• Title/Summary/Keyword: off-gas

검색결과 899건 처리시간 0.029초

A Novel Approach for Controlling Process Uniformity with a Large Area VHF Source for Solar Applications

  • Tanaka, T.
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
    • /
    • pp.146-147
    • /
    • 2011
  • Processing a large area substrate for liquid crystal display (LCD) or solar panel applications in a capacitively coupled plasma (CCP) reactor is becoming increasingly challenging because of the size of the substrate size is no longer negligible compared to the wavelength of the applied radio frequency (RF) power. The situation is even worse when the driving frequency is increased to the Very High Frequency (VHF) range. When the substrate size is still smaller than 1/8 of the wavelength, one can obtain reasonably uniform process results by utilizing with methods such as tailoring the precursor gas distribution by adjustingthrough shower head hole distribution or hole size modification, locally adjusting the distance between the substrate and the electrode, and shaping shower head holes to modulate the hollow cathode effect modifying theand plasma density distribution by shaping shower head holes to adjust the follow cathode effect. At higher frequencies, such as 40 MHz for Gen 8.5 (2.2 m${\times}$2.6 m substrate), these methods are not effective, because the substrate is large enough that first node of the standing wave appears within the substrate. In such a case, the plasma discharge cannot be sustained at the node and results in an extremely non-uniform process. At Applied Materials, we have studied several methods of modifying the standing wave pattern to adjusting improve process non-uniformity for a Gen 8.5 size CCP reactor operating in the VHF range. First, we used magnetic materials (ferrite) to modify wave propagation. We placed ferrite blocks along two opposing edges of the powered electrode. This changes the boundary condition for electro-magnetic waves, and as a result, the standing wave pattern is significantly stretched towards the ferrite lined edges. In conjunction with a phase modulation technique, we have seen improvement in process uniformity. Another method involves feeding 40 MHz from four feed points near the four corners of the electrode. The phase between each feed points are dynamically adjusted to modify the resulting interference pattern, which in turn modulate the plasma distribution in time and affect the process uniformity. We achieved process uniformity of <20% with this method. A third method involves using two frequencies. In this case 40 MHz is used in a supplementary manner to improve the performance of 13 MHz process. Even at 13 MHz, the RF electric field falls off around the corners and edges on a Gen 8.5 substrate. Although, the conventional methods mentioned above improve the uniformity, they have limitations, and they cannot compensate especially as the applied power is increased, which causes the wavelength becomes shorter. 40 MHz is used to overcome such limitations. 13 MHz is applied at the center, and 40 MHz at the four corners. By modulating the interference between the signals from the four feed points, we found that 40 MHz power is preferentially channeled towards the edges and corners. We will discuss an innovative method of controlling 40 MHz to achieve this effect.

  • PDF

한국산 양다래(Actinidia chinensis Planch.)의 CA 저장성에 관한 연구 (Effect of $CO_2$ Concentration of CA Conditions on Quality of Kiwifruit (Actinidia chinensis Planch.) during Storage)

  • 이세은;김동만;김길환;이철
    • 한국식품과학회지
    • /
    • 제21권6호
    • /
    • pp.869-875
    • /
    • 1989
  • 양다래의 저장성 향상을 위해서 밀폐저장용기 내의 공기조성 중 산소농도를 2%로 고정하고 탄산가스 농도를 각각 2, 4% 그리고 6%로 조절한 CA조건에서 양다래를 저장하면서 과실의 품질에 관련된 이화학적 변화를 조사하였던 바 그 결과를 요약하면 다음과 같다. CA 저장 180일 경과 후 과실 품질의 가장 중요한 지표인 경도는 탄산가스 농도를 4%로 유지시켰던 구가 3.0kg으로 가장 우수한 연화 억제효과를 보였다. 탄산가스 농도에 따른 양다래의 호흡률 및 유기산 변화에서 저장 60일 이후부터는 탄산가스 농도를 6%로 유지시켰던 구가 2% 및 4% 유지구 보다 낮은 호흡률을 보였으며 유기산 중 퀴닌산과 숙신산의 경우 저장기간이 경과됨에 따라 저장구간에 뚜렷한 차이가 없이 증가하는 경향을 보였다. CA 저장구 중 이취의 원인이 되는 에틸알콜과 아세트알데히드 발생량은 탄산가스의 농도가 증가할수록 생성량이 많았다. 이상과 같은 결과로 한국산 양다래의 CA저장을 위해서는 산소농도 2%로 고정시 탄산가스 농토를 4%로 유지시키는 것이 적합한 것으로 판단되었다.

  • PDF

시판 현미식초의 주정첨가 유무에 따른 휘발성 성분 및 관능적 특성 비교 (Volatile Compounds and Sensory Properties of Commercial Brown Rice Vinegars Fermented with and without Ethanol)

  • 윤성란;김귀란;이지현;이수원;정용진;여수환;최한석;권중호
    • 한국식품과학회지
    • /
    • 제42권5호
    • /
    • pp.527-532
    • /
    • 2010
  • 시판 현미식초를 주정첨가 유무 발효방식에 따른 휘발성 성분 특성을 살펴보고자 SPME-GC 분석, 전자코 패턴 및 관능평가를 실시하였다. 그 결과, GC-MS 분석을 통한 현미식초의 향기성분분석에서 주정 무첨가 발효된 현미식초의 주된 휘발성 성분은 acetic acid, ethyl acetate, benzaldehyde, iso-valeric acid, phenylethyl alcohol, 2-phenylethyl acetate, acetoin, isobutyric acid 등으로 총 24종의 휘발성 성분이 확인되었다. 주정첨가 발효 현미식초의 주된 휘발성 성분은 acetic acid, ethyl acetate, 1-hexyl acetate, benzaldehyde, 2-phenylethyl acetate, phenylethyl alcohol 등으로 나타났으며, 총 16종의 휘발성 성분이 확인되었다. 전자코분석시 주정 무첨가 현미식초는 알코올 발효에 의한 다양한 향의 생성으로 초산 발효시에도 각각 다른 향미패턴이 나타남을 볼 수 있었으며, 주정첨가 현미식초는 주정에 의한 초산발효로 거의 유사한 향미패턴으로 나타나 주정첨가 유무에 따라 현미식초의향 패턴이 다소 상이함을 확인하였다. 자극취, 이취의 강도에 대한 관능평가에서는 주정 무첨가 발효된 현미식초가 다소 높게 나타났다. 따라서 주정첨가 유무의 발효방식은 현미식초의 향미에 영향을 미치는 것으로 확인되었다.

마약남용자 11명의 타액 중 메스암페타민의 분석 (Analysis of Methamphetamine and Amphetamine in Oral Fluid of Eleven Drug Abusers)

  • 김은미;이주선;최혜영;최화경;정희선
    • 약학회지
    • /
    • 제52권6호
    • /
    • pp.419-425
    • /
    • 2008
  • A qualitative and quantitative analytical method was developed for detection of methamphetamine (MA) and its main metabolite amphetamine (AM) in oral fluid. Oral fluids of eleven drug abusers were provided by Police, specimens were collected by stimulation with a cotton swab treated with 20 mg of citric acid ($Salivette^{(R)}$; Sarstedt, USA). As the preliminary test, oral fluid samples were screened for amphetamines by Fluorescence Polarization Immunoassay (TDxFLx, Abbott Co.). Extraction for MA was performed using solid-phase extraction (SPE) by $RapidTrace^{TM}$ (Zymark, USA) with mixed mode cation exchange cartridge, CLEAN $SCREEN^{(R)}$ (130 mg/3 ml, UCT) after dilution with phosphate buffer. Samples were evaporated and derivatized by pentafluoropropionic acid anhydride (PFPA). Quantitation of MA and AM was performed by gas chromatography-mass spectrometry (GC-MS) using selective ion monitoring (SIM), the quantitation ions were m/z 204 (MA), 208 (MA-$D_5$), 190 (AM) and 194 (AM-$D_5$). The selectivity, linearity of calibration, limit of detection (LOD) and quantification (LOQ) within- and between day precision, accuracy and recoveries were examined as parts of the method validation. All oral fluid samples gave positive results to immunoassay for MA (cut-off level, 50 ng/ml as d-amphetamine). Concentrations of MA and AM by GC-MS in eleven samples were ranged 104.2${\sim}$4603.3 ng/ml and 32.4${\sim}$268.6 ng/ml, respectively. Extracted calibration curves of MA and AM were linear over the two concentration range of 1${\sim}$100 and 50${\sim}$1000 ng/ml with correlation coefficient of above 0.999. LOQ of MA and AM was 1 and 3 ng/ml, respectively. The intraand inter-day run precisions (CV) for MA and AM were less than 10%, and the accuracies (bias) for MA and AM were also less than 10% at the two different concentrations 5 and 100 ng/ml at low calibration range, 50 and 1000 ng/ml at high calibration range. The absolute recoveries of MA and AM at low and high calibration ranges were more than 82% and 75%, respectively. In this study the qualitative and quantitative analytical method of MA in oral fluid was established. Oral fluid testing may detect drug use in past hours because of its shorter detection window than urine, and be useful in post-accident situations. So oral fluids will be most useful for testing drug abuse in the driving under the influence of drug (DUID) as the alternative specimens of urine.

정-정맥 체외막형산소화요법을 이용한 급성호흡부전의 치료 (Acute Respiratory Failure Treated with Veno-venous Extracorporeal Membrane Oxygenation)

  • 김형수;한상진;홍경순;윤덕형;이창률;이명구;홍원기;이순희;김건일;이희성;조성우
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
    • /
    • 제68권2호
    • /
    • pp.62-66
    • /
    • 2010
  • Background: Extracorporeal membrane oxygenation (ECMO) during severe acute respiratory failure helps to recover the pulmonary function. This study evaluated our experience with veno-venous ECMO in adult patients with acute respiratory failure. Methods: From January 2007 to July 2009, ECMO was used on 54 patients. Of these 54 patients, 7 were placed on veno-venous ECMO for acute respiratory failure. The indications of ECMO were based on the lung dysfunction measured as a $PaO_2/FiO_2$ ratio <100 mm Hg on $FiO_2$ of 1.0, or an arterial blood gas pH <7.25 due to hypercapnia despite the optimal treatment. $EBS^{(R)}$, $Bio-pump^{(R)}$, and Centrifugal Rotaflow $pump^{(R)}$ were used and all cannulations were performed percutaneously via both femoral veins. When the lung function was improved, an attempt was made to wean on ECMO at moderate ventilator settings followed by decannulation. Results: Five of the 7 patients were male and the mean age was $46.3{\pm}18.3$. The causes of acute respiratory failure were 3 cases of pneumonia, 2 near-drownings, 1 pulmonary hemorrhage due to acute hepatic failure and 1 mercury vapor poisoning. The mean support time of ECMO was $17.3{\pm}13.7$ days. Of the 7 patients implanted with ECMO, 5 patients (71%) were weaned off ECMO and 3 patients (43%) survived to hospital discharge after a mean 89.6 hospital days. Conclusion: The early use of ECMO for acute respiratory failure in adults due to any cause is a good therapeutic option for those unresponsive to the optimal conventional treatments.

콘크리트 구조물의 내구성능 저하를 방지하는 침투형 성능개선제 개발 (Development for Penetrative Performance Improving Agent to In Prevent Deterioration of Concrete Structures)

  • 류금성;고경택;김성욱;김도겸
    • 콘크리트학회논문집
    • /
    • 제17권4호
    • /
    • pp.489-498
    • /
    • 2005
  • 최근 콘크리트 구조물의 성능 저하는 염해, 중성화, 동결융해 및 기타 요인에 의해 증가하고 있고 콘크리트 성능 저하를 방지하기 위해 다양한 대책이 강구되고 있다. 이러한 콘크리트 성능 저하를 방지하기 위한 방법 중에 콘크리트 표면을 보호함으로써 성능 저하 요인을 차단할 수 있는 콘크리트 표면 처리제가 종종 사용되고 있다. 콘크리트 보수$\cdot$방수재료는 에폭시와 같은 유기계 재료가 많이 사용되고 있으며, 이런 재료는 초기접착력과 내약품성이 우수한 장점을 가지고 있다 그러나 이런 유기재료는 콘크리트와의 탄성계수 및 수축팽창율이 차이로 시간이 경과함에 따라 박리, 들뜸 현상이 발생하는 등 내구성에 문제가 있는 것으로 지적되고 있다. 한편 최근 콘크리트 구조물의 내구성 및 방수성능을 향상시키기 위해 무기질계 침투형 보수$\cdot$방수재의 사용사례가 증가하고 있다. 따라서 본 연구에서는 콘크리트 표면을 강화시켜 $CO_2$ 가스, 염화물 이온 등의 열화물질을 차단시키며 동시에 방수성능을 부여할 수 있는 콘크리트 침투형 성능개선제를 개발하였다.

공단지역 주변 토양 중 PCBs 농도분포 및 발생원 추정에 관한 연구 (Concentration Distribution of PCBs in Soil Around Industrial Complex and Relationship with PCBs Sources)

  • 박석운;김경수;김종국
    • 대한환경공학회지
    • /
    • 제29권5호
    • /
    • pp.521-527
    • /
    • 2007
  • PCBs의 오염정도 파악과 발생원 추정을 위해 다양한 발생원이 밀집한 시화 공단지역을 중심으로 8개의 토양시료를 채취 분석하였다. 토양 중 PCBs의 농도는 $2.43\sim274$ ng/g dry($0.116\sim60.5$ pg WHO-TEQ/g dry)의 범위로 검출되었고, 배가스 시료는 $48.6\sim2,872ng/m^3(0.00150\sim15.2ng\;WHO-TEQ/m^3)$의 범위로 조사되었으며, 이는 기존의 연구결과와 비교적 유사한 수준인 것으로 나타났다. 토양 중 PCBs의 동족체분포는 시료마다 다양한 패턴을 보였으나, 동족체 중 이성질체분포는 매우 유사한 경향을 나타내었다. 토양시료에 대한 발생원 추정을 위해 주성분분석을 수행한 결과 누적부하량이 95.7%인 주성분 1, 2를 추출할 수 있었다. 또한 Aroclors와 배출가스의 이성질체패턴 비교결과를 토대로 토양시료의 주성분분석 결과를 해석한 결과, 연소공정보다는 제품 PCBs에 의한 영향이 많은 것으로 추정되었고, 토양 중 PCBs의 많은 부분을 기존의 발생원인 제품 PCBs와 연소공정으로 설명할 수 있었다.

CA저장 사과를 이용한 Fresh-cut Apple의 제조 및 MAP저장 (Processing and MAP(modified atmosphere packaging) Storage of Fresh-cut Apples using CA Stored Apples)

  • 정헌식;문광덕;최종욱
    • 한국식품저장유통학회지
    • /
    • 제6권4호
    • /
    • pp.351-356
    • /
    • 1999
  • CA 저장 사과로 제조한 신선절단 사과의 비타민 C 강화와 품질유지기간을 연장하기 위한 방법을 개발하기 위한 일환으로 신선절단 사과를 10% L-ascorbic acid 용액에 침지처리하고 0.03 mm LDPE, 0.04 mm PP 및 0.08 mm Nylon/PE(질소치환) 필름으로 포장하여 1$0^{\circ}C$에서 저장하면서 포장내 기체농도와 품질변화를 조사하였다. 저장 중 포장내 산소는 Nylon/PE 포장구에서 가장 낮게 l~3%로 유지되었고 다음으로 PP, LDPE 포장구 순이었다. 저장초기 포장내 에틸렌 농도의 증가속도는 Nylon/PE 포장구에서 가장 낮았다. 신선절단 사과의 비타민 C 함량은 241mg/100g으로 강화되었으며, 저장 중에는 저산소 조성 포장조건일수록 ascorbic acid 산화를 억제시켜서 Nylon/PE 포장구에서 가장 높게 유지되었다. 절단사과에서 갈변은 저산소 조성 포장조건일수록 억제하는 경향이었으며 LDPE, PP 및 무포장 절단사과는 저장 6일 후부터 발생되었으나 Nylon/PE 포장 절단사과는 저장 14일 후까지도 발생되지 않았다. 절단사과에서 부패와 이취는 LDPE, PP 및 무포장에서는 저장 9일 후에 인지되었으나 Nylon/PE 포장에서는 저장 14일 후까지도 인지되지 않았다. 이상의 결과에서 볼 때 장기간 CA 저장한 사과로 비타민 C 함량이 강화된 신선절단 사과의 제조가 가능하였고 이의 품질유지에 적합한 포장조건은 산소투과도가 낮은 포장재와 산소 제거 후 밀봉하는 것으로 나타났다.

  • PDF

북한강 수역에 분포하는 Pseudanabaena 균주의 동정 및 2-MIB 생산 잠재성 분석 (Molecular Identification of Pseudanabaena Strains and Analysis of 2-MIB Production Potential in the North Han River System)

  • 김건희;이세진;서경화;황순진
    • 생태와환경
    • /
    • 제53권4호
    • /
    • pp.344-354
    • /
    • 2020
  • 이취미 물질인 2-MIB를 합성하는 원인종에 대한 정보는 담수생태계에서 이와 관련된 환경 및 경제적 문제를 해결하는 데 필수적이다. 본 연구는 북한강 수계에서 출현하는 Pseudanabaena strain을 분리·배양하고, 16S rDNA 염기서열을 이용하여 종 수준의 동정과 2-MIB 합성 유전자 탐색을 통해 이취미 물질 발생 잠재성을 분석하였다. 북한강 본류 지역(삼봉리, 조암면, 의암호 지역)에서 분리한 Pseudanabaena strain은 총 11개로서 NHUA201911과 NHPD201909 strain을 제외하고 단일세포의 크기는 서로 유사하였다. 그러나 16S rDNA 계통분석을 통한 유전자 염기서열의 유연관계를 분석한 결과, 분리된 strain들은 총 5개 종(P. cinerea, P. yagii, P. mucicola, P. galeata, P. redekei)으로 분류되었다(40~55% 유사도). 2-MIB를 합성하는 mibC 유전자는 P. cinerea 07 strain (NHUA202007-07)와 P. yagii (NHUA202007-08), P. redekei (NHUA201911)에서만 발견되었으며, 가스크로마토그래피 분석에 따라 실질적인 2-MIB 합성은 P. cinerea와 P. redekei 종에서 확인되었다. 본 연구결과는 분자생물학적 수준에서 북한강 수역에서 발생하는 Pseudanabaena속 남조류의 다양도에 대한 증거를 제공하는 연구로서 북한강 수계에서 2-MIB 생산 원인종에 대한 중요한 정보를 제공한다.

실증실험을 통한 측정 위치에 따른 주거공간 환기성능 평가 (Evaluation of Ventilation Performance of a Residential Unit for Different Sampling Points through Actual Field Tests)

  • 곽병창;이수만;김길태;김종엽
    • 토지주택연구
    • /
    • 제13권3호
    • /
    • pp.93-106
    • /
    • 2022
  • 일반적으로 실내 공기질을 조절하기 위해서는 환기의 역할이 중요하다. 최근 코로나-19 등 감염병의 확산으로 거주자들의 실내에서 보내는 시간이 늘어남에 따라 환기의 중요성은 더욱 높아지고 있으며, 환기성능에 대한 관심도 더욱 높아지는 추세이다. 많은 국가에서 현재 환기 성능을 파악하는 지표로서 시간당 환기횟수를 사용하고 있으며, 국내에서도 공동주택을 대상으로 시간당 0.5회 이상의 환기횟수를 확보하도록 규제하고 있다. 하지만, 선행연구 및 국내외 환기성능 평가 관련 표준을 검토한 결과 시간당 환기횟수만을 통해 실내 환기 성능을 평가하는데에는 실질적 실내 환기 성능을 평가하는 데에는 한계가 있는 것으로 나타났으며, 실질적인 환기 성능을 평가하기 위해서는 실내 국소부위를 대상으로 오염물질 저감속도와 공간내 환기 성능 균일도 등을 고려하는 것이 필요할 것이다. 이에 대해 본 연구에서는 추적가스 희석법을 이용한 실증 실험을 통해 측정 위치별 유속, 공기연령 및 환기효율을 측정하고 비교하였으며, 측정점별 조합에 따른 평균값과 공간 내 중심점에서의 측정값을 비교하여 측정점 선정에 따른 환기성능 차이를 비교 조사하였다. 본 연구 결과는 향후 실환경 기반의 주거공간 실내 환기성능을 평가하기 위한 실험절차 개발을 위한 기초자료로 활용될 수 있을 것이다.