Effect of Rapid Thermal Annealing on the Resistivity Changes of Reactively Sputtered Tungsten Nitride Thin Film (Sputtering법으로 제조된 Tungsten Nitride 박막의 저항변화에 미치는 급속 열처리 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.10 no.1
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- pp.29-33
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- 2000