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표면 미세가공에서 Al 전극 및 Al 미세 구조물 제작을 위한 습식 식각 공정 (Wet Etch Process for the Fabrication of Al Electrodes and Al Microstructures in Surface Micromachining)

  • 김성운;백승준;이승기;조동일
    • 센서학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.224-232
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    • 2000
  • 표면 미세가공 공정에서 Al 공정을 이용하면 Al 전극의 제작에 의해 접촉 저항이나 선 저항 등을 줄여 전기적인 신호 손실을 줄일 수 있고, 산화막을 희생층으로 사용하는 간단한 공정에 의해 Al 구조물 제작이 가능한 장점을 지닌다. 그러나 실제 공정에서는 Al 전극이나 Al 구조물이 희생층 제거 시에 사용되는 HF 용액에 의해서 부식되는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 사용되는 희생층 식각액인 BHF/glycerine 혼합 용액에 대한 PSG와 Al의 기본적인 식각 특성은 표면 미세가공에서 발생하는 구조적인 제한 조건에 따라 상당히 달라진다. 본 논문에서는 이러한 희생층의 구조적 특성과 Al 박막의 증착 표면 거칠기의 변화로 인한 식각 특성의 변화를 고려하여 실제로 표면 미세가공에 적용 가능한 혼합 용액의 조건을 조사하였다. 희생층 식각 조건변화에 따른 BHF/glycerine 혼합용액의 최적 혼합비는 $NH_4F$:HF:glycerine=2:1:2에서 가장 좋은 식각 선택비를 보이는 것으로 나타났으며 이 실험 결과를 실제 Al 전극 제작에 적용한 결과 Al 패턴이 희생층 식각액에 대해서 우수한 내식성을 보였다. 또한 Al의 식각액에 대한 내식성을 향상시키기 위하여 CMP 공정을 도입하여 증착 표면을 개선시켰으며 이를 Al 구조물의 제작에 적용하여 식각 특성을 분석하였다. 이러한 분석을 통해 본 논문에서 제시한 식각 조건을 이용하면 Al 전극과 Al 구조물을 표준적인 표면 미세가공 공정을 통하여 간단하게 제작할 수 있다.

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놀이터 바닥재로부터 용출되는 중금속 노출 특성 (Characteristics of heavy metals's exposure from playground flooring)

  • 조윤아;김우일;신선경;강영렬;김민선;정성경;연진모;김나;이지영
    • 분석과학
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    • 제25권6호
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    • pp.416-420
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    • 2012
  • 재활용 제품의 사용이 증가함에 따라 이에 대한 위해성 평가가 필요한 실정이다. 본 연구에서는 재활용 제품 중 재활용 고무분말을 이용한 놀이터용 바닥재와 해당 고무분말의 중금속 함량을 비교하였다. 또한 각각의 물질이 경피로 전이되는 양을 확인하여 피부에 흡수되는 중금속 노출 특성을 살펴보았다. 아연의 경우 함량이 높은데 반해 전이량이 0.1 $mg/cm^2$으로 매우 낮았는데 이는 아연은 표면 접촉으로는 잘 묻어나지 않는다는 것을 나타낸다. 그러나 철과 알루미늄의 경우, 함량이 바닥재에서 12 배 높게 나타났고, 전이량이 아연보다 약 5 배 높게 나타났다. 이것은 철과 알루미늄이 바닥재에 사용된 안료에서 기인했다는 것을 말한다. 놀이터 6 개소를 대상으로 피부 흡수에 의한 중금속 노출량을 산정한 결과, Ba의 경우 타 중금속에 비하여 비교적 높게 산정되었다. Zn의 함량이 높음에도 불구하고 Ba의 노출량이 더 높은 것은 Ba의 피부흡수율이 Zn에 비해 약 5 배 높기 때문인 것으로 판단된다.

풍화 석탄연소 고형폐기물(Pulverised Fuel Ash)의 중금속 제거가능성 : I. 뱃치 용출실험 (Potential Element Retention by Weathered Pulverised Fuel Ash : I. Batch Leaching Experiments)

  • 이상훈
    • 자원환경지질
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    • 제28권3호
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    • pp.251-257
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    • 1995
  • 영국의 2개 화력발전소로부터 석탄연소 폐기물 시료를 17년, 약40년 풍화된 것 그리고 풍화되지 않은 것의 구분으로 각각 채취하였다. 이 시료들과 증류수, 인공 침출수등을 이용, 뱃치 실험을 실시하였다. 통화되지 않은 시료의 증류수를 통한 실험에서는 Ca, Na, K, S, B, Cr, Cu, Li, Ni, Mo 그리고 $Cl^-$ 등 원소가 다량으로 방출되는 것이 관찰되었으며 이는 이들 원소들이 주로 표면에 수반된다는 증거가 된다. Mg, Al, Ba, Si, V, As 그리고 Se등은 이러한 다량방출을 하지 않는바 이들 원소들은 입자 표면보다는 PFA 입자의 유리질에 수반되는 것으로 생각된다. 풍화 PFA시료를 통한 실험에서는 유리질과 같은 상온에서 불안정한 상에 수반되는 용융성원소들이 용액으로 방출됨이 증명되었다. 인공 침출수를 이용한 실험에서는 Fe, Ca, Cr, Cu, Ni, Zn 그리고 Hg등이 제거되는것이 관찰되었으며 이는 용액으로부터 제거되어 고체 PFA의 성분에서 증가하는것을 통하여도 확인된다. 중금속 제거정도는 Meaford>Drax 풍화시료>Drax 신선한 시료의 순이며 이는 풍화의 정도와도 일치한다. 즉 풍화를 많이 받은 시료에서 더 많은 중금속이 제거되는 결과를 보여준다.

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Nd:YAG 레이저를 이용한 철제 표면 옻칠 제거 실험 연구 (Experimental Study for Removing Lacquer Layer on Iron Surface by Nd:YAG Laser System)

  • 박창수;조남철;황현성
    • 보존과학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.377-384
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    • 2016
  • 철불의 개금 시 표면에 남아 있는 옻칠 제거 방법에는 물리적인 방법과 화학적인 방법을 사용하고 있으나, 표면 손상 및 약품 사용으로 인한 환경오염, 보존과학자의 건강에도 매우 유해하다. 그래서 본 연구에서는 비접촉식이고 친환경적인 Nd:YAG 레이저를 이용하여 옻칠 제거 실험을 실시하였다. 시편은 크기가 $5{\times}5cm$인 철제(Fe 99.9%)시편 표면을 균일하게 연마한 후 생칠을 도포 횟수를 달리하여 각각 $10{\mu}m$, $20{\mu}m$, $30{\mu}m$의 두께 차이로 제작하였다. 본 실험에서 사용된 레이저기기는 Nd:YAG 레이저로, 적외선 영역의 1064 nm(160~800 mJ)와 가시광선 영역인 532nm(50~350 mJ)의 두 가지 파장 모드를 이용하였다. 실험은 레이저 파장 에너지 조사 횟수 등에 따른 시편 표면의 변화를 조사하였다. 레이저 조사 전 후 표면을 실체현미경과 SEM 관찰, 비접촉 표면 조도 측정기, FT-IR 등을 이용하여 옻칠의 제거 및 잔류 여부를 알아보았다. 분석 결과 1064 nm 파장을 이용하여 $1.0J/cm^2$ 밀도에서 표면 손상 없이 $10{\mu}m$, $20{\mu}m$ 두께의 옻칠이 제거됨을 확인할 수 있었다. 이와 같은 결과를 통해 철불 개금 시 잔류하고 있는 옻칠 제거 방법으로 Nd:YAG 레이저가 효율적임을 본 실험을 통해 알 수 있었다. 향후 금속뿐만 아니라 목칠 가구 등 다양한 재질의 연구가 이루어지면 표면 손상 없이 옻칠을 제거 하는데 효과적으로 활용 가능할 것으로 본다.

프레스금형 형내 모니터링에 대한 연구 (A Study for In-process Monitoring in Press die)

  • 윤재웅
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제18권6호
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    • pp.692-696
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    • 2017
  • 프레스 부품의 형상은 고객 요구와 공정단축 및 비용절감으로 점점 복잡하게 변하고 있다. 또한 프레스공정은 많은 인자의 영향으로 양산 중에도 안정성이 수시로 변하고 있다. 공정의 안정성을 확보하는 데는 형상, 소재, 프레스, 금형 및 윤활에 대한 사전 연구가 충분히 되어 허용된 공차 안에서 재현성이 구현되는 공정을 수립해야 한다. 하지만 예측하지 못한 공정인자들의 변화는 양산라인 정지와 생산계획에 차질을 현장에서 야기 시키고 있다. 이에 프레스금형에 센서를 적용해 실시간 공정을 모니터링 할 수 있는 방법을 본 논문에선 소개한다. 비접촉식으로 판재의 흐름을 측정하는 센서와 그 중 양산에 적용 가능성이 높은 광학센서를 사용한 실험 사례를 제시했다. 원통드로잉금형에 광학센서를 설치해 소재, 블랭크홀더힘, 드로잉비를 변화시키며 센서의 사용 가능성을 테스트했다. 또한 각통드로잉 금형을 사용해 국부적으로 다른 판재의 흐름을 정량화 했고 측정값이 소재의 연신에 의해 드로잉 깊이보다 항상 작다는 것을 정량적으로 측정하였다. 마지막으로 프레스 금형에 센서를 접목시켜 사용할 수 있는 분야에 대해 제안을 하였다. 원가절감에 대한 Needs가 지속적으로 증가하고 이를 통해 글로벌 금형경쟁력을 확보해야하는 시점에 기여가 되었으면 한다.

철도차량용 제동디스크의 운행중 온도 변화 및 열전도도 측정 연구 (A Study on the Temperature Change of Braking Disc and Thermal Conductivity during the Service)

  • 김재훈;구병춘;석창성
    • 한국철도학회논문집
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    • 제10권6호
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    • pp.665-669
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    • 2007
  • 본 논문은 제동 디스크의 주행 중 온도변화를 측정하고 이에 따른 재료 특성을 확인하여 제동디스크의 신뢰성 확보의 기초 차원에서 연구를 수행하였다. 역차별 제동디스크 온도변화를 측정한 결과, 동일 구간에 대해서도 제동디스크 표면의 온도변화는 평균 및 최고 온도 모두 열차별로 상이한 것을 알 수 있다. 또한 동일구간 동일차량을 이용하여 제동디스크와 라이닝의 조합에 의한 온도변화를 측정한 결과, 규격을 만족하는 표준제품이라 하더라고 사용조합에 따라 표면의 온도 변화가 달라지는 것을 확인했으며, 따라서 제동디스크와 라이닝을 선택할 때는 반드시 이를 고려한 영향을 평가를 수행하여야 한다. 그리고 주행 중 디스크 온도변화 측정 결과를 바탕으로 $100^{\circ}C,\;200^{\circ}C,\;300^{\circ}C$에서 얻은 제동디스크의 열전도도 시험결과는 온도가 증가할수록 약간씩 증가하는 것을 알 수 있으며, 그 변화는 $100^{\circ}C\sim200^{\circ}C$ 사이에 변화가 가장 큰 것으로 나타났다.

Hydroxyapatite를 이식한 임플란트 주위 골결손부에서 rhPDGF-BB와 rhBMP-2가 골내 임플란트 osseointegration에 미치는 영향: Micro-CT 분석과 조직학적 평가 (EFFECT OF RHPDGF-BB AND RHBMP-2 ON OSSEOINTEGRATION OF TITANIUM IMPLANTS AT PERIIMPLANT BONE DEFECTS GRAFTED WITH HYDROXYAPATITE: MICRO-CT AND HISTOLOGIC ANALYSIS)

  • 박지현;황순정;김명진
    • Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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    • 제31권6호
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    • pp.461-468
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    • 2009
  • Purpose: Platelet derived growth factor(PDGF)-BB and bone morphogenetic protein(BMP)-2 are well-known representative growth factors. The purposes of this study were to investigate the effect of rhPDGFBB and rhBMP-2 on osseointegration of titanium implants at periimplant bone defects grafted with hydroxyapatite and to evaluate the feasibility of imaging bone structures around screw-type titanium implant with micro-CT. Materials and Methods: The first molar and all premolars in the mandible region of four beagle dogs were extracted. Following a healing period of 4 months, three $8{\times}8{\times}6mm$-sized bony defects were formed and screw-type titanium implants were placed with hydroxyapatite(HA) block and growth factors; Control group, PDGF group and BMP group. Two months post-implantation, the mandible was harvested. Bone volume(BV), bone-to-implant contact(BIC) and bone mineral density(BMD) were analyzed with micro-CT and histology. Results: According to micro-CT analysis, BV and BMD measures of PDGF and BMP group were significantly higher than control group(BV; PDGF group: $p{\fallingdotseq}0.011$, BMP group: $p{\fallingdotseq}0.006$/BMD; PDGF group: $p{\fallingdotseq}0.020$, BMP group: $p{\fallingdotseq}0.011$) and BIC measures of BMP group were significantly higher than PDGF group($p{\fallingdotseq}0.015$). In histologic evaluation, BIC measures of BMP group was significantly higher than PDGF group($p{\fallingdotseq}0.048$). The values of BV in histologic sections were higher than in micro-CT images and the values of BIC in micro-CT images were higher than in histologic sections. Conclusion: The findings of this experimental study indicates that the use of rhPDGF-BB and rhBMP-2 can increase new bone formation in a large bony defect around titanium implant, and rhBMP-2 is more effective than rhPDGF-BB. Micro-CT can be considered useful for assessment as a rapid and nondestructive method for 3-dimensional measurement of bone healing around implants. Further study is necessary, however, to remove metal artifacts around titanium implant and to standardize the method.

심한 마모를 가진 환자에서 전자 서베잉을 이용한 금관 및 국소의치 수복 증례 (Rehabilitation of severely worn dentition using Monolithic surveyed restoration and electronic surveying in RPD metal framework fabrication: A case report)

  • 최영하;김형섭;권긍록;배아란;노관태;백장현;홍성진
    • 대한치과보철학회지
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    • 제56권3호
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    • pp.243-249
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    • 2018
  • 과도한 치아 마모를 가진 환자들을 치료를 시작할 때 수직교합고경의 상실과 수복을 위한 공간의 적절성으로 분류하게 된다. 본 증례의 환자는 80세의 여성으로 구치부 교합지지가 상실되어 대합치가 정출하면서 교합평면의 붕괴가 일어나고 잔존 치아의 마모 증가가 동반되어 보철을 위한 약간의 악간 공간의 상실이 발생하였다. 이러한 경우 최소한의 수직교합고경의 증가를 부여하고 안정화기간을 거쳐 안정된 교합접촉을 제공한다면 성공적으로 치료할 수 있다. 본 증례에서는 수직고경의 증가를 동반하여 단일 구조 지르코니아를 이용한 고정성 보철물과 상악 가철성 국소의치로 수복을 하였고 이러한 치료과정을 통하여 기능적, 심미적으로 만족스러운 결과를 얻어 보고하는 바이다.

플라즈마 용사법에 의한 금속면에 세라믹 코팅된 표면과 범용고분자와의 접착특성 (Adhesion Characteristics of Polymers and Ceramic Surface Coated on Metal by Plasma Spray)

  • 이경희;권순훈;조원제;하창식
    • 한국재료학회지
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    • 제9권7호
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    • pp.724-734
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    • 1999
  • 본 연구는 플라즈마 용사법에 의해 일반구조용 강재 (SS41, 30$\times$40$\times$60mm$^{t}$ )와 연마제로 블래스팅을 실시한 강재 (SS41P) 및 SS41P에 세라믹 분말을 코팅한 강재 (SS41PC)에 대한 SEM, 표면경도. 표면거칠기. 접촉각을 측정하였으며 이들의 표면형태에 대한 기계적 .물리적 특성을 고찰하였다 사용한 세라믹 용사분말은 \circled1 $Al_2$O$_3$ : alumina \circled2 $Al_2$O$_3$ 95%, TiO$_2$ 5% : alumina titania \circled3 ZrO$_2$: 95%, $Y_2$O$_3$5% : zirconia yttria이었다. 또한 SS41, SS41P. SS41PC에 대해 범용 고분자인 PE, PVC, PP PET, PS를 접착시킨 후 이들의 표면접착특성을 조사하였다. 그 결과 인장전단강도와 박리강도의 특성에서 SS41보다는 SS41P와 SS41PC의 표면상태가 고분자들을 접착시켰을 때 더 우수한 접착강도특성을 나타내었다. 범용 고분자들의 접착강도는 PE > PET > PP > PS > PVC 순이었다. 그리고 세라믹 표면과 고분자의 접착특성은 세라믹 표면의 표면거칠기 정도와 고분자의 세라믹 표면에 대한 anchor 효과의 크기 순으로 증가하였으며, SS41PC와 PE의 접착강도는 분자표면의 규칙성에 기인된 Synergy효과에 의해서 PVC보다 우수하게 나타난 것으로 판정된다

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미세먼지 저감을 위한 특허기술들 (Patent Technologies for Reducing Micro-Dust)

  • 조태준;김태수
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제24권2호
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    • pp.9-14
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    • 2020
  • 필터가 장착 된 먼지 감소 팬을 포함하여 새로운 유형의 Composite Cyclone Scrubber를 개발하고, 목표 설치 및 유지 보수 비용에 대해서는 기존 도로 오염 저감 시스템 대비 64 %의 투자비 절감 (61 억 원 vs. 170 억 원), 기존 도로 오염 저감 조치 (72.6 억 원) 대비 사회적 비용편익이 43 % 증가, 50.8 억 원)가 예측되고 있다. 장치의 구성은 송풍기 형 나선형 가이드 베인이며, 분사 압력은 미세먼지를 포집한다. 분사 각도 및 접촉 범위가 다양한 노즐, 스프레이 액체 등과 순환 수를 이용한 스프레이이며, 분사 된 물이 Guide Vane과 45도 각도로 충돌로 인해 오염된 가스를 만나기 때문에 41.4 % 더 많은 미세 먼지를 포집한다. 이는 기존의 집진기보다 141 % 증가한 것이다. 포집 액체, 순환 빗물 및 우물 공급원과 관련하여 우리는 특허에서 막대한 양의 에너지와 경제적으로 절약되는 친환경 시스템을 기대한다. 가이드 베인 및 금속 필터는 90 % 이상의 미세 먼지를 줄였으며, 분무 된 물은 베인과 필터를 청소하여 유지 관리 예산을 최소화했다. 개발 된 설계의 예비 평가를 통해 특징적인 물분사로 인하여 유지 보수 예산을 줄일 수 있다.