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Electromigration Characteristics in PSG/SiO$_2$ Passivated Al-l%Si Thin Film Interconnections

  • Kim, Jin-Young
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제7권2호
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    • pp.39-44
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    • 2003
  • Recent ULSI and multilevel structure trends in microelectronic devices minimize the line width down to a quarter micron and below, which results in the high current densities in thin film interconnections. Under high current densities, an EM(electromigration) induced failure becomes one of the critical problems in a microelectronic device. This study is to improve thin film interconnection materials by investigating the EM characteristics in PSG(phosphosilicate glass)/SiO$_2$ passivated Al-l%Si thin film interconnections. Straight line patterns, wide and narrow link type patterns, and meander type patterns, etc. were fabricated by a standard photholithography process. The main results are as follows. The current crowding effects result in the decrease of the lifetime in thin film interconnections. The electric field effects accelerate the decrease of lifetime in the double-layered thin film interconnections. The lifetime of interconnections also depends upon the current conditions of P.D.C.(pulsed direct current) frequencies applied at the same duty factor.

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Fault Current Limiting Characteristics of Flux-lock Type SFCL with Several Secondary Windings

  • Lim, Sung-Hun;Park, Chung-Ryul;Han, Byoung-Sung;Park, Hyoung-Min;Cho, Yong-Sun;Choi, Hyo-Sang
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제6권5호
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    • pp.193-197
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    • 2005
  • We investigated fault current limiting characteristics of the flux-lock type superconducting fault current limiter (SFCL), which consisted of a primary winding and several secondary windings connected in series between $high-T_C$ superconducting (HTSC) thin films. Each YBCO thin film has a 2 mm wide and 42 cm long meander line with 14 stripes of different length. The power imbalance due to the slight difference of Ie between YBCO current limiting elements causes the significant power burden on YBCO element with lower $I_C$. We confirmed from our experiments that the mutual coupling between the primary winding and secondary windings of the flux-lock type SFCL reduced the power imbalance between YBCO current limiting elements compared with the resistive type SFCL connected in series.

자속구속형 고온초전도 전류제한기 동작 특성 (Operational characteristic of flux-lock type HTSC-FCL)

  • 임성훈;최효상;강형곤;고석철;이종화;최명호;송재주;한병성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 기술교육전문연구회
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    • pp.20-23
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    • 2003
  • The operational characteristics of flux-lock type high-Tc superconducting fault currentlimiters(HTSC-FCLs) was described and currents equation at each coil was derived from equivalent circuit. $YBa_{2}Cu_{3}O_{7-x}$(YBCO) thin film was used as the current limiting elements of the flux-lock type HTSC-FCL, which were fabricated by etching the YBCO thin film into 2 mm wide and 420 mm long meander line consisting of foureen stripes with different length. The 2nd peak on the current of coil 2 after a fault disappeared by current of the 3rd winding, which was installed in the flux-lock type HTSC-FCL.

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안테나 기판으로 자성유전체 특성에 관한 연구 (A study on characteristics of magneto-dielectrics as the antenna substrate)

  • 이영순;유진하;이가영;조윤기;김의중;오병희
    • 한국항행학회논문지
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    • 제13권6호
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    • pp.838-845
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    • 2009
  • 유전체 기판을 대신하여 안테나 기판으로 사용되어질 다양한 유전율과 투자율을 가지는 자성유전체를 얻기 위하여 유전체 재료로는 실리콘 레진과 에폭시 레진을 그리고 자성재료로는 카보닐 아이언, 바륨 및 스트론튬을 사용하여 다양한 합성물로 제조하였고, 이러한 자성유전체들의 비유전율 및 비투자율을 HP4291B 임피던스 분석기를 사용하여 측정하였다. 본 논문에서 필름형태로 제조된 자성유전체를 안테나 기판으로 사용했을 때 공진주파수, 임피던스 대역폭과 같은 안테나 특성 변화의 차이점을 유전체 기판 사용과 비교하여 알아보기 위해 측정된 비유전율 및 비투자율에 근거하여 IFA형태의 미앤더 모노폴 안테나 설계 및 제작을 하였고, 모의실험 결과 및 측정 결과를 제시하였다. 본 논문에서는 이러한 결과를 토대로 자성재료의 종류 선택 및 자성재료와 유전체 재료의 혼합비 변화에 따른 자성유전체의 특성 변화들을 논의한다.

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YBCO 박막의 저항형 초전도 한류기에 대한 동작 특성 (Operating Properties for a Resistive SFCL of YBCO Thin Films)

  • 최효상;현옥배;김혜림;황시돌;김상준;문승현;한병성
    • 대한전기학회논문지:전기기기및에너지변환시스템부문B
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    • 제48권10호
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    • pp.537-543
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    • 1999
  • We fabricated a resistive superconducting fault current limiter (SFCL) of a meander type based on a YBCO film with the meander cross section of 5 $\times$ $10^{-6}$$cm^2$, and performed current limitation experiments. The film was coated quench current was 9.6 Apeak at 60 Hz, and the fast quench time was 0.63 msec. The resistance of the limiter continuously increased for three cycles dut to the temperature rise in the gold layer. The temperature of the current limiting element reached the room temperature in 11 msec, $150^{\circ}C$ in 54 msec after quench, and was saturated afterwards. For $45^{\circ}$and $90^{\circ}$faults the fast quench times were 0.56 msec and 0.26 msec, respectively. The quench time is believed to be reduced because the fault occurred when the current was either increasing or at the peak value. This limiter effectively limited the fault current to about 1/5 of the potential current with no SFCL right after the fault and to about 1/8.5 in three cycles. We confirmed that the gold layer effectively carried out the role of heat dissipation as the SFCL was quenched.

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휴대 단말기용 내장형 TDMB 안테나의 설계 및 구현 (Design and Implementation of an Internal Mobile Phone Antenna for TDMB System)

  • 이정호;송재관;육종관
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제21권3호
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    • pp.315-320
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    • 2010
  • 본 논문에서는 휴대 단말기에 내장이 가능한 소형화된 지상파 DMB(Digital Multimedia Broadcasting) 안테나의 설계 및 구현에 관하여 연구하였다. 제작된 안테나의 크기는 30 mm$\times$5 mm$\times$0.6 mm로서 Kapton 재질의 유전체전, 후면에 안테나 방사체가 미엔더 구조로 설계되어 있으며, 비아 홀을 통해 양쪽이 서로 연결되는 구조를 가진다. 또한 유전체 후면에 기생 소자를 배치하고 정합 소자로 220 nH의 인덕터를 사용함으로써, 안테나 소형화로 인해 부족해진 공진 길이를 보상하는 한편, 제한된 공간 내에서 정확한 공진 주파수를 가진 안테나를 구현할 수 있었다. 제안된 안테나의 이득은 중심 채널인 195 MHz에서 -13.01 dBi를 나타내었으며, 하위 채널인 174 MHz와 상위 채널인 216 MHz에서는 각각 -17.60 dBi와 -14.98 dBi의 이득 특성을 나타내었다.

마이크로스트립 선로를 이용한 광대역 차단특성을 가지는 저역통과 필터 설계 (Design of Lowpass Filter With the Wide Stopband Characteristics Using Microstrip Line)

  • 최동묵;심준환;전중성;김동일
    • 한국항해항만학회지
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    • 제30권5호
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    • pp.331-334
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    • 2006
  • 본 논문에서는 광 대역 저지대역특성을 가지는 저역통과필터를 마이크로스트립 선로를 이용하여 설계 및 제작하였다. 개방회로 스터브를 이용한 L-C ladder형 저역통과 필터의 입 출력단에 길이가 $\lambda_g/4$인 개방 스터브를 부가함으로써, 광대역 차단특성을 가지는 필터를 개발하였다. 필터의 전체길이를 줄이기 위해 고 임피던스 마이크로스트럼 라인을 미앤더(meander) 구조로 제작하였다. 제작된 필터는 차단주파수가 2.3 GHz인 저역통과필터였고, 측정된 결과는 전산모의실험에서 예측된 값들과 잘 일치함을 알 수 있었다.

Co계 아몰퍼스리본을 이용한 자계센서 (Magnetic Field Sensors using Co-base Amorphous Ribbon)

  • 신광호;박경일;송재연;김영학;사공건
    • 센서학회지
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    • 제12권5호
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    • pp.205-210
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    • 2003
  • 고감도의 자기임피던스센서를 구현하기 위해서 아몰퍼스리본을 리소그래피와 습식에칭을 통하여 미안더패턴으로 미소가공하고 임피던스의 외부자계의존성을 조사하였다. 센서의 임피던스는 외부자계 약 13 Oe 부근에서 가장 큰 값을 나타내었고, 약 170%의 변화율을 나타내었다. 선형성과 감도가 확보될 수 있는 외부자계영역(6 Oe부근)에서의 임피던스의 변화를 평가해 보면 약 36%의 단위자계당 임피던스 변화율을 확보할 수 있음을 알 수 있다. 제작한 센서패턴과 센서를 구동하기 위해서 제작된 구동회로를 이용하여 약 $10^{-3}$ Oe의 미약자계를 측정할 수 있다는 것을 알 수 있었다.

고온초전도 다층박막의 성장과 마이크로파 필터의 개발 (Growth of high-$T_{c}$ Superconducting Multilayer thin films and Fabrication of Microwave Filter)

  • 강광용;김철수;곽민환
    • 한국초전도저온공학회:학술대회논문집
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    • 한국초전도저온공학회 2003년도 학술대회 논문집
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    • pp.287-290
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    • 2003
  • For microwave device applications, c-axis oriented high temperature superconducting YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-{\delta}}$ (HTS-YBCO) epitaxial thin films on the r-cut sapphire substrate(Al$_2$O$_3$) were prepared. In order to reduce the lattice mismatch with a substrate and to enhance the crystallity of HTS thin films, CeO$_2$ buffer layer on the r-cut sapphire substrate was grown by the RF-magnetron sputtering. The YBCO films on the CeO$_2$ buffer layer were deposited using the pulsed-laser deposition (PLD) method. These HTS YBCO /CeO$_2$/Al$_2$O$_3$ multilayer thin films(30 $\times$ 30 mm$^2$) routinely exhibited a critical temperature(T$_{c}$) of 89 K from the R-T measurement. Using HTS YBCO/CeO$_2$ /Al$_2$O$_3$ multilayer thin film. We fabricated and characterized the microwave passive devices (planar type filters) with cryopack-age such as the coupled -line type low-pass filter (LPF) and the open-loop meander type bandpass filter (BPF).filter (BPF).).

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박막형 대면적 초전도 한류소자에서의 저항 분포 (Resistance distribution in large area thin film type SFCLS)

  • 김혜림;최효상;현옥배
    • 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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    • 제4권1호
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    • pp.89-93
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    • 2002
  • We investigated the resistance distribution n 4"diameter SFCLS. $YBa_2CU_3O_7$ films coated in-situ with a gold layer were patterned into 3 mm wide 142 cm long meander lines by Photolithography. The limiters were tested with simulated fault currents. The resistance was uniform all over the film except at the edge. At lower source voltages, CFCLs did not quench simultaneously and the resistance distribution was less uniform. Compared with 2" diameter SFCLS 4" SFCLS had similar values and time dependence of resistivity at similar electric fields The resistance distribution was more uniform in 4" SFCLS. The area at the edge where the distribution was not uniform was around 3 mm wide in SFCLs of both sizes. The experimental results were quantitatively explained with a heat transfer concept.