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무선공중망을 이용한 의료 정보 데이터 원격 모니터링 시스템에 관한 연구 (A study on the implementation of Medical Telemetry systems using wireless public data network)

  • 이택규;김영길
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2000년도 추계종합학술대회
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    • pp.278-283
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    • 2000
  • 정보 통신 기술이 발전함에 따라 가정에서 손쉽게 혈압, 맥박, 심전도, 혈중산소포화도, 혈액검사까지 할 수 있는 재택 의료기기와 무선 공중망을 연동하여 일반 국민들이 이제 집에서 간편하게 건강 검진을 받을 수 있는 서비스가 가능하게 되었다. 사람의 몸에서 검출되는 생체 데이터를 가정에서 무선 공중망을 이용하여 원격지 병원의 시스템에 전송함으로써 효율적인 원격 모니터링 의료 서비스에 활용될 수 있다. 무선 근거리 통신망을 이용한 의료 정보 전송 시스템에서 개인이 소지한 단말기를 통해 취득한 생체 신호를 무선으로 병원 내에 있는 기저 시스템을 통해 중앙의 시스템에 전송한다. 원격 모니터링 시스템은 필요한 무선 매체 액세스 프로토콜을 이용하여 구현한다. 이러한 매체 액세스 프로토콜로는 IEEE 802.11 의 CSMA/CA(Carrier Sense Multiple Access with Collision Avoidance) 프로토콜에 폴링 방식을 접목시켜 구현하였다. 본 연구에서는 심전도, 혈압, 혈중산소포화도 측정장치를 가지는 재택 원격 모니터링 시스템 중에서 심전도 측정 부분을 구현하기 위해 이동형 단말기 내부에 심전계 기능을 내장하였다. 이동형 단말기에 900MHz 대역을 사용하는 무선 공중망 인터페이스를 첨가하여, 가정에서의 일반인, 허약 노인, 환자 등의 심전도를 취득하여 저장, 기록함으로써 건강 진단을 받거나 또는 심장 질환을 가졌을 경우, 복잡한 심장 질환을 효과적으로 감시·관리할 수 있는 시스템을 개발하였다. 제안한 무선 공중망에 기반한 의료 정보 전송 시스템을 구현함에 있어서, 이동형 단말기는 생체 신호 데이터 중에서 심전도 데이터를 무선 공중망 모뎀과 NCL(Native Con운ol Language) 프로토콜을 사용하여 무선 공중망과 접속되어 전송되고, 공중망에듣 SCR(Standard Context Routing) 프로토콜을 사용하여 유선 접속되어 있는 관리 호스트 컴퓨터에 등록되어 있는 개인 정보와 취득한 심전도 데이터를 검토하고 그에 상응하는 검진을 이동형 단말기로 보냄으로써, 무선 공중망을 이용한 의료 정보 전송 시스템을 구현될 수 있음을 검증하였다.

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일부 농촌지역 여성의 유방자가검진 실천율과 관련요인 (Practice Rate of Breast Self- examination and Its Related Factors among Women in a Rural Area)

  • 이은일;강복수;윤성호;김석범;이경수
    • 농촌의학ㆍ지역보건
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    • 제26권2호
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    • pp.147-159
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    • 2001
  • 유방자가검진 실천율 및 관련 요인을 규명하여 유방자가검진 실천율을 증가시키기 위하여 고령군 11개 동에 30세 이상 여성 568명을 대상으로 설문조사를 실시하였다. 유방자가검진 실천율은 28.2%이었으며 한 달에 1번 이상 실천하는 사람은 9.7%로 나타났다. 유방자가검진 실천율은 연령, 배우자 유무, 교육 수준, 직업, 경제상태, 흡연, 규칙적인 운동, 만성 질환에서 유의한 차이가 있었는데, 연령별로는 40-49세가 가장 높았고 60세이상이 가장 낮았으며, 배우자가 있을수록, 교육수준이 높을수록 높았다. 직업은 사무 관리직에서 57.1%로 가장 높았으며, 경제상태가 높을수록, 흡연을 하지 않는 경우, 규칙적 운동을 하는 경우, 만성질환에 이환되어 있지 않는 경우, 유방암 가족력이 있는 경우에서 유방자가검진 실천율이 높게 나타났다. 유방자가검진 실천 동기는 건강상의 이유로 스스로 결정한다가 가장 많았으며, 대중매체의 영향, 보건소 홍보 순으로 나타났다. 유방자가검진 미실천 이유에서는 필요성을 못 느껴서가 가장 많았으며, 어떻게 하는지 몰라서, 검사자체를 몰라서 순으로 나타났다. 유방자가검진 여부를 종속변수로 한 다중로지스틱 회귀분석 결과 60세 이상 연령, 교육 수준이 낮을수록, 유방조영술을 시행하지 않는 경우가 유방자가검진 실천율이 낮게 나타났다. 결론적으로 연령이 높고 교육수준이 낮은 농촌 지역의 유방자가검진 실천율과 주기적 검진 실천율은 각각 28.2%와 9.7%로 매우 낮았다. 따라서 보건소를 통한 바람직한 유방자가검진 방법의 홍보 및 보건교육의 강화가 시급하다. 대중매체의 발달로 대중매체를 활용한 홍보 및 보건교육을 실시함으로써 효과를 높일 수 있으며 유방자가검진 교실을 활성화하는 동시에 교육시 대상자가 실제로 실습을 할 수 있도록 함으로써 효과를 높일 수 있을 것이다. 이러한 노력들을 통해서 유방자가검진 실천율을 향상시킨다면 농촌지역 여성들의 건강증진 및 삶의 질 향상에 기여할 수 있으리라 생각한다.

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스마트 기기 도입이 과학탐구 활동을 어떻게 변화시킬 것인가? -교육대학원 초등과학 전공 교사의 인식 사례를 중심으로- (How does the introduction of smart technology change school science inquiry?: Perceptions of elementary school teachers)

  • 장진아;정용재
    • 한국과학교육학회지
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    • 제37권2호
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    • pp.359-370
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    • 2017
  • 본 연구의 목적은 스마트 기기 도입이 '과학탐구' 활동을 어떻게 변화시킬 수 있을 것인지에 대한 교사들의 인식을 조사하고, 이를 토대로 스마트 기기 도입이 탐구 활동에서 갖는 여러 가능성과 어려움들을 탐색하는 것이다. 이를 위하여 교육대학원의 초등과학교육 전공 교사 12명을 대상으로 개방형 설문지, 모둠 토의, 전체 토의, 참여자 면담 등의 다양한 출처를 통해 자료를 수집하였으며 연구 결과는 다음과 같다. 첫째, 교사들은 스마트 기기를 통해 천체나 작은 생물과 같이 직접 관찰하기 어려운 현상에 대한 관찰 기회가 확대되어 학생들의 능동적인 참여를 독려할 수 있다고 설명하였다. 하지만 새로운 장치에 대한 조작의 부담으로 인해 학생들이 탐구에 집중하는 것을 방해할 수 있다는 의견도 있었다. 둘째, 교사들은 스마트 기기를 활용해 초등학교 과학탐구 활동에서 디지털식 측정 방식을 도입하기도 했다. 디지털식 측정은 간편하고 효율적으로 자료를 모을 수 있으며, 정확하고 정량적인 결과를 얻을 수 있다는 점에서 교사들에게 선호되었다. 하지만 새로운 측정 장치로 인해 추가 변인이 생기거나 탐구 활동의 본질이 달라지는 경우도 있었으며, 교사들은 아날로그식 측정 방식과 디지털 측정 방식 사이에서 자신의 탐구에 대한 신념에 따라 적절하다고 생각되는 방식을 선택하는 모습을 보였다. 셋째, 교사들은 스마트 기기를 활용해 다양한 형식의 축적된 자료 수집하여 양질의 과학적 증거로 활용할 수 있다고 설명했다. 양질의 과학적 증거들은 탐구 과정에 대한 학생들의 이해를 돕고 탐구 과정에 대한 의사소통에도 보탬이 된다고 보았다. 넷째, 교사들은 교육용 SNS를 활용하여 탐구 과정에서의 공유와 소통 기회를 확장시킬 수 있다고 설명했다. 하지만 학생들의 진지한 참여와 상호작용을 이끌어내기 위해서는 대화를 통해 적절한 규범을 형성하는 것이 중요하다고 주장하였다. 이러한 결과를 토대로 과학탐구와 스마트 기기의 의미 있는 통합을 위해 교사의 과학교육적 신념에 따른 디지털 기기 활용 방식, 과학탐구에서 요구되는 디지털 활용 역량의 유형과 특징, 스마트 기기를 활용한 탐구에서 형성되는 학급 규범의 특징에 대한 추가적인 분석들이 필요함을 논의하였다.

임플란트 주위염 치료용 diode laser의 파장 및 조사시간에 따른 온도 변화와 살균효과 분석 (Analysis of temperature changes and sterilization effect of diode laser for the treatment of peri-implantitis by wavelength and irradiation time)

  • 설정환;이준재;금기연;이종호;임영준
    • 구강회복응용과학지
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    • 제33권3호
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    • pp.178-188
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    • 2017
  • 목적:본 연구에서는 새로 개발된 다이오드 레이저 제품을 이용하여 레이저 파워에 따른 온도변화와 박테리아 멸균 비교실험을 통하여 기존 제품과의 임플란트 주위염치료에 대한 효과를 비교 실험하였다. 연구 재료 및 방법: 808 nm Diode laser와 810 nm Diode laser를 사용하여 디스크에 레이저를 60초간 조사하였으며, 출력은 1 - 2.5 W로 설정하였다. 온도측정 모듈과 온도측정 프로그램을 이용하여 disc 표면온도변화를 측정하였다. 또한, SLA, RBM이 코팅된 disc에 bacteria 도포 후, 808 nm Diode laser를 30초간 조사하였으며, 출력은 0.5 - 3 W로 설정하였다. 결과: 808 nm, 810 nm 두 장치 모두 출력이 증가함에 따라 온도 상승폭은 증가하였다. 모든 조건에서 810 nm laser를 조사하였을 때 초기온도상승속도, 하강속도 및 전후의 온도변화량은 808 nm laser 보다 높았다. 레이저 조사 후 티타늄 디스크 표면의 변화는 두 레이저 모두에서 관찰되지 않았다. Bacteria가 도포된 디스크에 808 nm laser를 조사한 결과, 출력이 증가 함에 따라 살균효과가 증가하는 것을 확인하였다. 결론: Diode laser를 임상에 적용하는 경우, 동일한 출력에서 온도의 변동폭이 적고 최대 상승온도가 낮은 808 nm laser가 환자에 안전할 것으로 사료된다. 하지만 실제로 임상에 적용하기 위해서는 보다 다양한 안전성평가를 실시하여 장비에 대한 신뢰성을 확보하여야 할 것이다.

동기적, 사회적, 그리고 환경적 요인이 해커의 기술 습득에 미치는 영향 (Influence of Motivational, Social, and Environmental Factors on the Learning of Hackers)

  • 장재영;김범수
    • 경영정보학연구
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    • 제18권1호
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    • pp.57-78
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    • 2016
  • 해킹은 현대의 지식기반 사회에 심각한 문제를 야기하고 있다. 해킹으로 인한 피해 규모와 피해 금액 또한 꾸준히 증가하고 있다. 따라서 현재까지 해커 또는 해킹과 관련한 많은 연구들이 진행되어 왔다. 기존 연구에 의하면 해커들은 재미와 같은 내재적 동기에 의해 해킹 기술을 습득하며, 주로 해킹 커뮤니티에서 기술을 습득하는 것으로 알려져 왔다. 또한 최근에는 재미나 흥미 등 내재적 동기는 물론 금전적 보상 등과 같은 외재적 동기도 증가하고 있다고 한다. 그러나 현재까지의 관련 연구들은 표본 수집의 한계로 인해 정성적 연구에 치우쳐 왔다. 따라서 본 연구는 기존 연구의 한계를 극복하기 위해 해킹 커뮤니티에 소속된 멤버들을 대상으로 계획된 행동이론을 기반으로 한 정량적 연구를 진행했으며, 동기적, 사회적 그리고 환경적 요인이 해커의 학습에 미치는 영향 요인을 규명하였다. 본 연구는 보안 및 해킹 기술을 습득하기 위해 결성된 대학정보보호연합 동아리를 대상으로 2015년 5월에 약 2주 간 설문을 진행했다. 회원 전체에게 이메일을 보내 응답한 215개의 설문지를 바탕으로 연구가설을 검증하고 분석했다. 연구 결과, 해킹 기술 습득자들은 해킹 기술 습득이 사회적으로 비윤리적으로 인식되고 있다는 것을 스스로 인지하고 있었으며, 재미나 흥미와 같은 내재적 동기 및 타인의 인정을 추구하는 외재적 동기 모두 학습 태도에 영향을 주었고, 온라인 해킹 커뮤니티의 접근성과 정보 품질과 같은 환경적 특성이 해킹 기술 습득에 영향을 주는 것으로 나타났다. 본 연구는 학문적으로 해킹은 사회적으로 부정적으로 인식된다는 것을 밝혀내어 비윤리적 연구의 주관적 규범의 방향성에 대한 논의를 확장시켰고, 동기 요인들이 해킹 기술 습득 태도에 영향을 미친다는 점을 실증했다. 또한, 해킹 커뮤니티의 특성이 지각된 행동통제의 선행 요건임을 밝혀내어 계획된 행동이론의 적용 범위를 확장했다. 또한, 실무적으로 해커들을 윤리적 해커(정보보호전문가)로 만들기 위한 윤리 교육의 필요성과 해킹 방지를 위한 처벌의 강화 및 과징금 부과 등이 해커의 행동 변화에 영향을 줄 수 있음을 제시했다.

방송과 통신 융합시스템의 수용 및 상대적 효능에 관한 연구: IPTV를 중심으로 (A Study on the Acceptance of Convergence System of Broadcasting, and Telecommunication, and Their Relative Efficiency Focusing on IPFV)

  • 염병용;이상호;김재범
    • Asia pacific journal of information systems
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    • 제19권3호
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    • pp.25-49
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    • 2009
  • Advances in technology have resulted in the emergence of new information systems. The convergence of IT and manufacturing sectors has blurred the boundaries among industries. Also, such convergence has become established as a paradigm to build a new area. Especially the convergence of broadcasting and telecommunication, notably in the case of IPTV (Internet Protocol Television), is among the most salient examples of its kind in recent years as a major case of disruptive technology innovation. Despite its much fanfare, such convergence, however, has not fulfilled the expectation; it has not produced positive economic effects while negatively affecting the growth of IPIV. Stakeholders in and around IPIV including telecommunication companies, broadcasting corporations, and government bodies wish to gain control of IPTV under their wings. IPTV has drifted in the midst of conflicts among the stakeholders in and around IPTV, particularly telecommunication and broadcasting organizations in a broad sense. Our empirical research intends to deal with how audiences accept IPTV and how firms provide IPTV services to utilize their resources. Three research questions in this paper include, first, whether Technology Acceptance Model (TAM) can sufficiently explain the acceptance of IPTV as an information system. The second question concerns with empirically testing the playful aspect of IPTV to increase its audience acceptance. Last, but not least, this paper deals with how firms can efficiently and effectively allocate their limited resources to increase IPTV viewers. To answer those three main questions of our study, we collect data from 197 current subscribers of high speed internet service and/or cable/satellite television. Empirical results show that 'perceived usefulness (PU) $\rightarrow$ Intention to use' and 'perceived ease of use (PEU) $\rightarrow$ Intention to use' are significant. Also, 'perceived ease of use' is significantly related to 'perceived usefulness.' Perceived ease of handling IPTV without much effort can positively influence the perceived value of IPTV. In this regard, engineers and designers of IPTV should pay more attention to the user-friendly interface of IPTV. In addition, 'perceived playfulness (PP)' of IPTV is positively related to 'intention to use'. Flow, fun and entertainment have recently gained greater attention in the research concerned with information systems. Such attention is due to the changing features of information systems in recent years that combine the functional and leisure attributes. These results give practical implications to the design of IPTV that reflects not just leisure but also functional elements. This paper also investigates the relationship between 'perceived ease of use (PEU)' and 'perceived playfulness (PP).' PEU is positively related to pp. Audiences without fear can be attracted more easily to the user-friendly IPTV, thereby perceiving the fun and entertainment with ease. Practical implications from this finding are that, to attract more interest and involvement from the audience, IPTV needs to be designed with similar or even more user friendly interface. Of the factors related to 'intention to use', 'perceived usefulness (PU)' and 'perceived ease of use (PEU)' have greater impacts than 'perceived playfulness (PP).' Between PU and PEU, their impacts on 'intention to use' are not significantly different statistically. Managerial implications of this finding are that firms in preparation for the launch of IPTV service should prioritize the functions and interface of IPTV. This empirical paper also provides further insight into the ways in which firms can strategically allocate their limited resources so as to appeal to viewers, both current and potential, of IPTV.

AZCA 저항성 돌연변이 세포주로부터 선발 육성만 내염성 벼 돌연변이 계통의 특성 검정 (Characterization of Salt Tolerant Rice Mutant Lines Derived from Azetidine-2-Carboxylic Acid Resistant Cell Lines Induced by Gamma Ray Irradiation)

  • 송재영;김동섭;이긍주;이인석;강권규;윤성중;강시용
    • Journal of Plant Biotechnology
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    • 제34권1호
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    • pp.61-68
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    • 2007
  • 본 연구는 벼 배 배양 캘러스에 방사선 조사와 AZCA 처리를 통해 AZCA저항성 세포주를 선발 육성하고 proline 함량이 증가된 선발 계통을 중심으로 염분 스트레스에 저항성을 갖는 벼 계통을 육성하고 그 기작을 밝히고자 하였다. 먼저, 1) AZCA 저항성 후대로부터 NaCl 저항성 식물체를 선발하고, 2) 선발된 저항성 계통의 생리적 생화학적 특성을 분석하였으며, 3) 분자적 특성을 RT-PCR을 통해 조사하고 유전적 변이를 탐색하였다. AZCA저항성 $M_{3}$ 3,000 계통으로부터 얻어진 약 20,000 종자에 염분 적정 선발 농도로 밝혀진 1.5%의 염분을 처리하여 내염성 (ST) 벼 116 개체를 선발하고, $M_{4}$ 후대 세대를 양성하였다. $ST\;M_{4}$ 세대에서 2차 내염성 계통 선발을 위해서 $M_{4}$ 세대계통을 1.2% NACl 에서 대조구와 생육 조사한 결과, 대조구 식물은 생육이 약하고 성장이 지연되는 것을 볼 수 있었다. 내염성 계통(ST-13, ST-16)으로부터 유도된 캘러스에 NaCl 처리한 결과, 대조구, ST-13, ST-16의 생존율은 9%, 16%, 20%로 나타났다. 또한, 필수 아미노산 함량을 잎, 종자 및 캘러스로 나누어 분석한 결과 ST-13와 ST-16는 대조구와 비교하여, 1) 잎에서는 약 1.24, 1.3배, 2) 종자에서는 1.49, 2.43배, 3) 캘러스에서는 1.32, 1.60배 증가하는 것이 확인되었다. 내염성 계통과 대조구에서 이온함량을 비교한 결과 잎과 뿌리에서 $K^{+},\;Na^{+}$$Na^{+}/K^{+}$ 비율을 보면 대조구보다 $Na^{+}/K^{+}$ 비율이 낮아진 것이 확인되었다. 내염성과 연관된 유전자 P5CS, NHXI를 이용하여 RT-PCR 실험을 수행한 결과, 돌연변이 계통에서 이들 유전자의 발현이 증가됨을 확인할 수 있었다. 본 연구에서 선발된 계통은 내염성 육종 및 기초 연구를 위한 재료로 이용될 수 있을 것으로 사료된다.

가습기 살균제 성분(PHMG, PGH, CMIT/MIT)의 사람 피부세포 독성 및 제브라피쉬 뇌신경 독성 비교 연구 (Comparison study of dermal cell toxicity and zebrafish brain toxicity by humidifier sterilizer chemicals (PHMG, PGH, CMIT/MIT))

  • 조경현;김재룡
    • 환경생물
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    • 제38권2호
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    • pp.271-277
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    • 2020
  • 가습기 살균제 성분(PHMG, PGH, CMIT/MIT)의 노출에 의한 다양한 장기에 대한 독성들에 대해서 피해사례는 계속 증가하고 있으나, 세포모델과 동물모델에서의 연구와 보고는 아직 부족한 실정이다. 심혈관 독성, 간 독성, 배아 독성에 대해서는 최근 알려져 있으나 뇌신경 독성과 피부 독성에 대해서는 상대적으로 적게 알려져 있다. 본 연구에서는 이들 세 가지 성분들의 피부 독성과 뇌신경 독성을 사람 피부섬유세포와 제브라피쉬 동물모델을 대상으로 각각 평가하였다. 사람피부섬유세포에 세 가지의 성분들을 0, 2, 4, 6, 8, 16 mg L-1 (최종농도)로 처리하였을 때, 세포 생존율은 PHMG가 33%로 가장 낮았고, PGH가 49%, CMIT/MIT가 40%의 생존율을 보였다. 세포배양액 내의 산화물을 정량해본 결과, PHMG 처리된 세포가 28 nmol MDA로 가장 높았고, PGH가 13 nmol MDA, CMIT가 21 nmol MDA를 보였다. 제브라피쉬 사육수조에 PHMG, PGH, CMIT를 40 mg L-1의 최종농도가 되도록 희석한 후, 제브라피쉬를 30분간 노출시킨 후 중뇌의 광시개영역(optic tectum)을 횡면 미세절단하여 산화물의 생성정도를 비교해본 결과, CMIT/MIT를 처리한 그룹에서 대조군 대비 17배 많은 산화물의 생성이 있었고, PGH를 처리한 그룹에서는 15배, PHMG를 처리한 그룹에서는 11배 많은 산화물이 관찰되어 심각한 뇌신경계 독성을 보여주었다. 결론적으로 세 가지 종류의 가습기 살균제 성분들에서 모두 심각한 피부세포 독성과 뇌신경계 독성이 나타났는데, 피부 독성은 특히 PHMG가, 뇌신경계 독성은 특히 CMIT/MIT가 가장 심각하였다. 이들 결과들은 가습기 살균제에 노출된 어린이들이 뇌신경계 독성을 통하여 언어장애, 운동장애, 발달장애 등을 겪게 될 수도 있음을 실험적으로 제시한다.

낙엽송 톱밥배지 밀도 및 입자크기에 따른 꽃송이버섯의 재배특성 (Cultivation of Sparassis crispa on Several kinds of Medium Density and Particle Size of Sawdust-based Medium Made of Larix kaempferi)

  • 박현;유성열;가강현
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제39권1호
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    • pp.68-74
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    • 2011
  • 꽃송이버섯은 다량의 ${\beta}$-glucan을 함유하고 있어서 기능성 버섯으로 재배가 확산되고 있다. 본 연구는 재배공정의 표준화를 위한 기초연구로서, 낙엽송 톱밥배지를 대상으로 밀도와 입자 크기에 따른 균사 생장 및 생산량 차이를 검정하였다. 저밀도(0.68~0.72 g/$cm^3$)의 톱밥배지에서 균사 생장의 변이계수는 초기에 40%를 초과하는 높은 값을 나타내었다가 7주차 이후에는 10% 이내로 줄어들었다. 반면, 고밀도(0.80 g/$cm^3$)의 경우에는 초기에도 상대적으로 낮은 30% 수준의 변이계수를 나타내며 안정적인 모습을 보였다. 생산량에서는 상품성이 높은 꽃 부분의 회수율을 측정한 결과 0.80 g/$cm^3$은 12.2%, 0.76 g/$cm^3$은 13.6%, 0.72 g/$cm^3$은 13.1%, 그리고 0.68 g/$cm^3$은 12.0%로 환산되어 0.76 g/$cm^3$가 가장 유리한 것으로 판단되었다. 한편, 1 mm 이하의 톱밥을 배제한 경우에는 원기 형성 후 자실체 수확까지 40일 정도 소요되지만, 1 mm 이하의 톱밥이 섞일 경우는 70일이 소요되었다. 또한 생산량에 있어서도, 꽃 부분만을 고려하면 1 mm 이하의 입자를 포함한 경우에는 다른 처리에 비하여 생산량이 적은 것을 확인할 수 있었다. 따라서 낙엽송 톱밥을 이용하여 꽃송이버섯을 재배하기 위해서는 1 mm 이하의 톱밥은 제외하고, 0.76 g/$cm^3$의 밀도로 배지를 조제하여 사용하는 것을 권장한다.

In-Sb-Te 박막의 결정화 거동에 관한 투과전자현미경 연구 (A Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization Behavior of In-Sb-Te Thin Films)

  • 김청수;김은태;이정용;김용태
    • Applied Microscopy
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    • 제38권4호
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    • pp.279-284
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    • 2008
  • 상변화 메모리 재료로 사용 가능한 In-Sb-Te (IST) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 증착한 후 열처리를 통해 온도에 따른 결정화 거동 및 미세구조를 투과전자현미경(TEM)을 통해 분석하였다. IST 박막은 as-dep 상태에서 비정질상으로 존재하였으며, 열처리 온도에 따라 결정상인 InSb, $In_3SbTe_2$, InTe으로 상변화가 일어났다. 이러한 상변화는 기존의 삼원계 상태도와 다른 비평형 상태에서의 상변태가 이루어짐을 확인할 수 있다. 상변화 과정 중 박막의 두께가 무질서하게 배열되었던 비정질상에서 규칙적인 배열을 갖는 결정질상으로 변할수록 감소하는 경향을 확인하였다. 또한 각각의 결정립의 크기도 온도가 증가할수록 증가하는 것을 관찰하였다. 특히, $350^{\circ}C$ 열처리한 박막의 InSb 상은 비정질 상태에서 표면에너지가 가장 낮은 {111}면을 따라 facet을 이루며 결정화가 이루어졌다. 온도가 증가함에 따라 $In_3SbTe_2$로 상변화가 일어났는데, $400^{\circ}C$ 열처리한 시편의 경우 미소영역에서 마이크로 트윈들이 관찰되었다. 이 면결함은 {111}면을 따라 양쪽의 격자점들이 일치하는 정합 쌍정립계를 이루고 있었으며, $450^{\circ}C$에서 동일영역을 관찰해 본 결과 쌍정 결함들이 치유되어 {111} facet 면을 이루고 있는 것을 확인하였다. 또한 비교적 작은 영역에서 상분리가 일어난 InTe 상도 관찰하였다. InTe 상의 경우 포정반응 온도인 $555^{\circ}C$보다 낮은 온도에서 관찰되었는데, InTe의 (002)면과 $In_3SbTe_2$의 (111)면이 비슷한 면간거리를 가지고 있음을 확인하였다. 추가적으로 $500^{\circ}C$ 이상의 온도에서 이들의 결정학적 관계에 따른 상변화 과정에 연구가 수행되어야 할 것으로 생각된다.