The understanding of the friction characteristics of micro-textured surface is of great importance to enhance the tribological properties of nano- and micro-devices. We fabricate rectangular patterns with submicron-scale structures on a Si wafer surface with various pitches and heights by using a focused ion beam (FIB). In addition, we fabricate tilted rectangular patterns to identify the influence of the tilt angle ($45^{\circ}$ and $135^{\circ}$) on friction behaviour. We perform the friction test using lateral force microscopy (LFM) employing a colloidal probe. We fabricate the colloidal probe by attaching a $10{\pm}1-{\mu}m$-diameter borosilicate glass sphere to a tipless silicon cantilever by using a ultraviolet cure adhesive. The applied normal loads range between 200 nN and 1100 nN and the sliding speed was set to $12{\mu}m/s$. The test results show that the friction behavior varied depending on the pitch, height, and tilt angle of the microstructure. The friction forces were relatively lower for narrower and deeper pitches. The comparison of friction force between the sub-micro-structured surfaces and the original Si surface indicate an improvement of the friction property at a low load range. The current study provides a better understanding of the influence of pitch, height, and tilt angle of the microstructure on their tribological properties, enabling the design of sub-micro- and micro-structured Si surfaces to improve their mechanical durability.
We have developed the detection method of the resonance frequency of micro/nano mechanical resonator using optical method. The optical interferometery method enabled us to detect the displacement change of resonators within several nm scale. The micro mechanical resonator was produced by attaching a micro mechanical cantilever to a piezo ceramic. The mass of cantilever was increased by evaporating Au using electron beam evaporator and the mass variation was estimated by detecting the resonance frequency changes.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.126-126
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2011
수직으로 정렬된 1차원 ZnO nanorod arrays (NRAs)는 효율적인 반사방지 특성의 기하학적 구조를 갖고 있어, 크기와 모양 그리고 정렬형태의 다양한 설계를 통해 빛의 흡수율과 광 추출효율을 증가시켜 광전소자 및 태양광 소자의 성능을 향상시킬 수 있으며, 최근 이러한 연구에 대한 관심이 집중되고 있다. 본 연구에서는 ZnO NRAs의 넓은 표면적과 불연속적인 독특한 표면을 활용하여 광학적 특성을 효과적으로 개선하였다. 실험을 위해, thermal evaporator를 사용하여 Au와 Ag 그리고 e-beam evaporator를 사용하여 $SiO_2$를 ZnO NRAs 표면에 여러 가지 조건으로 증착하여, 독특한 계층 나노구조의 형성과 광학적 특성을 관찰하였다. 표면 roughness가 큰 FTO/glass 위에 수열합성법을 통해 끝이 뾰족하고, 비스듬히 정렬된 ZnO nano-tip array에 Au를 증착할 경우 ZnO/Au core/shell 구조가 형성되며, Au의 광 흡수율이 매우 크게 증가함을 관찰할 수 있었다. 반면 flat한 표면위에 빽빽하게 수직으로 정렬된 ZnO NRAs를 성장시켜 그 위에 Ag를 증착할 경우, evaporated Ag flux가 ZnO nanorod의 사이에 scattered 되어 ZnO nanorod 기둥의 측면에 직경이 50 nm 이하인 nanoparticles이 decorated 되어 국소표면플라즈몬 현상이 관찰되었으며, 이러한 효과를 통해 입사되는 빛의 흡수율을 효과적으로 증가시킬 수 있었다. 또한, ZnO NRAs의 표면에 $SiO_2$를 e-beam evaporator를 이용하여 증착할 경우, 자연적으로 vapor flux와 ZnO nanorod 사이에 oblique angle이 $80^{\circ}$ 이상으로 증가하여 $SiO_2$ nanorods가 자발적으로 형성되어 ZnO/$SiO_2$ branch 계층형태의 나노구조를 제작할 수 있었다. 이러한 구조는 유효 graded refractive index profile로 인해 기존의 ZnO NRAs보다 개선된 반사방지 특성을 나타냈다. 이러한 계층 나노구조의 광학적 특성을 시뮬레이션을 통해 이론적으로 분석을 통해 광전자 소자의 성능의 개선에 대한 적용 가능성을 조사하였다.
Kim Jong-Ahn;Kim Jae-Wan;Park Byong-Chon;Kang Chu-Shik;Eom Tae-Bong
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.23
no.8
s.185
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pp.72-79
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2006
We measured grating pitch standards using optical diffractometry and analyzed measurement uncertainty. Grating pitch standards have been used widely as a magnification standard for a scanning electron microscope (SEM) and a scanning probe microscope (SPM). Thus, to establish the meter-traceability in nano-metrology using SPM and SEM, it is important to certify grating pitch standards accurately. The optical diffractometer consists of two laser sources, argon ion laser (488 nm) and He-Cd laser (325 nm), optics to make an incident beam, a precision rotary table and a quadrant photo-diode to detect the position of diffraction beam. The precision rotary table incorporates a calibrated angle encoder, enabling the precise and accurate measurement of diffraction angle. Applying the measured diffraction angle to the grating equation, the mean pitch of grating specimen can be obtained very accurately. The pitch and orthogonality of two-dimensional grating pitch standards were measured, and the measurement uncertainty was analyzed according to the Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. The expanded uncertainties (k = 2) in pitch measurement were less than 0.015 nm and 0.03 nm for the specimen with the nominal pitch of 300 nm and 1000 nm. In the case of orthogonality measurement, the expanded uncertainties were less than $0.006^{\circ}$. In the pitch measurement, the main uncertainty source was the variation of measured pitch values according to the diffraction order. The measurement results show that the optical diffractometry can be used as an effective calibration tool for grating pitch standards.
Hwang, Ki Ha;Wu, Hua Feng;Choi, Won Suk;Cho, Sung Hak;Kang, Myungchang
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.18
no.7
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pp.97-103
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2019
Mn+1AXn (MAX) phases are a family of nano-laminated compounds that possess unique combination of typical ceramic properties and typical metallic properties. As a member of MAX-phase, $Ti_2AlN$ bulk materials are attractive for some high temperature applications. In this study, $Ti_2AlN$ bulk with high density were synthesized by spark plasma sintering method. X-ray diffraction, micro-hardness, electrical and thermal conductivity were measured to compare the effect of material properties both $Ti_2AlN$ bulk samples and a conventional Ti-6Al-4V alloy. A femto-second laser conditions were conducted at a repetition rate of 6 kHz and laser intensity of 50 %, 70% and 90 %, respectively, laser confocal microscope were used to evaluate the width and depth of ablation. Consequently, the laser ablation result of the $Ti_2AlN$ sample than that of the Ti-6Al-4V alloys show a considerably good ablation characteristics due to its higher thermal conductivity regardless of to high densification and high hardness.
The current study employs the nonlocal Timoshenko beam (NTB) theory and von-Kármán's geometric nonlinearity to develop a non-classic beam model for evaluating the nonlinear free vibration of bi-directional functionally-graded (BFG) nanobeams. In order to avoid the stretching-bending coupling in the equations of motion, the problem is formulated based on the physical middle surface. The governing equations of motion and the relevant boundary conditions have been determined using Hamilton's principle, followed by discretization using the differential quadrature method (DQM). To determine the frequencies of nonlinear vibrations in the BFG nanobeams, a direct iterative algorithm is used for solving the discretized underlying equations. The model verification is conducted by making a comparison between the obtained results and benchmark results reported in prior studies. In the present work, the effects of amplitude ratio, nanobeam length, material distribution, nonlocality, and boundary conditions are examined on the nonlinear frequency of BFG nanobeams through a parametric study. As a main result, it is observed that the nonlinear vibration frequencies are greater than the linear vibration frequencies for the same amplitude of the nonlinear oscillator. The study finds that the difference between the dimensionless linear frequency and the nonlinear frequency is smaller for CC nanobeams compared to SS nanobeams, particularly within the α range of 0 to 1.5, where the impact of geometric nonlinearity on CC nanobeams can be disregarded. Furthermore, the nonlinear frequency ratio exhibits an increasing trend as the parameter µ is incremented, with a diminishing dependency on nanobeam length (L). Additionally, it is established that as the nanobeam length increases, a critical point is reached at which a sharp rise in the nonlinear frequency ratio occurs, particularly within the nanobeam length range of 10 nm to 30 nm. These findings collectively contribute to a comprehensive understanding of the nonlinear vibration behavior of BFG nanobeams in relation to various parameters.
This paper deals with the effect of non-linear volume fraction distribution of carbon nanotube in the FG-CNTRC beams on the critical buckling via a hyperbolic shear deformation theory. Here, different boundary condition was considered including hinged hinged, clamped clamped and clamped-free. Single-walled carbon nanotubes are aligned and distributed in the polymer matrix in different ways to reinforce it and the material properties of (CNTRC) beams are assumed to vary gradually along the thickness direction, following a new exponential power law distribution of (CNT). The effective material properties of nanocomposite beams are estimated using the rule of mixture. The governing equations of the mathematical models are obtained by applying Hamilton's principle. The results provided of mathematical models in this work are compared and validated with similar ones in the literature. The critical buckling loads of nanocomposite beams with different boundary conditions of linear and non-linear distribution of CNT volume fraction were obtained. The effects of several parameters, including the type of beam, the volume fraction of carbon nanotubes (CNTs), the exponent degree (n), and the aspect ratio, were investigated. The distribution non-linearity of CNT volume fraction in the beam has a significant impact on the mechanical properties, particularly in buckling behavior with different boundary conditions.
The purpose of this study is(was) to investigate the shielding ratio of 1 mmPb and the off axis ratio outside the field edge at depth of 1 cm from a phantom surface for 6 MV photon beam. A dose of 180 cGy was delivered to a depth of 10 cm for a $10{\times}10cm^2$ and $15{\times}15cm^2$ field in the SAD technique. The off axis ratio was calculated by measuring the dose of optically stimulated luminescent nanoDot dosimeters(OSLnDs) positioned at 2, 4 and 6 cm from the field edge, and the center axis of field. And the shielding ratio of 1 mmPb was calculated by measuring the dose of OSLnDs positioned at 2, 4 and 6 cm from the field edge.. As a result, for a $10{\times}10cm^2$ and $15{\times}15cm^2$ field, the off axis ratios were acquired 0.008-0.023 and 0.011-0.028, respectively. Also the shielding ratios of 1 mmPb were acquired 0.868-0.888 and 0.807-0.842, respectively. These results provide data to protect organs at risk outside the radiation treatment field.
Kim, Yeong-Ho;Kim, Seong-Jun;No, Sam-Gyu;Park, Dong-U;Kim, Jin-Su;Im, In-Sik;Kim, Jong-Su
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.293-294
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2011
It is known that semiconductor quantum-dot (QD) heterostructures have superior zero-dimensional quantum confinement, and they have been successfully applied to semiconductor laser diodes (QDLDs) for optical communication and infrared photodetectors (QDIPs) for thermal images [1]. The self-assembled QDs are normally formed at Stranski-Krastanov (S-K) growth mode utilizing the accumulated strain due to lattice-mismatch existing at heterointerfaces between QDs and cap layers. In order to increase the areal density and the number of stacks of QDs, recently, sub-monolayer (SML)-thick QDs (SQDs) with reduced strain were tried by equivalent thicknesses thinner than a wetting layer (WL) existing in conventional QDs (CQDs) by S-K mode. Despite that it is very different from CQDs with a well-defined WL, the SQD structure has been successfully applied to QDIP[2]. In this study, optical characteristics are investigated by using photoluminescence (PL) spectra taken from self-assembled InAs/GaAs QDs whose coverage are changing from submonolayer to a few monolayers. The QD structures were grown by using molecular beam epitaxy (MBE) on semi-insulating GaAs (100) substrates, and formed at a substrate temperature of 480$^{\circ}C$ followed by covering GaAs cap layer at 590$^{\circ}C$. We prepared six 10-period-stacked QD samples with different InAs coverages and thicknesses of GaAs spacer layers. In the QD coverage below WL thickness (~1.7 ML), the majority of SQDs with no WL coexisted with a small amount of CQDs with a WL, and multi-peak spectra changed to a single peak profile. A transition from SQDs to CQDs was found before and after a WL formation, and the sublevel of SQDs peaking at (1.32${\pm}$0.1) eV was much closer to the GaAs bandedge than that of CQDs (~1.2 eV). These revealed that QDs with no WL could be formed by near-ML coverage in InAs/GaAs system, and single-mode SQDs could be achieved by 1.5 ML just below WL that a strain field was entirely uniform.
Essentail oils and carrier oils are generally used for Aromatherapy. Therefore the toxicity, possibilities of irritations and sensitive reactions and injury of essential oils must be considered for clients and therapists. So that, in this studies a toxicity of jojoba and 4 species essential oils (fennel, mandarine, tea tree and cedarwood) were investigated by the measurement of MTT-assay and sirius red staining. Liver, kidney and brain tell were chosen for the cell viability assay and observation of morphological change. In the result, no cytotoxicity was observed on live., kidney and brain cell at concentration of 0.01 $\mu\el/m\el$ jojoba oil. And lysis and nucleus breaking were not observed at same concentration of jojoba oil on live., kidney and brain cell. fennel oil was showed 50% of cell viability and inhibited cell growth on liver, kidney and brain cell at relatively high concentration compared with the other oils. 50% of liver, kidney and brain cell viability and delayed cell growth of tea tree and mandarine oil were revealed at lower concentration than fennel oil. In cedarwood oil, 50% of liver cell viability at concentration of 0.00067 $\mu\el/m\el$ was showed, but cell viability and cell growth of kidney and beam cell were effected at the lowest concentration compared with other oils. So that, jojoba oil as using of carrier oil may be not harmful. And 3 essential oils from the fennel, tea tree and mamdarine may have very low toxicity, but cedarwood may be used carefully for inhalation. And over dosage of concentrated cedarwood oil should be not directly touched and exposured, and absolute essential oils must be diluted with carrier oils for topical and systematic massage.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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