• 제목/요약/키워드: hydrogenated

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증착 압력이 a-Si:H막의 전도도와 광학적 특성에 미치는 영향 (Effect of Deposition Pressure on the Conductivity and Optical Characteristics of a-Si:H Films)

  • 전법주;정일현
    • 공업화학
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    • 제10권1호
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    • pp.98-104
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    • 1999
  • 본 연구에서는 ECR플라즈마 화학증착법을 이용하여 반응기내 압력의 변화에 따라 수소화된 무정형 실리콘막을 증착하고 박막내 수소의 함량과 결합구조 및 전기적 특성을 조사하였다. 일반적인 CVD에 의해 제조된 a-Si:H막은 증착속도가 증가할수록 광감도는 감소하지만 ECR플라즈마의 경우 증착속도가 증가할수록 광감도가 향상되었다. 마이크로파 출력과 사일렌/수소 희석비, 반응기내 압력등이 동일한 실험 조건에서 증착시간에 따른 막의 두께는 선형적으로 증가하고 막내에 함유된 수소의 농도는 일정하지만, 반응시간이 짧은 경우 막내에 $SiH_2$결합이 SiH결합보다 많이 형성되어 광전도도를 저하시킬 수 있다. 반응기내 압력이 증가함에 따라 박막내에 SiH결합이 증가하여 광학 에너지 갭을 줄여 광전도도를 향상시킬 수 있었으나 암전도도의 증가로 광감도는 감소하였다. 따라서 양질의 박막을 얻기 위해서는 압력이 낮고 수소기체의 양이 적은 조건에서 성장시켜야 한다.

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Effects of Si cluster incorporation on properties of microcrystalline silicon thin films

  • Kim, Yeonwon;Yang, Jeonghyeon;Kang, Jun
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.181-181
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    • 2016
  • Hydrogenated microcrystalline silicon (${\mu}c-Si:H$) films have attracted much attention as materials of the bottom-cells in Si thin film tandem photovoltaics due to their low bandgap and excellent stability against light soaking. However, in PECVD, the source gas $SiH_4$ must be highly diluted by $H_2$, which eventually results in low deposition rate. Moreover, it is known that high-rate ${\mu}c-Si:H$ growth is usually accompanied by a large number of dangling-bond (DB) defects in the resulting films, which act as recombination centers for photoexcited carriers, leading to a deterioration in the device performance. During film deposition, Si nanoparticles generated in $SiH_4$ discharges can be incorporated into films, and such incorporation may have effects on film properties depending on the size, structure, and volume fraction of nanoparticles incorporated into films. Here we report experimental results on the effects of nonoparticles incorporation at the different substrate temperature studied using a multi-hollow discharge plasma CVD method in which such incorporation can be significantly suppressed in upstream region by setting the gas flow velocity high enough to drive nanoparticles toward the downstream region. All experiments were performed with the multi-hollow discharge plasma CVD reactor at RT, 100, and $250^{\circ}C$, respectively. The gas flow rate ratio of $SiH_4$ to $H_2$ was 0.997. The total gas pressure P was kept at 2 Torr. The discharge frequency and power were 60 MHz, 180 W, respectively. Crystallinity Xc of resulting films was evaluated using Raman spectra. The defect densities of the films were measured with electron spin resonance (ESR). The defect density of fims deposited in the downstream region (with nonoparticles) is higher defect density than that in the upstream region (without nanoparticles) at low substrate temperature of RT and $100^{\circ}C$. This result indicates that nanoparticle incorporation can change considerably their film properties depending on the substrate temperature.

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ECR-PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정 (Measurement of hydrogen content in a-C:H films prepared by ECR-PECVD)

  • 손영호;정우철;정재인;김인수;배인호
    • 한국진공학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.119-126
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    • 2001
  • ECR-PECVD 방법으로 ECR 플라즈마 소스 power, $CH_4/H_2$ 가스 혼합비와 유량, 증착시간 및 기판 bias 전압을 변화시켜 가면서 수소가 함유된 비정질 탄소 박막을 증착하고, 증착조건에 따라서 박막 내부에 함유되어 있는 수소함량 변화를 2.5 MeV 헬륨 이온빔을 사용하는 ERDa로 측정하였다. ERDA의 결과와 hES 및 RBS에 의한 성분분석으로부터 본 실첨에서 증착된 박막은 탄소와 수소만으로 구성 되어있음을 확인할 수 있었고, FTIR의 결과로부터 박막 증착조건에 따라서 박막 내부에 함유되어 있는 수소함량이 변화함을 알 수 있었다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 현상으로 수소함량이 크게 감소됨을 알 수 있었다. 그 밖의 조건에서는 박막증착 초기에는 수소보다 탄소량이 좀 더 많다가 점차적으로 수소함량이 증가되었고, 이때 박막 내부에 함유되어 있는 수소함량은 45~55% 범위 내에 있음을 확인할 수 있었다.

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Enhancing Skin Delivery of 5-Aminolevulinic Acid with Transferosome Using Lyso-Phospholipid and Surfactant

  • Han, In-Sook;Kang, Min-Young;Kim, Moon-Kyu;Kim, Jung-Chul
    • Journal of Pharmaceutical Investigation
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    • 제41권1호
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    • pp.19-24
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    • 2011
  • In order to enhance the clinical efficacy of 5-aminolevulinic acid-induced photodynamic therapy (ALA-PDT), liposomal formulations using bulk hydrogenated phospholipids from soybean were introduced. Three types of lipids, S75-3, S100-3, and SL80-3 were used for formulating ALA. The pH of all the liposomal ALA is 4.5~5.5 and the size is 50~200 nm. All the liposomal formulations gave better ex vivo ALA skin penetration using nude mice skin in Franz cell than free ALA did. Among them, SL80-3 including 22% of lyso-phosphocholine achieved excellent ALA penetration when compared with those of S75-3 and S100-3 which have only 1~2% of lyso-phospholipids. S100-3 showed a little better results than S75-3 did. Addition of humectants (glycerine, propylene glycol, butylene glycol, betaine) in liposomal ALA formulated with SL80-3 produced little enhancing effect in ALA penetration. On the other hand, addition of surfactants (Tween 20, 60, Brij 72, 76, 78) in same liposomal system produced significant increase in ALA penetration. Among them, transferosomal system of lyso-phospholipid, SL80-3 and the surfactant, Brij76 showed the highest ALA penetration. Furthermore, this system also established the highest in vivo PpIX biosynthesis in hairy mice skin of C57BL/6. These results concluded that the transferosome of SL80-3 and Brij76 produced the best results in both ALA penetration and PpIX biosynthesis, and proved good correlation between them.

필수 지방산 결핍이 성장기 쥐의 혈액 및 조직의 지방조성에 미치는 영향 (Effect of Essential Fatty Acid Deficiency on Blood and Tissue Lipid Compositions)

  • 송지현;김혜영;최혜미
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제16권2호
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    • pp.89-96
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    • 1983
  • 이유후의 Sprague Dawley종의 숫컷 쥐에게 10 % 옥수수기름 혹은 10% 야자경화유를 함유하는 식이를 5주간 주었다. 야자경유화를 주어 필수지방산을 결정시킨 식이군의 쥐와 다른 식이군의 쥐 사이에, 본 연구에서 조사한 범위내에서는 성장발달에 차이가 없었으며, 필수지방산 결핍증세를 관찰할 수 없었다. 실험군의 쥐의 조직중에서 지방조성의 변화를 살펴보면 ( 1 ) 야자 경화유를 준 쥐는 다른 군에 비하여 3주, 5주에 별장의 TG농도, 5주에 간의 TG농도가 증가하였다. (2) 야자경화유를 준 쥐는 다른 군에 비하여 3주에 혈장 Phospholipid 농도가 감소했다. 반면 생식기는 3주에 PL농도가 증가하였으며, 5주에는 PL농도 변화는 없었다. ( 3 )야자경화유를 준 쥐는 3주에 생식기의 콜레스테롤의 농도가, 5주에 신장, 부신의 콜레스테롤의 농도가 감소하였다. 이로써 성장기 쥐는 필수지방산 결핍시기에 대해, 각 조직에 따라, 또 식이기간에 따라 각기 달리 영향을 받음을 알 수 있다.

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출생전후의 식이 필수 지방산의 수준이 흰쥐의 혈청 및 뇌와 간세포의 Vitamin E 농도에 미치는 효과 (Effect of Pre-and Postnatal Feeding of Different Fats on Vitamin E Levels in Serum, Brain, and Liver of Rats)

  • 최민숙;송지현;최혜미;박현서;이양자
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제16권4호
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    • pp.287-295
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    • 1983
  • Sprague Dawley pregnant rats were fed the hydrogenated coconut oil (P/S 0.02), corn-oil plus beef tallow (P/S 1.0), and corn-oil(P/S 4.0)diet during the 14 days of gestation and through lactation. At weaning, offsprings from each group were divided into two and corn- oil diet was switched to coconut and vice versa, while the other corresponding groups continud the same diet. Body, brain, and liver weights were measured on pups and the brains were analyzed for DNA and vitamin E. Serum and liver vitamin E levels were alse measured. Body weight of coconut group was significantly low throughout the 7 week period, but brain weight was significantly depressed before weaning. Liver weight showed similar pattern with the body weight. Serum vitamin levels increased before weaning, while tissue vitamin E increased after weaning. Serum vitamin E levels of switched groups were similar to that of P/S 1.0 group. Brain vitamin E levels per DNA of switched groups were also similar to that of P/S 1.0 group. And the effect of different dietary essential fatty acid levels on vitamin E in the brain during lactation found to be insignificant.

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광학렌즈를 위한 저주파(60Hz) 플라즈마 CVD로 실온에서 제작한 다이아몬드성 탄소 박막의 특성 (The Characteristics of Diamond-like Carbon Films Deposited by Low Frequency(60Hz) Plasma CVD at Room Temperature for Optical lens)

  • 강성수;이원진;성덕용
    • 한국안광학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.23-28
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    • 1996
  • 실온에서 60Hz 저주파 플라즈마 CVD로 수소화된 비정질 탄소(a-C:H) 박막을 제조하였다. 이 방법으로 형성된 박막은 상용 주파수인 전원을 사용하기 때문에 종래의 다른 방법에 비하여 실험이 간단하고 저렴하게 제작되며, 적은 전력밀도(0.03~0.08 W/cm2를 사용하므로 시료의 손상이 작은 장정들을 가지고 있다. 본 연구에서 제작한 a-C:H 박막은 높은 투명도(95%), 높은 저항성(109~1011${\Omega}$-cm). 그리고 순도가 좋은 탄소를 유지하며 평탄성이 아주 좋다. 시료들은 기압비율이 1%에서 30%까지의 범위에서 메탄 (CH4)과 수소(H2)의 혼합기체의 분해에 의하여 제작되었다. 제작된 시료의 침전율 (deposition rate), 광학적 갭(optical gap), 그리고 수소 함량등은 메탄 함량의 증가에 따라 증가하였다. 반응시 플라즈마 온도(~ 6eV)와 밀도(107 cm-3)는 에탄함량에 거의 의존하지 않았다.

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이종접합 실리콘 태양전지 적용을 위한 선택적 전하접합 층으로의 전이금속산화물에 관한 연구 (A Study on the Selective Hole Carrier Extraction Layer for Application of Amorphous/crystalline Silicon Heterojunction Solar Cell)

  • 김용준;김선보;김영국;조영현;박창균;이준신
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제30권3호
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    • pp.192-197
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    • 2017
  • Hydrogenated Amorphous Silicon (a-Si:H) is used as an emitter layer in HIT (heterojunction with Intrinsic Thin layer) solar cells. Its low band gap and low optical properties (low transmittance and high absorption) cause parasitic absorption on the front side of a solar cell that significantly reduces the solar cell blue response. To overcome this, research on CSC (carrier Selective Contacts) is being actively carried out to reduce carrier recombination and improve carrier transportation as a means to approach the theoretical efficiency of silicon solar cells. Among CSC materials, molybdenum oxide ($MoO_x$) is most commonly used for the hole transport layer (HTL) of a solar cell due to its high work function and wide band gap. This paper analyzes the electrical and optical properties of $MoO_x$ thin films for use in the HTL of HIT solar cells. The optical properties of $MoO_x$ show better performance than a-Si:H and ${\mu}c-SiO_x:H$.

Nanotribological Properties of Chemically Modified Graphene

  • Kwon, Sangku;Ko, Jae-Hyeon;Byun, Ik-Su;Choi, Jin Sik;Park, Bae Ho;Kim, Yong-Hyun;Park, Jeong Young
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.159-159
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    • 2013
  • Atomically thin graphene is the ideal model system for studying nanoscale friction due to its intrinsic two-dimensional anisotropy. Furthermore, modulating its tribological properties could be an important milestone for graphene-based micro and nano-mechanical devices. Here, we report that the tribological properties can be easily altered via simple chemical modifications of the graphene surface. Friction force microscopy measurements show that hydrogenated, fluorinated, and oxidized graphenes exhibit, 2-, 6-, and 7-fold enhanced nanoscale friction on their surfaces, respectively, compared to pristine graphene. The measured nanoscale friction should be associated with the adhesive and elastic properties of the chemically modified graphenes. Density functional theory calculations suggest that, while the adhesive properties of chemically modified graphenes are marginally reduced down to ~30%, the out-of-plane elastic properties are drastically increased up to 800%. Based on these findings, we propose that nanoscale friction on graphene surfaces is characteristically different from that on conventional solid surfaces; stiffer graphene exhibits higher friction, whereas a stiffer three-dimensional solid generally exhibits lower friction. The unusual friction mechanics of graphene is attributed to the intrinsic mechanical anisotropy of graphene, which is inherently stiff in plane, but remarkably flexible out of plane. The out-of-plane flexibility can be modulated up to an order of magnitude by chemical treatmentof the graphene surface. The correlation between the measured nanoscale friction and the calculated out-of-plane flexibility suggests that the frictional energy in graphene is mainly dissipated through the out-of-plane vibrations, or the flexural phonons of graphene.

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촉매독이 대두유의 경화에 미치는 영향 (Effect of catalyst poison agents on the hydrogenation of soybean oil)

  • 이서구;김창식
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제36권2호
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    • pp.93-98
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    • 1993
  • 촉매독으로 작용하는 인화합물과 유황화합물의 첨가에 의해서 수소첨가 반응되었을 때 나타나는 대두유의 물리적 화학적 성질을 규명하고저 하였다. 대두유에 첨가한 인화합물의 양이 증가할수록 oleic acid의 감소와 linoleic acid, stearic acid가 증가되었으며 유황화합물의 함량이 증가할수록 $10.0^{\circ}C$$21.1^{\circ}C$에서의 고체지 함량이 증가하는 반면에 점차로 $33.3^{\circ}C$$37.8^{\circ}C$에서 고체지 함량은 감소하였다. 유황화합물을 첨가하였을 경우에 비하여 인화합물을 첨가한 대두경화유의 융점이 높게 나타났고 유황화합물의 함량이 증가할수록 선택적인 경화조건이 나타났으며 정제공정을 거치면서 대두유에 존재하는 납과 비소는 극미량(0.01 ppm)으로 검출되었다.

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