분자동역학 전산모사를 이용한 나노임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프-레지스트 간의 상호작용 및 원자분포에 관한 연구 (A study on the stamp-resist interaction mechanism and atomic distribution in thermal NIL process by molecular dynamics simulation)
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- 대한기계학회:학술대회논문집
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- 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회A
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- pp.343-348
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- 2007