The aim of this paper is to design and evaluate a high concentration, high penetration unipolar corona ionizer. The electrostatic characteristics in terms of voltage-current relationships of the present ionizer in the discharge zones for positive and negative coronas were discussed. Using ion current measurement, the concentration and penetration of ions were evaluated at corona voltages across the needle electrodes between 1 and 4 kV, flow rates between 1 and 5 L/min, and an operating pressure of 1 atm. In the discharge zone of the ionizer, the highest ion concentrations were found to be about $1.71{\times}10^{14}$ and $5.09{\times}10^{14}\;ions/m^3$ for positive and negative coronas, respectively. At the outlet of the ionizer, it was found that the highest ion concentration was about $1.95{\times}10^{13}$ and $1.91{\times}10^{13}\;ions/m^3$ for positive and negative coronas, respectively. The highest ion penetration for positive and negative coronas through the ionizer was found to be about 98 % and 33 %, respectively. The $N_it$ product for positive and negative coronas was also found to $1.28{\times}10^{13}$ and $7.43{\times}10^{13}\;ions/m^3s$, respectively. From the findings, this ionizer proved to be particularly useful as an aerosol charger for positive and negative charge before the detector in an electrical aerosol detector.
On this study, we developed the electrostatic eliminator for charged particles in manufacturing process. The characteristics of the electrostatic eliminator were investigated, which is two kinds. The first one is Electrical Corona Discharged Type Ionizer. The second one is Photo Ionizer in using soft X-ray. From the experiment, we have obtained the following results. In case of Electrical Corona Discharged Ionizer, neutralization efficiency of charged particles were approximately saturated to 98% over 6.0kV, but as it is non-explosion proof, can not be used in flammable particle treatment process. While in case of photo Ionizer in using soft X-Ray, neutralization efficiency of charged particles were approximately 95%, and more its structure is explosion proof, could be used in flammable particle treatment process.
제전기는 정전기를 제거하는 장치로서 평판디스플레이, 유기 EL 등의 제조 공정에서 사용하는 장치이다. 본 논문에서는 상위 컴퓨터와 다수의 제전기간에 통신이 가능하며, 각 제전기의 전원 및 제전 상태를 독립적으로 제어가 가능한 제전기용 고성능 원격 감시 장치를 개발하였다. 실험을 통하여 제어기의 핵심적인 기능인 유니트 접속, 이온발생량, 대전량, 경보상태, 그리고 제전상태가 PC와 제어기 사이에 정상적으로 송수신 되는 것을 확인하였다. 개발된 장치는 TFT-LCD, PDP, 유기 EL 등 평판제조 산업에 필요한 제전기를 고성능으로 원격 감시하는 시스템에 활용이 기대된다.
The main purpose of this study is to analyze the collection characteristics of multi-layer multi-stage porous plate system with ionizer and dielectric-substance experimentally. The experiment is carried out to analyze the characteristics of pressure drop and collection efficiency for the present system with experimental parameters such as applied voltage, inlet velocity, stage number and inlet particle concentration, etc. In results, for multi-layer multi-stage porous plate system of inflow type, at 5 stage and $v_{in}$=2.58 m/s, the pressure drop becomes lower 15 $mmH_2O$ as 95 $mmH_2O$ than that of non-inflow type system. It is estimated that for the present system with ionizer and dielectric-substance, the collection efficiency represents 98.5% showing higher 5.2% comparing to that of multi-layer multi-stage porous plate system without ionizer and dielectric-substance at 5 stage, $v_{in}$=2.58 m/s and inlet concentration $3g/m^3$(fly ash).
The technology for neutralizing static electricity by soft X-ray radiation has been newly developed. This technology involves ionization of gas molecules in the vicinity of a charged substrate to generate ions and electrons to reduce electrostatic potential. The ULSI device substrate and liquid crystal display substrate tend to get charged instantly to a high potential level when they are handled in the manufacturing process. Soft X-ray radiation is adequate in air or $O_2$ gas at atmospheric pressure. This newly developed neutralization method is effective to be superior to the conventional technique, i.e., an ionizer by using corona discharge ,in every aspect. The new method features excellent neutralization capability and is able to completely reduce electrostatic potential to 0 V within a short time. Moreover, this is a very clean antistatic technology free from particle generation ,ozone generation, and electromagnetic noise, which are problems in using the corona discharge ionizer.
In display and semi-conductor manufacturing process, there are numerous unstable factors such as particle concentration, minimal vibration, changes in magnetic field, or electrostatic that becomes an issue to be managed and controlled. In the recent, X-ray ionization is widely used that is neutralized by separating air or gas molecules in the area where the static must be resolved. The mono-type of X-ray ionizer was not capable to be used in $8^{th}$ generation panels manufacturing plant due to its insufficient ionizing coverage since the panel itself is approximately in $2m{\times}3m$. To resolve the current problem, the development of new type called, "Multi-type X-ray ionizer" has resulted in covering enough ionizing space in $8^{th}$ generation panels industry. Comparing mono and multi types with MCNPX code simulation, the multi one indicates more X-ray flux, efficiency, and ionization performance in comparison with either a mono-type or multi-type in array format. In addition, the ionizing efficiency of overlapping area with multi-type showed 30% higher effectiveness rate as to the ordinary mono-type.
Even if smoke, fumes, mist or dust particles are removed by electrostatic precipitators (ESPs), the occurrence of ozone, which is harmful to human body, has to be severely restricted in the indoor environments of hospitals, offices, and workshops. Therefore, the two-stage ESP generating positive corona at the ionizer is typically used because it creates less ozone than the two-stage ESP generating negative corona at the ionizer. In order to predict the collection performance and the optimal design of the two-stage ESP applied to positive high-voltage, particle concentration is experimentally investigated in this paper. In addition, particle motion within the collector section is also numerically analyzed. The positive corona discharge current of the ionizer is found to be affected by the applied voltage in the collector section but less so by the particle concentration. Particle concentration shows a minimum near the high voltage electrode of the collector section. The minimum value of the collection efficiency is almost proportional to gas velocity. When the collector length decreases, the minimum value of the collection efficiency increases. Charged particles entering the collector region are linearly deflected towards the grounded plate by an electric field. From the above experimental and numerical results, two empirical equations on the concentration ratio and the collection efficiency are derived, and are in good agreement with the experimental data.
The electrostatic precipitation of Auto- Bias has the advantages of a little of power consumption by the voltage to apply only at ionizer and the prevention of fire danger by current flow over. As this ionizer wire was used WXN- Pt material of diameter 90$\mu $m, that improved ion efficiency and safety, simplified a existing source of electric power by induced Auto- Bias voltage. Also, the new type collector used electric conductivity- film wag superior a electric safety and dust collection efficiency and was possible to wash it by water. As a experiment result of this Auto- Bias electrostatic collector, the induced Auto- Bias voltage by appling D.C 4.0∼6.0kV at ionizer was 1.3∼2.3kV and then the power consumption by applied voltage was 8- l8W. The pressure loss of collector by the amount of flowing was 6.1 OmmH$_{2}$O in 300m$^{3}$/hr and showed a safe state of the dust collection. The collection efficiency by particle size was 65.1-95.8% in 0.5∼5.0$\mu $m. After corona discharge of ionizer, the remains ozone concentration was found much lower than that of ACGIH or air pollution criteria in Korea.
Ionizer is used for improving manufacturing process and reducing inferior goods in the clean room. As a general rule, neutralization of the electrostatic charge is most important to make TFT-LCD, PDP and OLED. Pulse AC-static eliminator with output voltage of about 10.5kV has been used these days as neutralization device. But this device has a problem with lower performance which was caused by particles-adhesion on the electrode when it has been used for a long time. So we studied to solve the problem with lower performance using high Frequency(72kHz) static eliminator which was produced by Piezo transformer device, and compared Pulse-AC type with Piezo-electronic device such as decay time and ion balance for 10 weeks periods. As a result of this study, we found that Piezo transformer device has been maintained normal condition for 10 weeks. Also, we made the rule by this study, normally Piezo transformer device has to clean the electrode during every 11th weeks.
In Display such as LCD, LED, and AMOLED or semiconductor related industries are required to have static ionizer in order to produce reliable goods since the ionizer can create balanced ion that is delivered to producing goods to minimize electrical damages when manufacturing. However, the most general type of ionization is called, "Corona Discharge" that has a slight chances to generate unequal and unstable amount of each +/- ion to the target object. Then, the ionization performance will drastically decrease and end up with quality deterioration problem. In this research, our objective to resolve the current issue via applying "Coupling Condenser" on each counter electrodes of Corona discharging type ionizer. The result is that the ion balance was maintained the satisfied range that is within +/-100V when we changed the duty ratio of the High Voltage of Pulse AC about 40 ~ 70%. In addition, when levelling the High Voltage of Pulse AC, the ion balance holds the range within +20 ~ 0V. Even though we have tested the same experiment for a year, we have seen the range changes roughly ${\pm}50V$.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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