Nanotribological Characterization of Annealed Fluorocarbon Thin Film in N2 and Vacuum (질소와 진공 분위기에서 에이징 영향에 따른 불화유기박막의 나노트라이볼러지 특성 평가)
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- Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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- 2002.05a
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- pp.193-197
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- 2002