Fabrication and electrochemical characterization of amorphous vanadium oxide thin films for thin film micro-battery by reactive r.f. sputtering (반응성 r.f. 스퍼터링에 의한 마이크로 박막 전지용 산화바나듐 박막의 제작 및 전기화학적 특성 평가)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.9 no.1
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- pp.42-47
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- 2000