The bio-micro pin has been usually used for the biochemistry analysis. The manufacturing capability of the micro-pin and the their array with the effective and low-cost way is very important and it gives great economical benefits to developers. The micro-pin is composed of the sample channel for holding the liquid with the fixed volume, the flat tip which determines the printing quality and the pin head for preventing the rotation of the pin in the holder. In this study, we have manufactured newly designed micro-pins by the wire-EDM process with special jigs, and analyzed liquid holding and printing characteristics with respect to the variation of the shape and the tip size of the micro-pin.
There is great difficulty in machine below 10 micrometers by conventional machining methods, such as micro-EDM. However, ultra micro machining using focused ion beam(FIB) is able to machine to 50 nanometers. Bie & moulds techniques are better than one-to-one machining techniques in regards to production costs in the mass production of ultra size structures. Also, it is advantageous to machine die & moulds to the 10 micrometers level by FIB technique rather than other techniques. It is difficult to machine the three dimensional machining, such as micro lens, using FIB system because of their machining characteristics. In this paper, three dimensional machining techniques were properly introduced, and also experiments showed effectiveness of their techniques.
When micro holes are machined by EDM, machining characteristics of machined holes are changed according to the machining conditions. Typical machining conditions are the kind of dielectric fluids, capacitance and ultrasonic vibrations. They influence electrode wear, machining time, radial clearance and taper angle. In this paper, machined holes whose depths are 300, 500, $1000\;{\mu}m$ are observed for each machining conditions. Using deionized water as a dielectric fluid makes electrode wear small, machining time short, radial clearance large and taper angle small. High capacitance makes electrode wear high. Ultrasonic vibrations make electrode wear large, machining time short, radial clearance small and taper angle small. From the results of experiments, the optimal machining conditions were obtained to machine highly qualified micro holes.
As mechanical components require size minimization and high precision, micro die machining technology has been developed in many fields. to machine a micro die by EDM, sometimes, a polygonal electrode is use. Machining corners by MEDM shows special characteristics. Physically, electrons are concentrated in sharp region and a high potential level is established in this region. Also, the electrode can't be rotated when machining a polygonal cavity, and machined debris can not drawn off easily. Discharge concentration in corners and 2nd discharge by machined debris result in distortion of corner shape. This phenomena can be improved by shaking the electrode. This method is also shown to be effective in improving surface roughness by circulation of machining fluid resulting from movement of the electrode.
본 논문에서는 미세 방전가공(Electrical Discharge Machining; EDM) 기계를 위한 샌드위치 구조를 설계하기 위해 복합재료의 적층 순서, 두께, 그리고 리브의 형상 등을 고려한 파라메트릭 연구를 수행하였다. 샌드위치 구조는 면재인 섬유강화 복합재료와 심재인 레진 콘크리트 및 고분자 포움으로 이루어졌다. 컬럼은 정적 굽힘강성과 비굽힘강성을 높이기 위해 십자 리브를 가진 형상으로 설계하였으며, 적층 순서와 두께를 조절하였다. 베드의 경우 양방향의 강성을 동시에 향상시키기 위해 적층 순서와 리브 형상을 조절하였다. 최적의 고강성을 얻기 위하여 리브의 두께와 면재의 두께 등 설계 파라메터의 최적치를 제안하였다. 각 설계 파라메터의 변화에 따른 구조의 정적, 동적 강성의 변화를 확인하기 위해 유한요소해석을 수행하였으며, 진동 실험을 통하여 각 요소의 고유진동수와 감쇠비를 측정하여 비교하였다. 이러한 결과로부터 고정밀 미세 방전가공 기계 구조를 위한 최적의 형상조건을 제안하였다.
Electric discharge machining drill (EDM-drill) is an efficient process for the fabrication of micro-diameter deep metal hole. As there is non-physical contact between tool (electrode) and workpiece, EDM-drill is widely used to machine the hard machining materials such as high strength steel, cemented carbide, titanium alloys. The electro-thermal energy forces the electrode to wear out together with the workpiece to be machined. The electrode wear occurs inside of a machining hole. and It causes hard to monitor the machining state, which leads the productivity and the quality to decrease. Thus, this study presents a methodology to estimated the electrode wear amount while two coefficients (scale factor and shape factor) of the logarithmic regression model are evaluated from the experiment result. To increase the accuracy of estimation model, the linear transformation method is adopted using the differences of initial electrode wear differences. The estimation model is verified through experiment. The experimental result shows that within minute error, the estimation model is able to predict accurately.
Micro cutting of titanium alloy by polycrystalline diamond (PCD) tools was studied. Micro electro discharge machining (MEDM) was used to fabricate customized micro shaping tools from PCD blank. The tool was used to machine micro grooves on Ti alloy and the effects of depth of cut and machining length on tool wear, burr and surface roughness were studied. The shaping tool has cutting edge of a few ${\mu}m$. The crater size of the tool surface was increased with increasing capacitance of EDM machining conditions, which was used to control the surface roughness of the machined micro grooves.
For micro electrochemical machining (ECM), tool electrodes with various sizes and shapes are necessary. In this paper, tool electrodes were fabricated by micro electrical discharge machining (EDM). Electrode material is tungsten carbide which has high rigidity and good conductivity for micro electrochemical machining. Disk-type and sphere-type electrodes were fabricated to prevent taper shape of side walls or to produce spherical features. Various 3D micro structures were fabricated by electrochemical milling with developed electrodes.
Microfactory is effective method for machining micro size component. Electro-chemical machining can be more suitable to a microfactory than other machining methods in terms of maintaining high accuracy. Surface profile of EDM Machined component is predicted by micro EDM simulation using superpositioning spark crater. Planar motor and micro pump are developed to construct microfactory system.
Microholes with high aspect ratio are required in microstructures. Among various methods for producing the microhole, micro electrical discharge machining (MEDM) is very effective and useful process. But, it is difficult to machine the high aspect ratio holes below $100\;{\mu}m$ in diameter because machining condition becomes unstable due to bad removal of debris at deep hole. In this paper, ultrasonic vibration is applied to MEDM work fluid to make a high aspect ratio micro hole. It is shown that the vibration is effective in circulating the debris and increasing the machining rate. As a result, produced was a micro hole with $92\;{\mu}m$ entrance diameter, $81\;{\mu}m$ exit diameter and aspect ratio 23.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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