Design and Fabrication of PZT Disc Actuated Micro Pump for Bio-Applications (II): Optimal Design & Fabrication of Embedding-type PZT Module (바이오용 압전디스크방식 마이크로 펌프 설계 및 제작 (II) -임베드방식의 압전모듈의 최적설계 및 제작-)
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- Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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- v.21 no.3
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- pp.362-367
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- 2012