• 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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• 제어로봇시스템학회 2003년도 ICCAS
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• pp.1957-1962
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• 2003

In order to design the phantom of heart, we have developed the multi-dipole current source system. Such a one be clue to the various motion of heart. The magnetocardiograph (MCG) system for diagnosing the disease of the heart due to an analysis of the heart signal. The multidipole current source system be built by microprocessor. We use the shield room to obtain a good experimental result. Then the signal acquired is mixed with a background noise, through a filtering extracts a pure signal. The pure signal such a heart phantom is analyzed by an electromagnetic map.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제46권1호
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• pp.59-67
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• 2009

본 논문에서 생체신호의 적응잡음을 제거하기 위해 개선된 비적적응필터(IMADF) 알고리즘을 제안한다. IMADF 구조는 DPCM과 Sign 알고리즘을 사용한 MADF에 1차 예측 필터를 사용한다. 그때 생체신호를 시험하기 위해서 MCG(심자도)에 기반한 심장팬텀 모델을 사용하고 신호를 분석한다. 심장팬텀의 기능들은 다극점 전류원으로부터 만들어진다. 이것은 인간의 심장과 똑같은 기능을 수행하는 역할을 한다 실험결과 IMADF 알고리즘은 곱셈동작이 없고 덧셈동작만 MADF 알고리즘보다 2개 더 늘어났으나, 훨씬 안전한 수렴특성을 나타냈고, 계산상을 복잡성도 줄이는 결과를 얻었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.248-248
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• 1999

현재 반도체 공정에서 사용하는 건식식각 공정은 고밀도 프라즈마를 사용한 플라즈마 장비를 사용하는 경향이 증대되고 있으며 이와 같은 고밀도 플라즈마 장비의 사용은 반도체 소자의 최소 선폭(CD)이 deep sub-micron으로 감소하고 반면 실리콘 웨이퍼의 크기는 8인치 직경이상으로 증가하여 가고 있어서 그 필요성이 더욱 더 증가되고 있다. 특히 TFT-LCD를 비롯한 PDP, 그리고 FED 등과 같은 여러 가지 형태의 평판 디스플레이의 제조공정에 있어서도 실리콘 기판에 비하여 대면적의 기판을 이용하고 또한 사각형 형태의 시편공정이 요구되므로 평판 디스플레이에서도 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 따라서, 본 실험에서는 여러 가지 형태의 영구자석 및 전자석의 세기 및 배열이 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과(plasma&etch uniformity, etch rate, etc.)를 살펴보기 위해서, 유도결합형 플라즈마 chamber(210mm$\times$210mm) 내부에 magnetic cusping을 위한 영구자석용 하우스를 제작하여 표면에서 3000Gauss의 자장세기를 갖는 소형영구자석을 부착하였으며,외벽에는 chamber와 같이 사각형태로 40회 감겨진 50cm$\times$50cm 의 크기로 chamber 상하에 1개씩 Helmholtz 코일 형태로 설치하였다. 식각가스로는 Cl2, HBr, 그리고 BCl3 gas를 이용하여 axial magnet과 multidipole magnet 유무에 따른 반응성 gas의 polysilicon 식각특성을 살펴보았으며, 또한 electrostatic probe(ESP, Hiden Analytic미)를 이용하여 이들 반응성 gas에 대한 magnetically enhanced inductively coupled plasma의 특성분석을 수행하였따. Cl2, HBr, BCl3의 반응성 식각가스 조합을 이용하여 polysilicon의 식각속도 및 식각선택도를 관찰한 결과, 어떠한 자장도 가하지 않은 경우에 비해 gas의 분해율이 가장 높은 영구자석과 전자석의 조합에서 가장 높은 식각도가 관찰되었다. 특히 pure Cl2 플라즈마의 경우, Axial 방향의 전자석만을 가한 경우 식각속도에 있어서는 큰 증가를 보였으나, 식각균일도(식각균일도:8.8%)는 다소 감소하였으며, Axial 방향의 전자석과 영구자석을 조합한 경우 가장 높은 식각속도를 얻었으며, 식각균일도는 Axial 방향의 전자석만을 사용하였을 경우와 비교하여 향상되었다.