보급형 He-Ne 타원해석기의 제작과 $TiO_2$ 박막 유효밀도 변화의 in-situ 측정
(Fabrication of He-Ne ellipsometer and in-situ measurement of effective density variation of $TiO_2$ thin films)
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- 한국진공학회지
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- 제8권4A호
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- pp.432-437
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- 1999