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Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구 (A Study on the Atomic-Layer Deposition Mechanism and Characteristics of TiN Films Deposited by Cycle-CVD)

  • 민재식;손영웅;강원구;강상원
    • 한국재료학회지
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    • 제8권5호
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    • pp.377-382
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    • 1998
  • Ti[N ($C_{2}$$H_{5}$ $CH_{3}$)$_{2}$]$_{4}$ [tetrakis(ethylmethylammino)titanium.TEMAT]와 $NH_{3}$를 반응가스로 하여 각각 펄스(pulse) 형태로 시분할 주입되는 새로운 박막 증착방법(이하 Cycle-CVD라 함)을 이용하여 TiN박막이 $SiO_2$.기판위에 증착되었다.Cycle-CVD에서 반을로 내로 주입되는 반응가스와 Ar가스는 TEAM 펄스, Ar 펄스,$NH_{3}$펄스, Ar 펄스의 순서로 시분할주입되었고, 이렇게 차례대로 주입되는 4개의 펄스를 하나의 cycle로 규정하고, Cycle-CVD는 이러한 cycle이 연속하여 반복적으로 주입되도록 설계되었다. 기판온도가 $170^{\circ}C$-$210^{\circ}C$에서는 atomic layer deposition(ALD)특성을 보였고, $200^{\circ}C$에서 충분한 반응가스의 펄스시간 후에 cycle당 증착된 박막의 두께가 0.6nm/cycle로 포화되는 양상을 보여주었는데, 이는 cycle당 증착된 TiN 박막의 두께가 1.6 monolayer(ML)/cycle에 해당된다. 이와 같이 반등가스의 흡착을 이용ㅇ하여 TiN이 제한된 표면반응만에 의하여 ALD 기구에 의해 증착이 이루어지므로 TiN 박막의 두께는 단지 cycle 횟수만으로 정확하게 제어할 수 있었고, 우수한 step coverage 특성을 얻었다. 또한 반응가스간의 기상반응을 방지함으로써 입자의 발생을 억제할 수 있었고, 상대적으로 낮은 온도임에도 불구하고 4at% 이하의 낮은 탄소함량을 갖는 양호한 특성을 보여주었다.

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석탄 화력발전소의 비산재를 이용한 건식 CO2 흡수제 제조 및 특성 연구 (CO2 Capture Performance of Dry Sorbents Manufactured by Coal Fly Ash)

  • 이제희;위정호
    • 대한환경공학회지
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    • 제35권8호
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    • pp.547-553
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    • 2013
  • 본 논문에서는 석탄화력발전소에서 배출되는 비산재의 $CO_2$ 건식흡수제의 첨가제 및 담체로써의 효과를 검토하였다. 이를 위해 필요에 따라 비산재와 $CO_2$ 포집 유효 성분인 NaOH, CaO 및 물을 조합하여 여러 종류의 흡수제를 제조한 후, $CO_2$ 흡수 실험을 포함한 흡수제의 특성 분석을 수행하였다. 그 결과, 조건에 따라 흡수율과 흡수 온도, 속도 및 탈기 현상 등, 비산재 투입에 의한 다양한 효과를 확인할 수 있었고 NaOH, CaO 및 비산재와 물이 첨가되어 제조된 흡수제에서 비산재 효과가 가장 크게 나타났다. $550^{\circ}C$에서 본 흡수제의 $CO_2$ 흡수율은 비산재가 첨가되지 않은 흡수제에 비해 35.6% 높았고 흡수 종료 후, $CO_2$ 탈기 현상도 관측되었다. 이는 비산재 첨가 때문으로 흡수제 내, 유효 성분들이 비산재 주변으로 분산도가 높고 상대적으로 미세한 입자로 존재하였다. 또한 비산재의 담체 역할이 확인되며 NaOH로 인해 흡수제 내 포졸란 반응이 억제되기 때문이다. 탈기 현상도 비산재 첨가로 인한 현상으로 NaOH, CaO가 비산재와 물리, 화학적 결합을 형성하여 Na와 Ca에 포집되어 있는 $CO_2$의 결합력이 약화되기 때문으로 판단된다.

농업경영의 가치사슬 구조에 근거한 지속가능성 연구 (A Sustainability Study Based on Farm Management Value-Chain Structure)

  • 정훈희;김사균;허승욱
    • 농촌지도와개발
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    • 제16권2호
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    • pp.363-384
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    • 2009
  • This study aimed at finding directions for Korean agriculture to establish a new paradigm of sustainable development. Various problematic issues and concerns in the environment necessitate the transformation of Korea's development paradigm from unconditional growth to "Green Growth" through new policies on green value and review of various advanced researches. In this research, the environment-friendly agriculture's problems, particularly in agribusiness were analyzed. Drawing from Michael Porter's Value Chain Analysis, this research developed a value chain model in agriculture that reflects the environment and the present situations. Future directions in the agriculture sector were also discussed. Korea realized food self-sufficiency through the green revolution in the early 1970s. However, a lot of problems have also occurred, including ground and water pollution and the destruction of ecosystems as a result of the overuse of pesticides and chemical fertilizers. In the late 1970s, the growing interest on environment-friendly agriculture led to the introduction of sustainable methods and techniques. Unfortunately however, these were not innovative enough to foster environment-friendly agriculture. Thereafter, the consumers' distrust on agricultural products has worsened and concerns about health have increased. In view of this, the Ministry of Food, Agriculture, Forestry and Fisheries introduced in December 1993 a system of Quality-Certified Products for organic and pesticide-free agri-foods. Although a fundamental step toward the sustainability of the global environment, this system was not enough to promote environment-friendly agriculture. In 2008, Korea's vision is for "Low Carbon Green Growth" to move forward while also coping with climate change. But primary sectors in a typical value chain do not consider the green value of their operations nor look at production from an environmental perspective. In order to attain sustainable development, there is a need to use less resources and energy than what is presently used in Korean agricultural and value production. The typical value chain should be transformed into a "closed-loop" such that the beginning and the end of the chain are linked together. Such structure allows the flow of materials, products and even wastes among participants in the chain in a sustained cycle. This may result in a zero-waste sustainable production without destroying the ecosystem.

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Toluene diisocyanate(TDI) 합성을 위한 Pd/SiO2 촉매상 직접 카보닐화반응에서의 피리딘 첨가효과 (Effect of Pyridine on Toluene Diisocyanate (TDI) Synthesis Using Direct Carbonylation over Pd/SiO2)

  • 서명기;김성민;이대원;이관영
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제50권3호
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    • pp.417-420
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    • 2012
  • 본 연구는 Pd/$SiO_2$ 촉매를 이용하여 2,4-dinitrotoluene(2,4-DNT)을 2,4-toluene diisocyanate(2,4-TDI)로 환원시키는 반응에 관한 연구이다. 반응 조건은 $200^{\circ}C$에서, 일산화탄소를 주입하여 100 bar에서 실험을 진행하였으며, 피리딘이 TDI의 수율에 미치는 영향에 대해 연구 하였다. 반응 실험 결과 피리딘을 넣지 않은 경우 TDI는 생성되지 않았고, 피리딘을 첨가하면 TDI가 생성되었다. 직접 카보닐화를 이용한 균질계상에서의 TDI 합성 연구 결과에 의하면 팔라듐과 피리딘의 착이온이 형성되어 촉매작용을 하는 것으로 알려져 있다. 피리딘을 첨가하였을 경우 TDI가 합성되는 것이 팔라듐 용출에 의한 것인지 확인하기 위해 ICP-AES 분석을 시행하였다. 20 vol% 피리딘을 첨가한 반응에서 반응 후 촉매의 팔라듐 함량이 반응 전에 비해 52% 감소하였다. 이러한 결과는 피리딘을 첨가한 반응실험에서 용출된 팔라듐이 피리딘과 착이온을 형성하는 과정을 거쳐 TDI가 생성되는 것으로 설명될 수 있다.

쪽 염료 니람으로부터 Comamonas sp.와 Microbacterium sp.의 분리 및 특성분석 (Isolation and Characterization of Comamonase sp. and Microbacterium sp. from Deep Blue Sediment Dye of Polygoum tinctoria, Niram)

  • 장성은;이남근;이유리;최미성;정용섭
    • KSBB Journal
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    • 제28권1호
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    • pp.60-64
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    • 2013
  • Two strains were isolated from the traditional Deep Blue Sediment Dye of Polygoum tinctoria, Niram, and temporarily named Niram A and Niram B, respectively. The phylogenetic analysis revealed that strain Niram A and B were closely related to the members of the genus Comamonas and Microbacterium, respectively. Strain Niram A exhibited the highest 16S rRNA gene sequence similarity to C. aquatica LMG $2370^T$ (98.06%). Strain Niram B showed 100% homology with M. oxydans DSM 20578T and M. maritypicum DSM $12512^T$. The growth of the strain Niram A and B was not inhibited in Niram medium containing high calcium concentration without free sugar as carbon source. The reducing Niram is greenish. Therefore, the reducing ability on the Niram of the strains Niram A and B were determined with the color difference of the $a^*$ values of Niram fermented-fluids. The $a^*$ value indicates the level of redness (positive value) or greenness (negative value). The green color is increasing towards the negative value. In all samples fermented for 10 days, the $a^*$ values among samples were no significant difference. However, samples fermented for 15 days have an appreciable change. After fermentation for 15 days, the control Niram sample had $-3.96{\pm}0.02$ of the $a^*$ value. On the other hand, the Niram samples fermented with the strain Niram A and B showed $-4.20{\pm}0.02$ of the $a^*$ value and $-7.86{\pm}0.03$ of the $a^*$ value, respectively. In the reducing ability on the Niram, the strain Niram B was significantly better than the strain Niram A.

폴리디메틸실록산-폴리비닐피롤리돈 빗살 공중합체 합성, 모폴로지 및 투과성질 (Synthesis, Morphology and Permeation Properties of poly(dimethyl siloxane)-poly(1-vinyl-2-pyrrolidinone) Comb Copolymer)

  • 라즈쿠마 파텔;박정태;박민수;김종학
    • 멤브레인
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    • 제27권6호
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    • pp.499-505
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    • 2017
  • 인위적인 온실 가스 배출로 인한 자연 재해가 증가하고 있으며 이로 인해 기체 분리막의 개발이 촉진되게 되었다. 이산화탄소($CO_2$)는 지구 온난화의 주요 원인이다. 고유의 유연성을 가지는 유기 고분자 막은 기체 분리막의 좋은 후보군 중 하나이며, 이 중 이산화탄소에 대한 높은 확산도를 가지고 있는 폴리디메틸실록산(PDMS)은 유망한 소재이다. 또한, 폴리비닐피롤리돈(PVP)은 이산화탄소에 대한 높은 용해도를 가지고 있는 고분자로 기체 분리막에 활용될 수 있다. 따라서 본 연구에서는 용이한 조건에서 간단한 단일 반응 자유 라디칼 중합에 의하여 다양한 조성의 폴리디메틸실록산-폴리비닐피롤리돈(PDMS-PVP) 빗살 공중합체를 합성하였다. PDMS와 PVP로 합성된 공중합체는 FTIR을 통해 분석하였다. 고분자의 형태학 및 열적 특성은 TEM, TGA 및 DSC를 통하여 분석하였다. PDMS-PVP 빗살 공중합체를 다공성 폴리설폰 지지체 위에 코팅하여 복합막을 제조했으며, 제조한 복합막의 기체 투과 특성을 분석하였다. 그 결과 이산화탄소의 투과도 및 이산화탄소/질소 선택도가 각각 140.6 GPU 및 12.0에 도달하였다.

도파민 세포에서 Paraquat에 의한 헴산화효소-1의 유도 (Paraquat Induced Heme Oxygenase-1 in Dopaminergic Cells)

  • 전홍성
    • KSBB Journal
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    • 제20권1호
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    • pp.21-25
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    • 2005
  • 흔하게 사용되어온 제초제인 paraquat는 파킨슨병의 원인이 될 수 있는 유력한 위험 요소이다. 헴산화효소-1(HO-1)은 산화적 스트레스와 소포체 스트레스의 marker인데, 여러 가지 자극에 의해 heme을 분해하여 biliverdin, 일산화탄소, 철 성분으로 전환시킨다 본 연구에서는 뇌의 흑색질 유래의 도파민 세포주 SN4741에서 paraquat가 시간별, 농도별로 HO-1을 활성화시키는 기작을 조사하였다. HO-1이 Paraquat에 의해 활성화되는 것은 주로 유전자 전사 수준에서 조절되었다. HO-1 유전자의 promoter와 5' enhancer인 El, E2를 결실시킨 실험에서, E2 enhancer가 도파민 세포에서 paraquat에 의한 HO-1 유전자 발현을 유도하는 핵심 부위로 판명되었다 E2 enhancer 부위를 돌연변이 시킨 실험 결과는 전사인자 활성 단백질-1 (AP-1) 결합부위를 통해 HO-1 발현이 유도됨을 밝히게 되었다. 또한, 도파민 세포에서 HO-1 유전자 발현의 조절과 신호전달 과정의 관계를 조사하기 위해 MAP kinase들의 특이적 저해제를 처리하고 paraquat로 자극을 준 결과, JNK 저해제인 SP600125가 가장 현저하게 paraquat에 의한 HO-1 발현을 억제하였다. 결론적으로, 도파민 세포에서 paraquat가 HO-1을 유도하는 데는 E2 enhancer가 중요하게 작용하고, AP-1과 JNK 경로를 통해 HO-1 발현이 조절된다는 사실을 처음으로 밝히게 되었다.

상수원수의 고도정수처리 공정 파일롯 운전 연구 (Operation of Advanced Water Treatment Processes for Downstream River Source Water)

  • 왕창근;오상은
    • 대한환경공학회지
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    • 제34권1호
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    • pp.1-6
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    • 2012
  • 상수원인 K강 하류부에서의 COD (4~10 mg/L)는 매우 높으며 암모니아성질소의 농도(겨울철 3.5 mg/L) 또한 매우 높다. 암모나아 자체는 이 농도 범위에서 인체에 독성을 주지는 않지만 우리나라 먹는물 기준인 0.5 mg/L로 맞추어져야 한다. 본 연구에서는 K강 상수원을 고도처리 하고자 기존의 일반적인 상수처리공정을 수정하여 파일롯플랜트를 제작하여 운전하였다. 암모니아를 제거하고 염소소독 부산물 일부 제거를 위하여 파괴점 염소주입 및 분말활성탄 투여 공정을 응집조 전 공정에 넣었다. 또한 모래여과 공정 다음에 입상활성탄공정을 넣어 미량 잔류유기물을 제거하고자 하였다. 파일롯플렌트는 36톤/일 규모이며 1년 동안 운전이 되었다. 본 수정된 공정을 통하여 암모니아를 제거하고 여러 유기물질(DOC, MBAS, UV-254 nm absorbance 등)들을 제거할 수 있었다. 유입 DOC 농도는 유입기간 동안 3~6 mg/L 계속 높았으며 1 mg/L로 낮추기 위해서는 GAC 필터의 2 m 높이는 낮은 것으로 판단되었다. 파괴점 염소주입에서 투입 염소농도가 잘 주입이 되었을 때 암모니아의 제거는 98%이상이었으며 낮은 유리 잔류염소 농도와 분말활성탄 투여로 트리할로메탄(THM)은 낮게 검출되었다.

강우 유출수 처리를 위한 하이브리드 인공습지의 영양물질 저감 인자 분석 (Analysis of the Factors Affecting Nutrients Removal in Hybrid Constructed Wetland Treating Stormwater Runoff)

  • ;;최혜선;홍정선;김이형
    • 한국습지학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.54-62
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    • 2018
  • 다양한 토지이용에서 발생된 영양염류는 수계 유입시 부영양화를 유발하며, 녹조발생의 원인물질이 되기에 비점오염원으로부터 영양염류를 저감하기 위한 LID 기법의 적용이 필요하다. 본 연구는 영양물질의 저감효율을 높이기 위한 하이브리드 인공습지(HCW)의 설계인자를 도출하고자 수행되었다. 하이브리드 인공습지는 공주대학교 천안캠퍼스내 100% 불투수층으로 이루어진 주차장 및 도로의 강우유출수 처리를 위하여 2010년에 조성되었으며, 현재까지 모니터링이 수행 중이다. 하이브리드 인공습지의 조성 이후 현재까지 수행 중인 모니터링 결과를 활용하여 산정한 TN의 평균 제거효율은 74%였으며, TP의 평균 제거효율은 72%로 나타났다. 이러한 TN 및 TP 제거효율은 일반적인 인공습지에 비하여 높은 제거효율이며 자유수면 습지 및 지표하 흐름습지에서의 활성화된 물리적 및 생태학적 기작에 기인한다. 하이브리드 인공습지의 효율적 영양물질 저감을 위한 중요설계인자는 유역면적 대비 시설면적의 비(SA/CA), 강우유출량, 강우강도 등으로 나타났으며, 영양물질 제거를 위한 최적 유입수의 C/N 비는 5:1에서 10.3:1로 산정되었다. 본 연구 결과는 도시지역의 강우유출수 내 영양염류를 고효율로 처리하고자 하는 하이브리드 인공습지의 효율적 설계에 사용 가능하다.

30kW급 CVCF 인버터 기반 Micro-grid의 구현 및 과도상태 운용특성에 관한 연구 (A Study on Transient Operation Characteristics of 30kW Scale CVCF Inverter based Micro-grid)

  • 이후동;최성식;페레이라 마리토;박지현;노대석
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제20권10호
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    • pp.18-25
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    • 2019
  • 최근, 도서지역의 신재생에너지전원 및 ESS의 도입이 확대되면서, 이산화탄소 배출의 저감을 위하여, 디젤발전기 대신 CVCF 인버터가 주 전원인 Micro-grid를 안정적으로 운용하는 방안들이 연구되고 있다. 그러나, CVCF 인버터 기반의 Micro-grid에서는 전체 부하보다 신재생에너지전원의 출력이 큰 경우에 에너지 Sinking(과도상태) 현상이 발생하게 된다. 이 때, CVCF 인버터용 배터리의 SOC 상태에 따라, 배터리 전압이 급격히 상승하여, 인버터의 과전압 보호동작에 의해 CVCF 인버터가 탈락되어 Micro-grid 전체 계통에 정전을 유발할 수 있다. 따라서, 본 논문에서는 CVCF 인버터를 기반으로 한 도서지역용 Micro-grid의 안정적인 운용을 위하여, 에너지 Sinking이 발생한 경우의 운용특성을 분석하고, CVCF 인버터가 에너지 Sinking 시에 탈락되는 것을 사전에 방지할 수 있는 Micro-grid의 과도상태 운용전략을 제안한다. 또한, CVCF 인버터, 태양광전원, 수용가부하로 구성된 30kW급 Micro-grid 시험장치를 구현하여, 실 계통에서의 에너지 Sinking에 의한 CVCF 인버터 기반 Micro-grid의 과도상태 시 운용특성을 제시한다. 한편, 30kW급 시험장치와 제안한 운용전략을 바탕으로 Micro-grid의 과도상태 운용특성을 분석한 결과, CVCF 인버터용 배터리의 전압과 SOC에 따라 인버터가 탈락하는 과도상태를 사전에 방지할 수 있어, 본 논문의 유용성을 확인하였다.