Modification and adhesion improvement of BN interfacial layers by Post-$N^+$ implantation
(질소 이온주입법에 의한 BN박막의 계면구조 개선 및 밀착력 향상)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.8 no.2
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- pp.158-158
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- 1999
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