Amorphous In-Ga-Zn-O (a-IGZO) thin film transistors, because of their relatively low mobility, have limits in attempts to fulfill high-end specifications for display backplanes. In-Zn-O (IZO) is a promising semiconductor material for high mobility device applications with excellent transparency to visible light region and low temperature process capability. In this paper, the effects of working pressure on the physical and electrical properties of IZO films and thin film transistors are investigated. The working pressure is modulated from 2 mTorr to 5 mTorr, whereas the other process conditions are fixed. As the working pressure increases, the extracted optical band gap of IZO films gradually decreases. Absorption coefficient spectra indicate that subgap states increase at high working pressure. Furthermore, IZO film fabricated at low working pressure shows smoother surface morphology. As a result, IZO thin film transistors with optimum conditions exhibit excellent switching characteristics with high mobility (≥ 30㎠/Vs) and large on/off ratio.
본 연구에서 개발한 고압증발 모델을 이용하여 고압 연소장에서의 액체연료추진제의 증발 과정을 수치적으로 해석하였다. 고압상태에서 액적의 증발 특성에 중요한 영향을 미치는 실제 기체의 거동, 온도 및 압력에 따른 가변물성치의 영향, 주위기체의 용해현상을 고려하였고 일반적인 상평형 관계식을 이용하였다. 실험치와 비교하여 고압증발모델의 예측능력을 체계적으로 검증하였고 로켓엔진의 고온 고압 연소실조건에서 LOX 액적의 증발 특성을 상세하게 논의하였다.
SU-8 is an epoxy-type photoresist widely used for the fabrication of high-aspect-ratio (HAR) micro-structures in micro-electro-mechanical systems (MEMS). To fabricate highly integrated structures, chemical mechanical polishing (CMP) has emerged as the preferred manufacturing process for planarizing the MEMS structure. In SU-8 CMP, an oxidizer decomposes organic impurities and particles in the CMP slurry remove the chemically reacted surface of SU-8. To fabricate HAR microstructures using the CMP process, the adhesion between SU-8 and substrate material is important to avoid the delamination of the SU-8 film caused by the mechanical-dominant material removal characteristic. In this study, the friction force during the CMP process is measured with a CMP monitoring system to detect the delamination phenomenon and investigate the delamination of the SU-8 film from the silicon substrate under various pressure conditions. The increase in applied pressure causes an increase in the frictional force and wafer-edge stress concentration. The frictional force measurement shows that the friction force changes according to the delamination phenomenon of the SU-8 film, and that it is possible to monitor the delamination phenomenon during the SU-8 CMP process. The delamination at a high applied pressure is explained by the effect of stress distribution and pad deformation. Consequently, it is necessary to control the pressure of polishing, which can avoid the delamination in SU-8 CMP.
3-way ball valves have been mostly used for high temperature/high pressure valves using in petrochemical carriers and oil tankers, which requires high quality products with confidentiality and durability. As a larger disaster may be generated by leakage of oil or gas from valves, thus the present research applied a numerical analysis method with thermal-structural coupled field analysis and the performance test. The Max stress by parts was confirmed through thermal-structural coupled field analysis and develop the 3-way ball valve design, which is safe on operating condition. And its performance was verified by carrying out pressure test, leakage test and durability test for the manufactured 3-way ball valves with satisfying it's regulations.
본 연구에서는 순환형 감압건조 및 초고압 추출공정을 이용하여 전통적인 기존 추출공정과 비교함으로써 복합 추출공정에 의한 감귤의 항산화 활성 증진을 확인하고자 연구를 수행하였다. 건조공정을 거친 후 초고압 처리 추출물의 수율이 20.41~28.19%로 높은 추출 수율을 나타내어 건조전 열수추출공정(17.21%)과 비교하여 약 1.6배의 높은 추출수율을 나타내었다. 순환형 감압건조와 초고압 공정을 병행하였을 시 총 폴리페놀과 플라보노이드 함량이 순환형 감압건조공정을 거치지 않은 것보다 다소 증가되는 것으로 보아 활성성분의 용출이 증진된 것으로 보인다. DPPH radical 소거 활성은 15분 초고압 처리한 추출물이 48.21%로 높은 활성을 나타내었다. 전처리 공정에 따른 감귤 시료의 주사전자현미경(SEM)을 통해 순환형 감압건조 후 초고압 추출이 감귤 내부 조직까지 영향을 주어 세포벽이 깨어지면서 조직 및 구조가 변화한 것으로 판단되며, 이를 통해 수율 및 활성 성분의 용출 증가가 이루어 진 것으로 사료된다. 따라서, 감귤의 건조 및 초고압 추출공정의 최적화를 통한 활성물질의 추출 극대화를 통해 추출수율을 향상시킬 것으로 판단된다.
Chemical mechanical polishing(CMP) process is widely used for global planarization of inter-metal dielectric (IMD) layer and inter-layer dielectric (ILD) for deep sub-micron technology. However, as the IMD and ILD layer gets thinner, defects such as micro-scratch lead to severe circuit failure, which affect yield. In this paper, for the improvement of CMP Process, deionized water (DIW) pressure, purified $N_2$ (P$N_2$) gas, slurry filter and high spray bar were installed. Our experimental results show that DIW pressure and P$N_2$ gas factors were not related with removal rate, but edge hot-spot of patterned wafer had a serious relation. Also, the filter installation in CMP polisher could reduce defects after CMP process, it is shown that slurry filter plays an important role in determining consumable pad lifetime. The filter lifetime is dominated by the defects. However, the slurry filter is impossible to prevent defect-causing particles perfectly. Thus, we suggest that it is necessary to install the high spray bar of de-ionized water (DIW) with high pressure, to overcome the weak-point of slurry filter. Finally, we could expect the improvements of throughput, yield and stability in the ULSI fabrication process.
한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part2
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pp.794-795
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2006
Metal powder for dust core application was developed. The powder can be produced improved high-pressure water atomization process. The process has produced powder of spherical shape and lower coercivity. The dust core obta ined shows lower core loss.
Molybdenum (Mo) is one of the representative refractory metals for its high melting point, superior thermal conductivity, low density and low thermal expansion coefficient. However, due to its high melting point, it is necessary for Mo products to be fabricated at a high sintering temperature of over $1800-2000^{\circ}C$. Because this process is expensive and inefficient, studies to improve sintering property of Mo have been researched actively. In this study, we fabricated Mo nanopowders to lower the sintering temperature of Mo and tried to consolidate the Mo nanopowders through ultra high pressure compaction. We first fabricated Mo nanopowders by a mechano-chemical process to increase the specific surface area of the Mo powders. This process includes a high-energy ball milling step and a reduction step in a hydrogen atmosphere. We compacted the Mo nanopowders with ultra high pressure by magnetic pulsed compaction (MPC) before pressureless sintering. Through this process, we were able to improve the green density of the Mo compacts by more than 20 % and fabricate a high density Mo sintered body with more than a 95 % sintered density at relatively low temperature.
The effects of change in injection pressure on spray structure have been investigated in high temperature and pressure field. To analyze the structure of evaporative diesel spray is important in speculation of mixture formation process. Also emissions of diesel engines can be controlled by the analyzed results. Therefore, this study examines the evaporating spray structure by using a constant volume vessel. The injection pressure is selected as the experimental parameter, is changed from 72 MPa to 112 MPa with a high pressure injection system(ECD-U2). The PIV(Particle Image Velocimetry) technique was used to capture flow variation of the evaporative diesel spray. A study on the mixture formation process of diesel spray was executed by the results of flow analysis in this study. Consequentially the large-scale vortex flow could be found in downstream spray and the formed vortex governs the mixture formation process in diesel spray.
This study analyzed the deformation behavior of the high density polyethylene (HDPE) bottle in the blow molding process. We carried out finite element (FE) simulations using ANSYS Polyflow. First, the axisymmetric model was executed by 2D FE-simulation to determine the change of bottle wall thickness during the molding process. Then, the square model of the bottle was executed by 3D FE-simulation to gauge the effects of gas pressure on the change of wall thickness. The experiment results showed that the FE-simulations were able to upgrade the quality of the HDPE bottle in the blow molding process. These results can be used as guidance in adjusting gas pressure, as well as be extended for further study to determine process parameters such as temperatures, forming velocity, parison shape, etc.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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