Effect of RuO$_2$ Thin Film Microstructure on Characteristics of Thin Film Micro-supercapacitor
($RuO_2$ 박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향)
-
- Korean Journal of Materials Research
- /
- v.11 no.8
- /
- pp.671-678
- /
- 2001