이온빔으로 질화처리된 사파이어기판위에 성장한 ZnO박막의 특성
(Properties of ZnO thin film grown on $Al_2O_3$ substrate pretremented by nitrogen ion beam)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
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- pp.413-416
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- 2004