는 것을 확인하였다. 이는 자외선에 의해 일부 산화된 toluene과 TCE가 미생물에 의해 보다 효과적으로 분해될 수 있음을 보여준다. 자외선 광산화 반응은 toluene이 상대적으로 적게 존재하는 상황에서 TCE 제거효율을 효과적으로 향상시킬 수 있었으며, 본 실험에서 확인한 TCE 최대 분해능은 $18.2g/m^3/hr$이었다. 그러나 toluene 유입농도가 높았던 조건에서는 toluene의 저해작용으로 인해 TCE 분해능 변화가 적었다. 다양한 운전조건에서 통합시스템의 반응효율과 운전 안정성을 향상시키기 위해서는 각 난분해성 물질 사이의 상호 저해작용에 대한 추가 연구가 필요하다.

보온재 부착 파이프라인의 부식두께 측정에 관한 연구 (A Study on Real-Time Corrosion Thickness Measurement Technique of Insulated Pipeline)

  • 장지훈;조경식;이종오;김기동
    • 연구논문집
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    • 통권31호
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    • pp.135-147
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    • 2001
  • The wall-thickness of insulated pipelines can be easily evaluated by measuring the gamma-ray transmission intensity because this intensity is inversely proportional to the thickness of insulated pipeline. The main purpose of this study is to develop the nondestructive and filmless on-line inspection system of corrosion by measuring the wall thickness of insulated pipeline. The inspection system is constructed with radioisotope, 64 channel photo diode array detector, crawler system and data taking and operating software. The traditional off-line radiographic method carried out by exposing film cassettes can be replaced by this cost-effective on-line digital imaging method and the application will be greatly expected especially in the chemical and petrochemical industries.

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Poly-Si Cell with Preferential Grain Boundary Etching and ITO Electrode

  • Lim, D.G.;Lee, S.E.;Park, S.H.;Yi, J.
    • 태양에너지
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    • 제19권3호
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    • pp.125-131
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    • 1999
  • This paper deals with a novel structure of poly-Si solar cell. A grain boundary(GB) of poly-Si acts as potential barrier and recombination center for photo-generated carriers. To reduce unwanted side effects at the GB of poly-Si, we employed physical GB removal of poly-Si using chemical solutions. Various chemical etchants such as Sirtl, Yang, Secco, and Schimmel were investigated for the preferential GB etching. Etch depth about 10 ${\mu}m$ was achieved by a Schimmel etchant. After a chemical etching of poly-Si, we used $POCl_3$ for emitter junction formation. This paper used an easy method of top electrode formation using a RF sputter grown ITO film. ITO films with thickness of 300 nm showed resistivity of $1.26{\times}10^{-4}{\Omega}-cm$ and overall transmittance above 80%. Using a preferential GB etching and ITO top electrode, we developed a new fabrication procedure of poly-Si solar cells. Employing optimized process conditions, we were able to achieve conversion efficiency as high as 16.6% at an input power of 20 $mW/cm^2$. This paper investigates the effects of process parameters: etching conditions, ITO deposition factors, and emitter doping densities in a poly-Si cell fabrication procedure.

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수열합성에 의해 제조된 YVO4:Eu3+ 형광체의 발광특성 (Luminescent Properties of YVO4:Eu3+ Phosphor by Using Hydrothermal Synthesis)

  • 문영민;최성호;정하균;임상호
    • 한국재료학회지
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    • 제18권10호
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    • pp.511-514
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    • 2008
  • We have synthesized $Eu^{3+}$-doped $YVO_4$ phosphors by using a hydrothermal method and investigated their luminescent properties. Aqueous solutions of $Y_2O_3,\;V_2O_5,\;Eu_2O_3$, and nitric acid with various pH values were used as the precursors. The crystallinity, surface condition, and emission characteristics were examined using XRD, FT-IR, and photo-excited spectrometer. $Eu^{3+}$ incorporation followed by the efficient red emission strongly depends on the acidity of solution media. The emission intensity becomes stronger as the pH values increase to 7 and then gradually decreases. This phenomenon might be related to the hydroxyl quenching effect, which is induced by surface bound OH-groups.

Enhancement of NOx photo-oxidation by Fe-doped TiO2 nanoparticles

  • Martinez-Oviedo, Adriana;Ray, Schindra Kumar;Gyawali, Gobinda;Rodriguez-Gonzalez, Vicente;Lee, Soo Wohn
    • Journal of Ceramic Processing Research
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    • 제20권3호
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    • pp.222-230
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    • 2019
  • Microwave hydrothermal-assisted sol-gel method was employed to synthesize the Fe doped TiO2 photocatalyst. The morphological analysis suggests anatase phase nanoparticles of ~20 nm with an SBET area of 283.99 ㎡/g. The doping of Fe ions in TiO2 created oxygen vacancies and Ti3+ species as revealed through the XPS analysis. The reduction of the band gap (3.1 to 2.8 eV) is occurred by doping effect. The as-prepared photocatalyst was applied for removal of NOx under solar light irradiation. The doping of Fe in TiO2 facilitates 75 % of NOx oxidation efficiency which is more than two-fold enhancement than the TiO2 photocatalyst. The possible reason of enhancement is associated with high surface area, oxygen vacancy, and reduction of the band gap. Also, the low production of toxic intermediates, NO2 gas, is further confirmed by Combustion Ion Chromatography. The mechanism related NOx oxidation by the doped photocatalyst is explained in this study.