In the paper, we investigate the magneto-impedance(MI) effect of the Fe-Co-B Amorphous magnetic film, the amorphous magnetic film having near zero magnetostostriction is fabricated by using the sputtering methode, and then annealed in magnetic field. When the external magnetic field is directly applied to the fabricated film, the voltage amplitude between both side of the magnetic film varies about 22% at 10[MHz] and the impedance varies about 21% at 10[Oe]. Thus, we find that the fabricated magnetic film has the characteristics of high-quality sensor element.
직경 $190{\mu}m$ Cu 와이어에 $Ni_{80}Fe_{20}$ 연자성 물질을 전기도금법으로 증착하여 금속 코어/연자성 쉘 구조의 복합 와이어를 제작하고 이 와이어에서 자기임피던스 효과(MI 효과)를 연구하였다. 원통 좌표계에서 복합 와이어의 임피던스 텐서의 두 대각 성분 $Z_{{\theta}{\theta}}$와 $Z_{zz}$는 z 방향으로 가한 자기장에 대해 큰 MI 효과를 나타낸 반면, 비대각 임피던스 $Z_{{\theta}z}$의 MI 효과는 매우 약하게 나타났다. 비대각 자기임피던스 효과가 큰 복합 와이어를 만들기 위해 비틀림 스트레인 하에서 전기도금하는 방법을 시도하였다. Cu 와이어의 한쪽 끝을 약 $270^{\circ}$ 이상 회전한 상태에서 전기도금 된 복합 와이어는 뚜렷하게 증대된 비대각 MI 효과를 보였으며 $360^{\circ}$ 회전한 상태에서 도금 된 와이어에서 최대의 비대각 MI 효과를 얻을 수 있었다. 본 연구를 통해 비대각 MI 효과가 큰 복합와이어를 제작하는 방법을 개발한 것은 금속 코어/자성 쉘 복합 와이어의 자기센서 소재로써의 응용가능성을 높일 것으로 기대된다.
Kim, Hyun-Kyung;Kim, Do-Hun;Son, De-Rac;Jeung, Won-Young
Journal of Magnetics
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제13권2호
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pp.65-69
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2008
The magneto impedance (MI) behaviors of patterned $Co_{30}Fe_{34}Ni_{36}$ microwire were investigated with respect to its shape variation. After preparing $Co_{30}Fe_{34}Ni_{36}$ microwires using electrodeposition and photolithography methods, impedance measurements were conducted to compare the MI ratios of the devices with different aspect ratios. As a result, the anisotropy field and transverse permeability were found to be strongly affected by the aspect ratio of the device. The external field value at the maximum impedance and maximum sensitivity of the device was found to increase with increasing device width, which was attributed to the increased transverse anisotropy with decreasing aspect ratio. While an increase in the thickness also contributed to an increase in the MI ratio, a variation in the thickness not only increased the anisotropic field, but the variation in the MI ratio was as also affected by the skin effect. Conversely, the MI ratios of the present devices were hardly affected by variations in the length. Considering the typical aspect ratios of our devices, it was expected that the length effect would emerge when the aspect ratio was reduced to less than 10. Nevertheless, our results show that for the practical application of MI devices, the MI characteristics can be optimized by tailoring the aspect ratio of the devices.
거대자기임피던스 효과를 이용한 자기센서를 사용하여 자화된 금속이물질을 감지할 수 있는 고감도 금속이물질 감지 센서를 구현하였다. 스트립 형태의 센서는 지자기의 영향으로 스트립의 축방향이 놓인 위치에 따라 초기 직류전압은 다르게 나타났지만 접지점에 연결된 스트립에서 멀어질수록 외부 자계에 대한 출력전압이 증가하며 스트립의 축 방향에는 무관함을 나타내었다. 제안하는 자기센서는 고감도 실현을 위하여 능동잡음필터를 적용하여 기저잡음의 반 이상을 제거할 수 있었고 설치된 주변 환경에서 발생하는 전자기 잡음 및 지자기로 부터의 영향을 받지 않고 자화된 금속 이물질을 검출할 수 있음을 보여주었다. 자화된 철구의 경우 5mm 이격거리에서 지름 0.8mm 까지 감지가 가능함을 실험적으로 보여주었다.
Soft ferromagnetic materials are very useful for many sensors using magnetic materials demanding high permeability, low coercivity and low hysteresis loss. Among them, FeCoSiBNi amorphous magnetic films show a good impedance change (about 5.01 %/Oe, at 10 MHz) by the exterinal magnetic field in this experiment. The magnetic films are produced by melt-spun method, one of the rapid solidification process. Ribbon shape wires were made from the films, and let them annealed in DC magnetic field to increase the maximum Giant Magneto Impedance ratio. Field annealing decreases the stress and changes the effective anisotropy. Thus, we can find that the impedance change (200.47 %) is improved and the fabricated magnetic wire has characteristics of good sensor element.
MI(Magneto-Impedance) sensor which is made by thin films has significantly high detecting sensitivity in weak magnetic field. It also has a merit to be able to build in the low power system. Its structure is simple, which makes it easier to prepare a miniature. In this study, its magnetic permeability and anisotropy field$(H_k)$ as a function of a thickness of sputtered amorphous CoZrNb films with zero-magnetostriction and excellent soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, film was subjected to the post annealing in a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and $320^{\circ}C}$ respectively for 2 hours. Anisotropy field$(H_k)$ of film is measured by using a MH loop tracer. Its magnetic permeability of a film is measured over the frequency range from 1 MHz to 750MHz. It has shown that the magnetic permeability of amorphous CoZrNb film is decreased due to the skin effect with increasing a thickness of the CoZrNb film, and hence its driving frequency is lowered. And, it was examined on the permeability and impedance to fabricate the MI sensor which acts at a low frequency by thickening a CoZrNb film relatively.
A new discovery of the super-giant magneto-impedance (SGMI) effect was found out in a LC-resonator consisted of a glass-coated amorphous $CO_{83.2}B_{3.3}Si_{5.9}Mn_{7.6}$ microwire. The measurement was carried out at high frequency range from 100 MHz up to 1 GHz of an ac-current flowing along the wire and at varying axial dcmagnetic field in its range of $\pm$120 Oe. The wires, about 16${\mu}m$ in diameter, were fabricated by a glass-coated melt spinning technique. The shape of the impedance curves plotted vs. a dc-field is changing dramatically with the frequency. The phase angle was also strongly dependent on this field. The external dc-magnetic field changes the circumferential permeability as well as the penetration depth, both in turn change the impedance of the sample. The drastic increments of SGMI at high frequency can be understood in terms of the LC-resonance phenomena. The sudden change of the phase angle, as large as $180^{\circ}$ evidenced the occurrence of the resonance at a given intensity of the external dc-field. The maximum ratio of SGMI reached in the experiment by precise tuning frequency equals 450,000% at the frequency of around 551.9075 MHz.
Giant magneto-impedance (GMI) effect in zero-magnetostrictive Co-based amorphous ribbons samples in their as-quenched and stress-released states as well as with intentionally induced magnetic anisotropy were investigated. Magnetic and impedance properties of the samples exhibiting different anisotropy were compared and the optimum operation conditions for the studied samples from the view-point of their utilization as a sensor element have been determined. A design of a model of magnetic field sensor and characteristics of the constructed prototype are presented.
The measurement of external magnetic field orientation using Giant Magneto Impedance (GMI) sensors has been performed. A soft magnetic alloy of $Co_{30}Fe_{34}Ni_{36}$ was electroplated on a Si wafer with a CoFeNi seed layer. V-shaped microwire patterns were formed using a conventional photolithography process. An external magnetic field was generated by a rectangular AlNiCo permanent magnet. The reference direction was defined as the external magnetic field direction oriented in the middle of 2 GMI devices. As the orientation of the magnetic field deviated from the reference direction, variation in the field component along each device introduced voltage changes. It was found that, by taking the voltage difference between the left and right arms of the Vshaped device, the nonlinearity of each device could be significantly reduced. The fabricated angle sensor had a linear range of approximately $70^{\circ}$ and an overall sensitivity of approximately 10 mV.
본논문은 FeCoCiB계 아몰퍼스 자성박막의 주파수에 따른 자기 임피던스(MI)효과에 관하여 조사한 것이다. 영자왜를 갖는 아몰퍼스 자성박막은 고주파 스파터링법에 의하여 제작하였으며, 자계중 열처리를 행하였다. 제작된 자성박막에 직접 외부자계를 인가했을 때, 자성박막의 양단간의 전압진폭은 120[MHz]에서 약 76.2%의 변화를 보였으며, 임피던스는 2.1%/Oe의 변화가 나타났다. 따라서, 제작한 자성박막은 센서소자로서의 가능성을 갖고 있음을 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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