Reactive RF Magnetron Sputter Deposited $Y_2O_3$ Films as a Buffer Layer for a MFIS Transistor
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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- pp.47-50
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- 2000