Stiffness Identification of Hydrostatic Guideways and Linear Motors of an Ultra-Precision Machine for Machining Large-Surface Micro-Features (초정밀 대면적 미세 형상 가공기의 유정압 안내면 및 리니어 모터의 강성 규명)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2007.11a
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- pp.127-128
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- 2007