• 한국진공학회지
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• 제18권2호
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• pp.85-91
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• 2009

현재 플렉시블 폴리머를 이용한 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술이 빠르게 발전하고 있다. 그 중에서 Polycarbonate (PC), Poly Methyl Methacrylate (PMMA)와 같은 플렉시블 폴리머 재료는 광학적 특성이 우수하고 인체 친화적이며 미세 패턴 제조 공정이 용이하다는 등의 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구는 반응성 이온 식각 기술을 이용하여 $O_2$, $SF_6$ 그리고 $CH_4$의 삼성분계 가스의 혼합 비율에 따른 PC와 PMMA의 건식 식각 결과 및 특성 평가에 관한 것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로 마스크를 형성하여 샘플을 만들었다. RF 척 파워를 100 W, 총 가스 유량을 10 sccm으로 고정시켜 플라즈마 식각 실험을 실시하였다. 그 결과에 의하면 전체적으로 PMMA의 식각율이 PC보다는 약 2배 정도 높았다. 그 결과는 PC는 PMMA 보다 상대적으로 높은 녹는점을 가지고 있다는 사실과 관계가 있다고 생각한다. 또한 $O_2/SF_6/CH_4$의 삼성분계 가스와 $SF_6/CH_4$, $O_2/SF_6$, $O_3/CH_4$로 나누었을 때 $O_2/SF_6$의 혼합 가스에서 PMMA와 PC의 식각 속도가 가장 높았다 (PC: 5 sccm $O_2$/5 sccm $SF_6$에서 약 350 nm/min, PMMA: 2.5 sccm $O_2$/7.5 sccm $SF_6$에서 약 570 nm/min). SEM을 활용하여 식각된 표면을 분석한 결과 PC는 PMMA보다 상대적으로 식각 표면이 더 매끈하였다. 또한 표면 거칠기 분석결과 PC의 표면 거칠기는 1.9$\sim$3.88 nm이었지만 PMMA의 표면 거칠기는 17.3$\sim$26.1 nm로 현저하게 높았음을 확인할 수 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.154-155
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• 2012

The promise of nano-crystalites (nc) as a technological material, for applications including display backplane, and solar cells, may ultimately depend on tailoring their behavior through doping and crystallinity. Impurities can strongly modify electronic and optical properties of bulk and nc semiconductors. Highly doped dopant also effect structural properties (both grain size, crystal fraction) of nc-Si thin film. As discussed in several literatures, P atoms or radicals have the tendency to reside on the surface of nc. The P-radical segregation on the nano-grain surfaces that called self-purification may reduce the possibility of new nucleation because of the five-coordination of P. In addition, the P doping levels of ${\sim}2{\times}10^{21}\;at/cm^3$ is the solubility limitation of P in Si; the solubility of nc thin film should be smaller. Therefore, the non-activated P tends to segregate on the grain boundaries and the surface of nc. These mechanisms could prevent new nucleation on the existing grain surface. Therefore, most researches shown that highly doped nc-thin film by using conventional PECVD deposition system tended to have low crystallinity, where the formation energy of nucleation should be higher than the nc surface in the intrinsic materials. If the deposition technology that can make highly doped and simultaneously highly crystallized nc at low temperature, it can lead processes of next generation flexible devices. Recently, we are developing a novel CVD technology with a neutral particle beam (NPB) source, named as neutral beam assisted CVD (NBaCVD), which controls the energy of incident neutral particles in the range of 1~300eV in order to enhance the atomic activation and crystalline of thin films at low temperatures. During the formation of the nc-/pm-Si thin films by the NBaCVD with various process conditions, NPB energy directly controlled by the reflector bias and effectively increased crystal fraction (~80%) by uniformly distributed nc grains with 3~10 nm size. In the case of phosphorous doped Si thin films, the doping efficiency also increased as increasing the reflector bias (i.e. increasing NPB energy). At 330V of reflector bias, activation energy of the doped nc-Si thin film reduced as low as 0.001 eV. This means dopants are fully occupied as substitutional site, even though the Si thin film has nano-sized grain structure. And activated dopant concentration is recorded as high as up to 1020 #/$cm^3$ at very low process temperature (＜ $80^{\circ}C$) process without any post annealing. Theoretical solubility for the higher dopant concentration in Si thin film for order of 1020 #/$cm^3$ can be done only high temperature process or post annealing over $650^{\circ}C$. In general, as decreasing the grain size, the dopant binding energy increases as ratio of 1 of diameter of grain and the dopant hardly be activated. The highly doped nc-Si thin film by low-temperature NBaCVD process had smaller average grain size under 10 nm (measured by GIWAXS, GISAXS and TEM analysis), but achieved very higher activation of phosphorous dopant; NB energy sufficiently transports its energy to doping and crystallization even though without supplying additional thermal energy. TEM image shows that incubation layer does not formed between nc-Si film and SiO2 under later and highly crystallized nc-Si film is constructed with uniformly distributed nano-grains in polymorphous tissues. The nucleation should be start at the first layer on the SiO2 later, but it hardly growth to be cone-shaped micro-size grains. The nc-grain evenly embedded pm-Si thin film can be formatted by competition of the nucleation and the crystal growing, which depend on the NPB energies. In the evaluation of the light soaking degradation of photoconductivity, while conventional intrinsic and n-type doped a-Si thin films appeared typical degradation of photoconductivity, all of the nc-Si thin films processed by the NBaCVD show only a few % of degradation of it. From FTIR and RAMAN spectra, the energetic hydrogen NB atoms passivate nano-grain boundaries during the NBaCVD process because of the high diffusivity and chemical potential of hydrogen atoms.

• 한국진공학회지
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• 제14권2호
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• pp.78-83
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• 2005

지난 10년 동안 유전체 내부에 형성된 나노미터 크기의 규소알갱이는 발광센터로서 주목 받아왔다 나노미터 크기인 결정질 규소의 엑시토닉 전자-홀의 쌍들이 발광결합에 기여한다고 여겨진다. 그러나 규소결정에 존재하는 여러가지 결함들은 비발광 천이의 경로가 되어 나노규소결접립의 발광천이와 경쟁하여 발광효율을 저하시키는 요인이 된다. 이러한 결정 결함들은 고온 열처리과정에서 대부분 소멸되나 $1000^{\circ}C$ 이상의 공정 에서도 나노규소와 유전체의 계면에 존재하는 결함들은 나노규소결정립의 발광을 억제하게 된다. 일반적으로 수소로서 규소결정립의 계면을 마감처리하게 되면 규소결정립의 발광효율이 획기적으로 향상되나 불행하게도 매질 내 수소의 높은 이동성으로 말미암아 후속 열처 리 과정에서 수소마감효과는 쉽게 손실된다. 따라서 본 연구에서는 온도가역적인 수소 대신 인을 이온주입 방법으로 첨가하여 수소와 같은 계면 마감효과를 얻으며 또한 후속 고온공정 에 대한 내구력을 증대시켰다. 모재인 산화규소 기판에 400keV, $1\times10^{17}\; Si/cm^2$와 그 주위에 균일한 함량을 도핑하기 위하여 다중에너지의 인을 주입하였다. 규소와 인을 이온주입 후 Ar 분위기에서 $1100^{\circ}C$ , 두 시간의 후열처리를 통하여 규소결정립을 형성하였으며 향상된 내열효과를 시험하기 위하여 Ar 분위기에서 $1000^{\circ}C$까지 열처리하였다. 인으로 마감된 나노미터 크기인 규소 결정립의 향상된 광-발광(PL)효과와 감쇄시간, 그리고 발광파장의 변화에 대하여 논의하였다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제17권2호
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• pp.149-157
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• 1988

새로운 풍미계 조미료를 개발할 목적으로 정어리를 원료로 하여 우리나라 사람의 기호에 맞고 즉석수우프로 이용할 수 있는 정어리분말수우프의 제조를 시도하였다. 생정어리의 내장을 제거한 후 자숙하여 일부 피하지방을 제거하고 훈연실에서 8시간$(80^{\circ}C)$ 훈연한후 실온에서 15시간 엄증하는 조작을 3차례 반복하였다. 이를 분쇄기로써 50 mesh 크기로 분쇄한 다음 여기에 설탕 4.0%, 식염 20.0%, Na-glutamate 3.0%, 후추가루 0.2%, 마늘가루 0.2% 및 양파가루 0.2%를 첨가하여 PET/AI foil/CPP 적층필름에 충전한 후 진공포장하였다. 제품제조시 훈연처리는 제품의 풍미향상 및 지질의 산화방지에 효과적이었다. 정어리분말수우프제품의 수분함량은 $9{\sim}10%$, 조지방함량은 7% 내외이었고, 아미노질소량은 $67.5{\sim}72.5mg/100g$이었다. 주요한 정미성분으로는 1MP가 478.2mg/100g, glutamic acid(2168.4mg/100g), histidine, argnine, alanine, phenylalanne 등 유리아미노산이 329.5mg/100g, lactic acid(576.9mg/100g), ${\alpha}-ketoglutaric$ acid 등 불휘발성 유기산이 712.2mg/100g 함유되어 있었다. 이외에 total creatinine이 409.0mg/100g, 미량의 betaine 및 TMAO로 이루어져 있었다. 정어리분말수우프의 정미성분을 열수로 추출하여 omision test 및 관능검사한 결과 맛 성분에의 기여도는 핵산관련물질, 유리아미노산, 유기산 순이었고 본 시제품을 시판멸치분말 수우프와 비교할 때 손색이 없었다. 지방산조성은 $C_{20:5}$ 및 $C_{22:6}$을 주체로 한 폴리엔산이 전체의 43.3%를 차지하였고 다음이 포화산(36.0%), 모노엔산(20.7%) 순이었다. 주된 구성지방산은 $C_{16:0},\;C_{16:1},\;C_{18:1},\;C_{20:5},\;$ 및 $C_{22:6}$ 등이었다. 제품저장중 품질안정성에 대해 검토한 결과 진공포장함으로서 저장중 지질산패, 갈변 등 품질저하를 억제시킬 수 있었다.

• 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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• 제10권2호
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• pp.35-43
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• 2005

토양의 유류오염복원에 가장 널리 사용되어지는 Bioslurping system은 Pump and Treatment (P&T), Soil Vapor Extraction (SVE), 그리고 Bioventing (BV) 공정을 복합한 지중(in-situ) 복원기술이라 할 수 있다 그러나 Bioslurping system은 비휘발성 유기물질, 난분해성 유기물질을 처리에 어려움을 가지고 있어 이를 보완할 수 있는 Modified Fenton 반응을 이용한 Hybrid process system의 동시처리 가능성을 실험하였다. 디젤로 오염된 사질토양복 원에 있어서 SVE 공정에 의한 복원과정에서 디젤 제거율이 진공압에 비례하여 증가하였으나 토양에 강하게 흡착된 디젤 성분중의 비휘발성 물질처리에는 한계가 있음을 나타내었다. 또한 지표면과 지하에서 제거 효율의 차이를 나타냄으로서 지표면 또는 추출정과 거리가 멀어질수록 SVE 공정의 효율이 감소하는 것을 확인하였으며 이는 원통형반 응기에서 공기의 흐름이 반구형태로 유도되는 것에 기인한다고 판단된다. Modified Fenton 반응과의 생물학적 화학적 Co-oxidation을 이용한 디젤의 처리의 경우에는 Modified Fenton 반응의 효율이 낮게 나타나 0.1% (wt) 과산화수소가 존재함에 있어서도 92.8%의 높은 디젤분해능을 나타냄으로서 과산화수소가 유류분해 미생물에 산소원으로 사용될 수 있는 것은 확인하였으나 Co-oxidation의 가능성이 현저하게 떨어지는 것으로 보인다. Modified Fenton 반응에서 철 착체물로서 NTA를 사용했을 때가 EDTA를 사용했을 때보다 더 높은 효율을 갖는 것과 괴산화수소의 농도가 높아지면서 Modified Fenton 반응의 효율도 증가하는 것을 확인하였다. 대표적인 방향족, 지방족 화합물 (aromatic, aliphatic compound)인 toluene, hexadecane을 오염원으로 한 Modified Fenton 반응에서 상대적으로 지방 족 화합물의 상대적 안정성으로 인하여 그 효율이 방향족 화합물에 비해 크게 감소하는 것으로 나타났다. 또한 디젤을 오염물로 사용하였을 경우, 최소 10% 이상의 과산화수소에서 그 효율을 나타내어 Bioslurping system에 의한 처리 후 토양에 잔존하는 디젤의 Modified Fenton 반응 공정을 이용한 복원기술의 복합화 가능성을 확인하였다.

• 한국축산식품학회지
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• 제33권2호
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• pp.244-250
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• 2013

본 연구는 염지촉진 방법인 인젝션 및 텀블링 처리에 따른 한우 우둔 염지육의 품질에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 처리구는 인젝션과 텀블링 단일 처리구 및 복합처리구로 텀블링 처리구의 경우 진공과 비진공으로 나누었으며 대조구는 6시간 침지하였다. pH는 5.26-5.51의 범위로 인젝션 후 텀블링 처리구가 5.51로 가장 높았고 텀블링 단일 처리구에서 5.26으로 가장 낮았으며 인젝션 및 텀블링 복합처리구에서 높은 경향을 나타내어(p<0.05) 보수력 증진에 가장 큰 영향을 미치는 것으로 판단되었다. 염도와 당도 측정결과 pH가 높게 측정된 인젝션 및 텀블링 복합처리구에서 높은 경향을 나타내어 염지 촉진효과가 가장 우수한 것으로 나타났다. 가열감량은 대조구에서 22.08%로 가장 많았으나 인젝션 후 텀블링 진공 처리구와 비진공 처리구 및 텀블링 진공처리구간의 유의적인 차이를 보이지 않았으며 인젝션 처리구는 13.98%로 유의적으로 가장 적게 나타났다. 조직감 측정 결과 hardness는 8.01-13.99 kg의 범위로 인젝션 후 진공텀블링 처리구가 가장 낮았으며 대조구에서 가장 높게 나타났다(p<0.05). 그러나 인젝션 후 진공 및 비진공 텀블링 처리구가 텀블링 진공 및 비진공 처리구보다 낮았지만 유의적인 차이를 나타내지 않았다. 또한 인젝션 처리구의 경우 단일 텀블링 진공 및 비진공 처리구와 비교할 때 텀블링과 인젝션 처리는 연도향상에 유사한 영향을 주는 것으로 보이며 단일 텀블링 진공과 비진공 처리구 및 인젝션 후 진공 및 비진공 텀블링 복합 처리구의 결과로 볼 때 진공과 비진공의 차이 또한 없는 것으로 판단되었다. 색도는 염지 및 가공방법에 따른 가열 전후의 뚜렷한 경향을 보이지 않았다. 관능평가 결과 모든 항목에서 인젝션 및 텀블링 공정으로 제조한 처리구가 대조구에 비해 유의적으로 높게 평가되었으며 연도정도, 조직감의 기호도 및 맛의 영향으로 종합적인 기호도에서 인젝션 후 비진공 텀블링 복합 처리구가 가장 높은 기호도를 나타내었다. 따라서 본 연구결과 인젝션 및 텀블링 공정은 육의 가공에 있어 가열수율, 연도 및 관능적 기호도 향상에 긍정적인 영향을 주는 것으로 사료되었다.

• 한국표면공학회지
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• 제41권5호
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• pp.181-188
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• 2008

A.C. impedance properties of HA/Ti compound layer coated Ti-30Ta-($3{\sim}15$)Nb alloys have been studied by electrochemical method. Ti-30Ta binary alloys contained 3, 7, 10 and 15 wt% Nb were manufactured by the vacuum furnace system. And then specimen was homogenized at $1000^{\circ}C$ for 24 hrs. The sample was cut and polished for corrosion test and coating. It was coated with HA/Ti compound layer by magnetron sputter. The non-coated and coated morphology of Ti alloy were analyzed by X-ray diffractometer (XRD), energy X-ray dispersive spectroscopy (EDX) and filed emission scanning electron microscope (FE-SEM). The corrosion behaviors were investigated using A.C. impedance test (PARSTAT 2273, USA) in 0.9% NaCl solution at $36.5{\pm}1^{\circ}C$. Ti-30Ta-($3{\sim}15\;wt%$)Nb alloys showed the ${\alpha}+{\beta}$ phase, and $\beta$ phase peak was predominantly appeared in the case of increasingly Nb contents. The microstructures of Ti alloy were transformed from needle-like structure to equiaxed structure as Nb content increased. From the analysis of coating surface, HA/Ti composite surface uniformed coating layer with 750 nm thickness. The growth directions of film were (211), (112), (300) and (202) for HA/Ti composite coating on the surface after heat treatment at $550^{\circ}C$, whereas, the growth direction of film was (110) for Ti coating. The polarization resistance ($R_p$) of HA/Ti composite coated Ti-alloys were higher than those of the Ti and HA coated samples in 0.9% NaCl solution at $36.5{\pm}1^{\circ}C$. Especially, corrosion resistance of Ti-Ta-Nb system increased as Nb content increased.

• 한국축산식품학회지
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• 제29권5호
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• pp.573-578
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• 2009

This study examined the effect of gamma irradiation on shelf-life extension and sensory characteristics of dak-galbi. Commercial dak-galbi sauce was gamma-irradiated at 0, 5, 10, 15, 20, 25, and 30 kGy. The dak-galbi sauce (200 g) was then added to diced chicken (800 g) for cooking, and the cooked dak-galbi samples in vacuum bags were stored at $35^{\circ}C$ for 5 d. Dak-galbi samples were analyzed on d 0, 1, 2, 3, 4, and 5 for microbial analysis (plate count agar), thiobarbituric acid (TBARS) and volatile basic nitrogen (VBN) measurements, and on d 0 for sensory evaluation. On d 0, total bacterial populations were below detection limit after dak-galbi marinated with the gamma-irradiated (${\geq}15\;kGy$) sauces were cooked, and the samples marinated with higher dose irradiated dak-galbi sauce had lower (p<0.05) bacterial populations during storage. TBARS values of the dak-galbi samples marinated with non-irradiated sauce were not different ($p{\geq}0.05$) with those marinated with irradiated sauces on d 0, and the TBARS values increased (p<0.05) during storage at $35^{\circ}C$, regardless of irradiation dose. In the VBN analysis, there was no difference ($p{\geq}0.05$) in VBN values among irradiation doses on d 0, but VBN values decreased (p<0.05) as irradiation dose increased during storage. Moreover, there were no significant differences ($p{\geq}0.05$) in sensory characteristics among irradiation doses. These results indicate that use of gamma irradiation on dak-galbi sauce may be useful in shelf-life extension without compromising the sensory characteristics of dak-galbi.

• 멤브레인
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• 제5권1호
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• pp.35-43
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• 1995

이산화탄소를 포함하는 기체혼합물의 분리를 위해 액체막을 기반으로 하여 관련된 많은 연구가 시도되어 왔다. 폐가스로부터 이산화탄소를 분리하기 위해 본 연구에서는, 흡수제(absorbent)가 흡수(absoption)모듈과 전공조작식 탈착(desorption)모듈간을 계속 순환하는, 보다 개선된 형식의 순환식 중공사 막흡수기(circulatory HFMA)를 새로이 구성하고 분리성능에 관한 기초적인 해석을 하였다. 기-액 물질전달 모델식에 수치해를 적용하여 중공사 막 내부에서의 액상에 대한 농도분포를 정량적으로 예측하였고, 순환하는 흡수제의 유속에 따른 투과플럭스와 선택도의 변화거동을 살펴보았다. $CO_{2}/N_{2}$ 원료혼합기체와 흡수제로서 반응이 없는 순수(pure water)에 대해 계산을 수행하였다. 결과로 흡수제의 유량이 증가함에 따라 투과플럭스는 증가하는 반면에 종전 방식에 비해 졸은 값을 나타낸 선택도의 경우는 점차 감소하였다. 한편 투과플럭스는 진공조작변수인 탈착모듈에서의 기상압력($p_{4}$)에 크게 좌우됨을 보았다. 기존의 평판형 막모듈과의 비교로부터 예상했던 바와 같이 본 연구에서의 중공사 막모듈이 우수한 투과율을 나타냄을 확인할 수 있었다. Circulatory HFMA의 실제 설계를 위한 기초해석이 본 연구가 갖는 의의이다.

• 분석과학
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• 제16권6호
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• pp.483-487
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• 2003

Triazole 계의 대표적인 농약 중 하나인 amitrole (3-amino-1,2,4-triazole)은 널리 사용되고 있는 제초제로, 환경 중에 유입될 경우 지하수 및 지표수를 오염시킴으로써 궁극적으로 음용수의 오염까지 일으킬 수 있다. 이 물질은 물에 대한 용해도가 높은 반면, 유기 용매에 대한 용해도가 낮고 극성이 강하기 때문에 수질 시료로부터 추출하기 매우 어렵다. 본 연구에서는 수질 시료중의 amitrole을 GC/MS를 이용하여 ppb 수준 이하의 극미량까지 분석하기 위한 방법을 조사하였다. 10 mL의 수질 시료를 진공회전증발기로 완전히 증발시킨 후, isobutyl chloroformate (iso-BCF)를 사용하여 실온에서 15~20분간 반응시켜 유도체화 하였다. 그 결과, N-isobutoxycarbonyl amitrole derivative를 생성함으로써 GC/MS에서의 감도가 향상됨을 확인할 수 있었다. $1.0{\mu}g/L$, $10.0{\mu}g/L$ 및 $100.0{\mu}g/L$ 농도의 수질에서 본 분석방법의 회수율은 각각 98.0%, 94.9% 및 105.3%였고, RSD는 2.4%, 2.8% 및 1.5%였다. 10 mL의 수질 시료로부터 얻어진 검량선의 상관계수는 $0.1{\sim}100.0{\mu}g/L$의 농도 범위에서 0.997로 나타나 직선성이 우수하였으며, 검출한계는 $0.1{\mu}g/L$로 나타났다.