• 제목/요약/키워드: misting

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Ga2O3초음파분무화학기상증착 공정에서 유동해석을 이용한 균일도 향상 연구 (Computational Fluid Dynamics for Enhanced Uniformity of Mist-CVD Ga2O3 Thin Film)

  • 하주환;이학지;박소담;신석윤;변창우
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.81-85
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    • 2022
  • Mist-CVD is known to have advantages of low cost and high productivity method since the precursor solution is misting with an ultrasonic generator and reacted on the substrate under vacuum-free conditions of atmospheric pressure. However, since the deposition distribution is not uniform, various efforts have been made to derive optimal conditions by changing the angle of the substrate and the position of the outlet to improve the result of the preceding study. Therefore, in this study, a deposition distribution uniformity model was derived through the shape and position of the substrate support and the conditions of inlet flow rate using the particle tracking method of computational fluid dynamics (CFD). The results of analysis were compared with the previous studies through experiment. It was confirmed that the rate of deposition area was improved from 38.7% to 100%, and the rate of deposition uniformity was 79.07% which was higher than the predicted result of simulation. Particle tracking method can reduce trial and error in experiments and can be considered as a reliable prediction method.

입자추적 유동해석을 이용한 초음파분무화학기상증착 균일도 예측 연구 (Uniformity Prediction of Mist-CVD Ga2O3 Thin Film using Particle Tracking Methodology)

  • 하주환;박소담;이학지;신석윤;변창우
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제21권3호
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    • pp.101-104
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    • 2022
  • Mist-CVD is known to have advantages of low cost and high productivity compared to ALD and PECVD methods. It is capable of reacting to the substrate by misting an aqueous solution using ultrasonic waves under vacuum-free conditions of atmospheric pressure. In particular, Ga2O3 is regarded as advanced power semiconductor material because of its high quality of transmittance, and excellent electrical conductivity through N-type doping. In this study, Computational Fluid Dynamics were used to predict the uniformity of the thin film on a large-area substrate. And also the deposition pattern and uniformity were analyzed using the flow velocity and particle tracking method. The uniformity was confirmed by quantifying the deposition cross section with an FIB-SEM, and the consistency of the uniformity prediction was secured through the analysis of the CFD distribution. With the analysis and experimental results, the match rate of deposition area was 80.14% and the match rate of deposition thickness was 55.32%. As the experimental and analysis results were consistent, it was confirmed that it is possible to predict the deposition thickness uniformity of Mist-CVD.

삽수(揷穗)의 클론, 모수령(母樹齡), 채취부위(採取部位) 및 발근촉진제(發根促進劑)가 낙엽송(落葉松)(Larix leptolepis S. et Z. Gordon)의 삽목발근(揷木發根)에 미치는 영향(影響) (Effects of Clones, Ortet Age, Crown Position, and Rooting Substance upon the Rooting of Cuttings of Japanese Larch (Larix leptolepis S. et Z. Gordon))

  • 정덕영;이경준
    • 한국산림과학회지
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    • 제83권2호
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    • pp.205-210
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    • 1994
  • 본 연구는 채종원에서 개화결실이 부진한 낙엽송 (Larix leptolepis S. et Z. Gordon)의 삽목증식법을 개발하기 위하여, 삽수의 모수령, 채취부위, 클론 및 발근촉진제가 삽목 발근에 미치는 영향을 구명하고저 실시하였다. 2, 8, 16, 30년생 모수에서 7월 하순경 당년에 생장한 삽수를 채취한 후, 발근촉진제인 IBA(Indole Butyric Acid)를 1000, 2000. 5000ppm의 세가지 농도로 5초간 처리하였다. 삽수는 peatmoss, vermiculite, perlite를 1 : 1 : 1 로 배합하여 조제된 온실내 삽목상에 삽목한 후 3개월이 경과된 10월 하순에 발근여부를 조사하였다. 발근촉진제 무처리의 경우 발근율은 2년생에서 52%, 8년생에서 48%, 16년생에서 36%, 30년생에서 20%인 반면, IBA 1000ppm 처리시 가장 높은 발근율을 얻었는데 2년생 80%, 8년생 71%, 16년생 52%, 30년생 25%로 발근율이 향상되었으며, 부정근의 수와 주근의 길이가 모수령이 낮을수록 증가하였으며, IBA 처리로도 증가하였다. 시기별 생존율은 삽목후 15-45일 사이에 현저히 감소한 반면, 그 후에는 생존율이 거의 감소하지 않았으며, IBA 처리로 생존율이 향상되었다. 모수의 클론별 발근율 조사는 8년생 모수를 사용하였는데, IBA 1000ppm 처리시 강원 49호에서 40%로 저조한 반면, 충남 6, 7호와 전북 1, 9호는 67%로 가장 커서 클론간에 발근율이 차이가 있었다. 삽수의 채취부위에 따른 위치효과는 수관 상부에서 채취한 삽수가 IBA 처리시 발근율이 평균 53%로 가장 낮았으며, 수관 하부가 56%, 수관 중부는 60%의 순으로 발근율이 증가되었다.

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'매향' 딸기 삽목묘와 유인묘의 노동 기간, 작업 시간 및 생육 비교 (Comparison of Labor Period, Work Time, and Seedling Growth in Cutting and Pinning Transplants on 'Maehyang' Strawberry)

  • 황희성;정현우;강재현;황승재
    • 생물환경조절학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.257-262
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    • 2021
  • 유인 방법은 딸기 묘를 생산하는 전통적인 방법이다. 그러나 딸기 묘를 유인하여 번식하는 방법은 오랜 노동시간이 있어야 하는 노동 집약적인 방법이다. 삽목 방법은 상대적으로 유인 방법에 비해 노동 기간과 작업 시간이 짧으므로 유인의 효과적인 대안으로 주목되어왔다. 이 연구는 유인과 삽목 사이의 노동 기간, 작업 시간 및 묘의 생육을 조사하기 위해 수행되었다. '매향' 딸기는 두 개 동의 딸기 육묘용 유인 온실과 삽목 온실에서 각각 재배되었다. 유인 방법(유인 작업, 모주 제거, 자묘 간 분리) 및 삽목 방법(삽수 채묘, 저장 전 처리, 삽목 작업)에 대한 주요 작업 시간을 측정했으며, 유인은 158일 동안 6개의 작업이 필요하며, 삽목은 113일 동안 4개의 작업이 필요했다. 유인은 삽목보다 작업 시간이 더 많이 필요했다. 유인과 삽목묘 육묘 방법에 따른 유의적인 차이가 없었다. 이러한 결과는 묘소질의 손실 없이 육묘 동안 유인 방법보다 삽목 방법이 더 많은 노동 기간과 작업 시간을 절약할 수 있음을 의미한다.

양액의 분무간격에 따른 분무경재배 토마토의 생장 및 생체정보와의 관련성 (Relativeness between Growth and Bio-informations of Aeroponically Grown Tomato as Influenced by Spray Intervals of Nutrient Solution)

  • 정순주;소원온;지전영남;영목방부
    • 생물환경조절학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.154-161
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    • 1992
  • 본 실험은 분무경재배 토마토에 있어서 분무간격이 토마토의 생장, 수량반응과 생체정보와의 관련성을 구명하고자 수행하였다. 분무간격은 10분 정지에 60초, 30초 그리고 10초간 분무되게 하였으며 이것을 연속분무구와 비교하였다. 배양액은 산기의 토마토 배양액을 사용하였다. 1. 엽면적은 30초분무 10분정지구가 가장 높았고 60초분무 10분정지구가 가장 낮게 나타났다. 또한 각 기관의 건물중과 과실건물중 등의 생장특성도 다른 처리구보다 30초분무 10분정지구에서 가장 좋았다. 2. 화수는 건물중이 낮을수록 많았으나 착화수는 60초분무 10분정지구를 제외하고는 유의차가 인정되지 않았다. 3. 엽면적과 과실건물중과의 관계에 있어서는 과실건물중이 가장 높은 30초분무 10분정지구가 엽면적이 가장 많았다. 연속분무구는 엽면적에 비해 과실건물중의 현저한 감소가 나타났다. 본 실험의 범위에서 양액의 적정 분무간격은 30초분무 10분정지인 것으로 구명되었다. 4. 주간의 온실내외의 태양방사는 차이가 크게 나타났으며 온실내 일중 기온은 엽온보다 높게 나타났다. 환경조건의 변화에 따라 토마토 엽의 생체정보의 변화는 민감하게 나타났으며 특히 양액의 분무간격에 따른 차이는 현저하게 나타났다. 5. 분무간격에 따른 엽생장의 변화패턴은 엽수분 potential, 기공저항 및 엽온 등의 생체정보와 관련이 깊었으며 환경요인의 변화에 따른 생체정보 계획으로 토마토의 생장량이나 과실수량 예측의 가능성이 인정되었다.

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모래밭 버섯균(菌)과 Glomus 균근균(菌根菌)의 인공접종(人工接種)이 연령(年齡)이 다른 상수리나무에서 채취(採取)한 삽수(揷穗)의 삽목발근(揷木發根)에 미치는 영향(影響) (Effects of Inoculation with Mycorrhizal Fungi, Pisolithus tinctorius and Glomus sp. on the Rooting of Quercus acutissima Carr. Cuttings at Various Ortet Ages)

  • 김종주;이경준
    • 한국산림과학회지
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    • 제79권3호
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    • pp.302-308
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    • 1990
  • 본(本) 연구(硏究)의 목적(目的)은 12주(週) 2년(年), 4년(年), 2년생(年生) 상수리나무 모수(母樹)에서 채취(採取)한 삽수(揷穗)에 모래밭버섯균(菌)(Pisolithus tinctorius)과 Glomus sp. 내생균근균(內生菌根菌)을 인공접종(人工接種)하여 삽수(揷穗)의 발근(發根), 부정근(不定根) 발달(發達), 발근특성(發根特性) 등을 조사(調査)하여, 균근균(菌根菌)의 인공접종(人工接種)이 상수리나무의 삽목발근(揷木發根)에 미치는 영향(影響)을 알아보는데 있다. 균근균(菌根菌)을 인공접종(人工接種)한 것과 접종(接種)하지 않은 배지(培地)(버미쿨라이트 : 피트모스=2 : 1, v/v)에 1989년(年) 8월초(月初)에 삽목(揷木)을 실시(實始)하였다. 삽수(揷穗)는 오전(午前) 7시(時)에서 오후(午後) 8시(時)까지 20초간(秒間) 작동(作動)하고 2분간(分間) 멈추는 간헐관수(簡歇灌水)시스템 하에, 약 $25/18^{\circ}C$(낮/밤)의 온도(溫度), 78%의 차광조건(遮光條件)에 하(下)에서 약(約) 10주간(週間) 배양(培養)하였다. 12주(週) 2년생(年生), 4년생(年生), 20년생(年生) 모수에서 채취(採取)한 삽수(揷穗)의 평균발근율(平均發根率)은 각각 82.4%, 48.1%, 29.2%, 12.5% 나타났다. 모래밭버섯균의 인공접종(人工接種)은 12주된 실생묘를 제외하고 모든 연령(年齡)의 삽수발근(揷穗發根)을 촉진(促進)하였고, 특히 20년생의 경우에는 대조구에 비교(比較)하였을 때, 그 효과(效果)가 두드러지게 나타났다. 삽수(揷穗)의 발근율(發根率)이 가장 높은 처리(處理)는 12주(週)된 실생묘(實生苗)의 경우, 모래밭 버섯과 3,000ppm IBA 처리(處理)(88.9%), 2년생(年生) 유묘(幼苗)는 1,000ppm IBA(75%), 4년생(年生) 맹아(萌芽)는 3,000ppm IBA(58.3%), 20년간(年生)은 모래밭 버섯과 3,000ppm IBA처리(處理)(22%)에서 나타났다.Glomus sp. 내생균근균의 접종(接種)은 삽수의 초기발근(初期發根)을 촉진(促進)시키지 않았다. 뿌리 건중량(乾重量), 발근(發根)된 삽수당(揷穗當) 일차근(一次根)의 길이와 직경(直徑)등에 있어서 모래밭 버섯과 3,000ppm IBA를 함께 처리(處理)한 것이 가장 높았다. 엽내(葉內) 전질소(全窒素) 함량(含量)은 처리간(處理間)에는 차이(差以)가 없었으나, 발근(發根)된 삽수(揷穗)가 발근(發根)되지 않은 삽수(揷穗)보다 더 많은 것으로 나타났다. 그리고 발근율(發根率)이 높은 처리(處理)가 엽내(葉內) 전인산(全燐酸) 함량(含量)이 높게 나타났다.

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