This paper presents a wafer motion modeling of the transfer unit and the control unit in the clean tube system, which was developed as a means for transferring the air-floated wafers inside the closed tube filled with the super clean airs. The motion in the transfer unit is modeled as a mass-spring-damper system where the recovering force by air jets issued from the perforated plate is modeled as a linear spring. The motion in the control unit is also modeled as another mass-spring-damper system, but in two dimensional systems. Experiments with a clean tube system built for 12-inch wafers show the validity of the presented force and motion models.
The purpose of this study is to improve robot motion control in teaching and operating the expert system/world coordinate system (TOES/WCS) constructed in the previous study. The major contribution of this study is reduction of the inaccuracy in coordinated reading and the movement time of robots in macro motion control. This study also reduces undesirable time of micro motion control by using an unit control (UC) and a micro unit control (MUC) in micro motion control.
This study deals with the motion modeling by the unit motion of robots and the work measurement through classification of robot motions and standardization. The proposed approach is to scrutinize the Predetermined Time Standards(PTS) methods for measurement of manual tasks performed by people and the basic motions for accomplishing that tasks. And then, it constructs the unit motion models as subsets composed with the basic motions. It apply together with movements distance as a time variable, too. These results are used for the work measurements of robots by the unit motion models.
In this paper, a motion control system based on 2-axis gimbal system is designed and implemented to drive a high speed and precision. The proposed system consists of the RS-422 interface, 2-axis gimbal platform, servo control unit integrated with a high speed DSP chip-set, servo amplifier unit, potentiometer sensor unit, and resolver sensor unit. The servo control unit using the high speed DSP firmware is designed to get a fast response without an overshoot with step input and a RMS error of low probability with ramp input. The servo amplifier unit using a voltage control is designed to resolve the zero-crossing distortion for precise motion. To verify the performance and stability of the implemented system, experiments are performed through a measurement of the time and frequency domain response in a laboratory environment by using a PXI(PCI eXtentions for Instrumentation).
Positioning accuracy largely depends on the variation of friction force in guide table, geometric accuracy of feed unit like as ballscrew and controllable accrecy of servo unit, in general. This paper deals with improvement of microstep resolution about hydrostatic table. Torque control mode have a advantage in microstep test, and more stable than velocity control mode in low velocity motion. Hydro static table have the elastic behavior within several .mu.m, so different character exist between the elastic motion and rolling motion. Integral gain is dominant than other gain in elastic motion. In order to improve response time in elastic motion,increasing gain is suggested within the stable region.
This paper addresses the heading control of an offshore floating storage and regasification unit (FSRU) using a resolved motion and acceleration control (RMAC) algorithm. A turret moored vessel tends to have the slewing motion. This slewing motion may cause a considerable decrease in working time in loading and unloading operation because the sloshing in the LNG containment tank might happen and/or the collision between FSRU and LNGC may take place. In order to deal with the downtime problem due to this slewing motion, a heading control system for the turret moored FSRU is developed, and a series of model tests with azimuth thrusters on the FSRU is conducted. A Kalman filter is applied to estimate the low-frequency motion of the vessel. The RMAC algorithm is employed as a primary heading control method and modified I-controller is introduced to reduce the steady-state errors of the heading of the FSRU.
Underwater gliders do not have any external propulsion systems that can generate and control their motion. Generally, underwater gliders would obtain a propulsive force through the lift force generated on the body by a fluid. Underwater gliders should be equipped with mechanisms that can induce heave and pitch motions. In this study, an inner movable and rotatable mass mechanism was proposed to generate the pitch and roll motions of an underwater glider. In addition, a buoyancy control unit was presented to adjust the displacement of the underwater glider. The buoyancy control unit could generate the heave motion of the underwater glider. In order to analyze the underwater dynamic behavior of this system, nonlinear 6-DOF dynamic equations that included mathematical models of the inner movable mass and buoyancy control unit were derived. Only kinematic characteristics such as the location of the inner movable mass and the piston position of the buoyancy control unit were considered because the velocities of these systems are very slow. The effectiveness of the proposed dynamic modeling was verified through sawtooth and spiraling motion simulations.
This paper describes a control method of hybrid power assistive system for lower body, HAL, with the techniques of Phase Sequence and the application of EMG. Our objective is to attain the power assist control of motion in the lower body effectively with these two methods. The Phase Sequence which performs basic motion controls of HAL is the method that a motion, the Task, is accomplished by dividing each motion into the unit named Phase and ...
We propose a neuron computer for tracking motion of particles in multi-dimensional space. The neuron computer is constructed of neural networks and their connections, which is a simplified model of the brain. The neuron computer is assemblage of neural networks, it includes a control unit, and the actions of the unit are represented by instructions. We designed a neuron computer to recognize and predict motion of particles. The recognition unit is constructed of neuron-array, encoder, and control part. The neuron-array is a model of the retina, and particles crease an image on the array, where the image is binary. The encoder picks one particle from the array, and translates the particle's location to Cartesian coordinates, which is scaled in [0, 1] intervals. Next, the encoder picks another particle, and does same process. The ordering and reduction of complex processes are executed by instructions. The instructions are held in the control part. The prediction unit is constructed of a multi-layer neural network and a feedback loop, where real time learning is executed. The particles' future locations are forecasted by coordinate values. The neuron computer can chase maximum 100 particles that take evasions.
This paper presents a force model of the clean tube system, which was developed as a means of transferring air-floated wafers inside a closed tube filled with super clean air. The recovering force from the holes for floating wafers is modeled as a linear spring and thus the wafers motion is modeled as a mass-spring-damper system. The propelling forces are modeled as linear along with the wafer location. The paper also proposes a control method to emit and stop a wafer at the center of a control unit. It reveals the minimum value of the propelling force to leave from the control unit. In order to stop the wafer, it utilizes the exact time when the wafer arrives at the position to activate the propelling force. Experiments with the clean tube system built for the 12 inch wafer shows the validity of the proposed model and the algorithm.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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