• 제목/요약/키워드: magnetic funnel junction

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CoFe의 삽입과 산화조건에 따른 자기 터널 접합의 자기저항특성에 관한 연구 (CoFe Layer Thickness and Plasma Oxidation Condition Dependence on Tunnel Magnetoresistance)

  • 이성래;박병준
    • 한국자기학회지
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    • 제11권5호
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    • pp.196-201
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    • 2001

  • Si(100)/Ta(50 )/NiFe(60 )/FeMn(250 )/NiFe(70 )/Al$_2$O$_3$/NiFe(150 )/Ta(50 )구조를 가진 자기터널접합의 자기저항비 향상에 관해서 연구하였다. 자성층과 절연층 사이 계면에 CoFe을 삽입하여 5.75%에서 13.7%까지 향상시켰다. 그리고 절연층은 16 의 Al을 순수한 산소 및 산소/아르곤 혼합 분위기에서 프라즈마 산화법으로 형성하였다. 순수한 산소 분위기에서는 최적 산화시간 30초에서 13.7%의 자기저항비를 얻었지만,산소/아르곤의 혼합기체를 사용하면 최적 산화시간 40초에서 15.3%의 자기저항비를 얻었다.

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