This paper describes a hybrid cleaning method of silicon wafer combining nano-bubble and ultrasound to remove sub-micron particles and contaminants with minimal damage to the wafer surface. In the megasonic cleaning process of semiconductor manufacturing, the cavitation induced by ultrasound can oscillate and collapse violently often with re-entrant jet formation leading to surface damage. The smaller size of cavitation bubbles leads to more stable oscillations with more thermal and viscous damping, thus to less erosive surface cleaning. In this study, ultrasonic energy was applied to the wafer surface in the DI water to excite nano-bubbles at resonance to remove contaminant particles from the surface. A patented nano-bubble generator was developed for the generation of nano-bubbles with concentration of 1×109 bubbles/ml and nominal nano-bubble diameter of 150 nm. Ultrasonic nano-bubble technology improved a contaminant removal efficiency more than 97% for artificial nano-sized particles of alumina and Latex with significant reduction in cleaning time without damage to the wafer surface.
Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
/
2023.05a
/
pp.61-62
/
2023
In this study, the steel slag was immersed in CO2 nano-bubble water by Electric arc funace it was accelerated aging was reviewed through XRD analysis. The main minerals of the electric furnace oxidized slag were spinel and gehlenite, and there was no change with the number of CO2 nano-bubbles. Minerals such as larnite, calcio-olivine, agnetite, calcite, and spinel were distributed in electrically reduced slag, and the content of calcite more than doubled with CO2 nano-bubble immersion. Therefore, it is judged that the acceleration aging of Electric arc funace reduced slag is effective according to the immersion of CO2 nano-bubble.
Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
/
2020.11a
/
pp.145-146
/
2020
This study investigated the performance evaluation of polymer cement mortar for repairing concrete structures using calcium nitrite(Ca(NO2)2) and CO2 nano-bubble mixing water to develop section-restoration methods for the repair and reinforcement of cracks. The evaluation items were strength and microstructure analysis at 28 days of age according to the change in the amount of calcium nitrite and the use of CO2 nano-bubble water. As a result of the experiment, it was confirmed that the performance of polymer cement mortar for repairing concrete structures was improved by the generation of nitrite-based hydration products when calcium nitrite and CO2 nano-bubble water were used.
Microalgae Nannochloropsis oculata (N. oculta) and Chlorella vulgaris (C. vulgaris) are important sources for biodisel because of the high content of neutral lipids. Stable nano bubble is maintained for a long time and therefore it is possible for use in biotechnology. In this study, effects of nano bubble oxygen or hydrogen water on the microalgae growth were characterized. The cell growth in nano bubble water was similar to that of control, and the total lipid content was rather low. But, chlorophyll content of N. oculata grown in nanno bubble oxygen and hydrogen water increased 54% and 30%, and increased 59%, 39% in C. vulgaris. Carotenoid content also increased 21%, 25% in N. oculata and 49%, 29% in C. vulgaris grown in nano bubble oxygen and hydrogen water. From these results, nano bubble water seems to enhance the photosynthetic capacity of microalgae.
Kim, Sangbeom;Kim, Hyoungjun;Han, Mooyoung;Kim, Tschungil
Environmental Engineering Research
/
v.24
no.3
/
pp.382-388
/
2019
Although nanobubbles attract significant attention, their characteristics and applications have not been thoroughly defined. There are diverse opinions about the definition of nanobubbles and controversy regarding methods that verify their characteristics. This study defines nanobubbles as having a size less than $1{\mu}m$. The generation of these sub-micron (nano) bubbles may be verified by induced coalescence or light scattering. The size of a sub-micron (nano) bubbles may be measured by optical, and confocal laser scanning microscopy. Also, the size may be estimated by the relationship of bubble size with the dissolved oxygen concentration. However, further research is required to accurately define the average bubble size. The zeta potential of sub-micron (nano) bubbles decreases as pH increases, and this trend is consistent for micron bubbles. When the bubble size is reduced to about 700-900 nm, they become stationary in water and lose buoyancy. This characteristic means that measuring the concentration of sub-micron (nano) bubbles by volume may be possible by irradiating them with ultrasonic waves, causing them to merge into micron bubbles. As mass transfer is a function of surface area and rising velocity, this strongly indicates that the application of sub-micron (nano) bubbles may significantly increase mass transfer rates in advanced oxidation and aeration processes.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
/
v.25
no.6
/
pp.27-32
/
2021
This study was conducted to improve the workability of cementitious composites using nano-bubble water. The used nano-bubble water contains 7% of nano-sized bubbles with an averaged bubble size of 750 nm. Various different types of cementitious composites including ultar-high performance concrete, lightweight cementitious composites, and high-strength mortar have been tested to identify the changes of material properties. From the use of nano-bubble water, it was confirmed that workability has been improved by 3-22%. On the other hand, other material characteristics such as compressive strength did not have noticeable changes. Therefore, it was proposed that the use of nano-bubble water can enhance workability of cementitious composites without having significant impact on other material properties.
Seo, Ji-Hye;Choi, Soo-Jeong;Lee, Sang-Hoon;Lee, Jae-Hwa
Applied Chemistry for Engineering
/
v.26
no.4
/
pp.421-426
/
2015
Arthrospira platensis (A. platensis) has been used in various fields including dietary supplements as it contains a high protein content and large amounts of unsaturated fatty acids. In addition, it has some pigments such as phycocyanin, myxoxanthophyll and zeaxanthin and thus has been used as a food additive and antioxidant substance. Nano-bubble hydrogen is to dissolve more than the saturation solubility in water by injecting the hydrogen gas in the nano-bubble hydrogen water. The nano-bubbles are known to possess higher antioxidant properties in addition to anticancer effects. In this paper, Arthrospira platensis was cultured in both a normal medium with distilled water and nano-bubble hydrogen water medium and their properties were compared. The cell growth and the content of chlorophyll and carotenoid in the nano-bubble hydrogen water was 15% higher than that of the control. The level of phycocyanin in nano-bubble hydrogen water was also 7% higher than that of the control. However, there were little differences in the lipid content between the nano-bubble and control. To determine the content of the antioxidants, the level of flavonoid and polyphenol were measured. The level of flavonoid in nano-bubble hydrogen water was found to be more than 70% increased when comparing to that of the control, while the level of polyphenol was similar to each other.
This paper describes a effect of nano-bubble on removal of complex heavy metals, in order to remove pollutants of soil with copper (Cu) and lead (Pb) based on column test. It was conducted column test considering inflow and fine soil contents condition, and then it was analyzed removal effect of nano-bubble on Cu and Cu/Pb. The test result showed that the removal effect of the nano-bubble was higher than that of distilled water regardless of fine soil contents in case of Cu pollutant, and the removal effect of nano-bubble on heavy metals was found to have a significant impact on Pb than Cu in case of Cu/Pb pollutants. It was also analyzed that engineering properties (like a flow path and permeability) of soil due to void ratio has influenced a significant impact the pollutants removal of nano-bubble. The test results determined that nano-bubble can be applied as a flushing agent for priority target pollutant in complex heavy metals.
Formation of air bubble is the one of common defects in UV nano imprint lithography. Location of dispensing and volume of droplets are among the most important parameters in the process. ]n this study, UV curable resin droplets with different volumes were dispensed at different locations and pressed to investigate air bubble formation. By varying volume of droplet and dispensing location, process conditions were found for minimum air bubble area.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
/
v.22
no.6
/
pp.11-18
/
2021
Nano bubble water is used in various washing processes, including cleaning of solar panels, salt rejection of roads, and cleaning precision parts of machines. High cleaning efficiency and water conservation are obtained by applying nano bubbles during pretreatment of the marine waste cleaning system. This study compared the salt rejection of nano bubble water, and it was revealed that marine waste was produced by wood immersed in 200,000 mg/L NaCl solution. Using tap water and nano bubble water for washing, comparisons of the surface salt concentrations of wood were determined according to the nozzle, orifice diameter, pump speed and washing time. Decreased surface salt concentration was observed on the wood surface with increasing washing time. Water consumption was optimal between 5- and 10-seconds washing time. Increasing orifice diameter of the nozzle reduced the spraying pressure, with consequent increase in the wood surface salt concentration, thereby establishing the importance of orifice diameter of the nozzle. Compared to levels obtained with tap water, salt concentration of the wood surface after washing with nano bubble water was 2.2% lower with sector nozzle, and 30.9% lower with circular nozzle. In the washing experiment using nano bubble water, the salt concentration on the wood surface was about 9.5 mg/L lower when washed with sector nozzle than the circular nozzle.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.