Plasma Assisted ALD 장비 계발과 PAALD법으로 증착 된 TaN 박막의 전기적 특성 (Development of Plasma Assisted ALD equipment and electrical characteristic of TaN thin film deposited PAALD method)
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- 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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- 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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- pp.139-145
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- 2005