• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제20권4호
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• pp.72-77
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• 2021

The radial distribution of etch rate was analyzed using the ion energy flux model in VHF-CCP. In order to exclude the effects of polymer passivation and F radical depletion on the etching. The experiment was performed in Ar/SF6 plasma with an SF6 molar ratio of 80% of operating pressure 10 and 20 mTorr. The radial distribution of Ar/SF6 plasma was diagnosed with RF compensated Langmuir Probe(cLP) and Retarding Field Energy Analyzer(RFEA). The radial distribution of ion energy flux was calculated with Bohm current times the sheath voltage which is determined by the potential difference between the plasma space potential (measured by cLP) and the surface floating potential (by RFEA). To analyze the etch rate uniformity, Si coupon samples were etched under the same condition. The ion energy flux and the etch rate show a close correlation of more than 0.94 of R² value. It means that the etch rate distribution is explained by the ion energy flux.

• 한국원자력학회:학술대회논문집
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• 한국원자력학회 2001년도 춘계학술발표회요약집
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• pp.150.1-150
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• 2001

• 조명전기설비학회논문지
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• 제15권1호
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• pp.7-12
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• 2001

기구 배광이 전체적인 조명환경에 미치는 영향은 크며, 기구배광은 반사판, 프리즘 설계 등으로 구현된다. 램프의 물리적 크기는 기구설계에 큰 영향을 미치기 때문에 램프에 의한 배광의 변화와 램프로 흡수되는 빛을 고려하여 기구를 설계하여야 한다. 기존의 반사파 설계 알고리즘의 경우 램프의 물리적인 크기를 고려하지 않았으며, 기구배광의 출력값도 몇몇의 경우에서는 오차가 발생하였다. 이에 본 논문에서는 램프의 크기를 고려한 반사판설계 알고리즘을 개발, 구현하여 이전의 기구설계 알고리즘이 가지고 있던 오차를 줄였으며 좋은 성과를 얻었다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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• pp.1171-1174
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• 2008

We studied the properties of vapor flux distributions of nozzle shaped thermal evaporation sources and the factors, which can change the flux distributions such as nozzle structure. We used a simulation and experiment methods for this study. By using the results of our study, we improved the Circular Nozzle Source, which can make uniform thin films without substrate rotation, into more efficient source.

• 대한전기학회논문지
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• 제40권7호
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• pp.643-655
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• 1991

The analysis method on air gap permeance distribution, air gap MMF distribution, air gap flux density distribution, cogging torque and BEMF about the skewed stator slots or the skewed rotor magnet segments for BLDCM, respectively, is studied as a function of the skew ratio. The proposed method describes the differences between the skewed stator slots and teh skewed rotor magnet segments for the air gap permeance distribution, air gap MMF distribution and air gap flux density distribution. The reliability of the method is also confirmed by the waveform of the cogging torque and BEMF through experiments. And the result shows that the effects on the cogging torque and BEMF due to the skewed stator slots or the skewed rotor magnet segments are the same. In case of the skewed stator slots, the effects of the variations of the winding resistance and inductance are also studied.

• 전자공학회논문지
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• 제52권3호
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• pp.105-115
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• 2015

반도체 식각 전산모사에서는 플라즈마 입자를 생성하는 소스의 모델링이 필요하다. 본 논문에서는 플라즈마 식각 공정에서 사용하는 소스를 확률분포함수로 모델링하고, 몬테칼를로 방법을 이용하여 특정 프로프일의 플럭스를 계산하는 실험을 하였다. 소스의 모델링 파라미터로 소스와 셀 사이의 거리, 소스에서 방사하는 입자수가 있고, 플럭스 계산에 미치는 추가적인 파라미터로 프로파일 상의 셀의 수(셀의 면적)이 있다. 방사하는 입자 분포는 사용하는 소스의 물성에 따라 가우시안 분포와 코사인 분포로 모델링 할 수 있는데, 본 논문은 이들 각각에 대하여 파라미터를 바꿔가며 전산모사를 한 결과를 보인다. 오차율은 가우지안(Incident Flux)과 코사인분포(Incident Neutral Flux)에서 모두 입자 수의 증가에 따라 상당부분 감소하였으나 처리시간은 이보다 더 증가하였다. 셀수와 거리의 증가는 오차율을 약간 증가시켰고 처리시간도 증가시켰다. 본 논문의 실험 결과를 통해 처리 시간을 고려하여 적합한 플럭스의 계산을 유추할 수 있다.

• 한국자기학회지
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• 제20권2호
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• pp.52-60
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• 2010

지하에 존재하는 파쇄대와 빈 공간 및 터널이 지상에서의 자속밀도분포에 미치는 영향과 심도에 따른 자기이상의 변화를 조사하였다. 파쇄대와 빈 공간 및 지하터널이 있는 지표상에서의 자속밀도분포를 플럭스게이트형 마그네토미터를 사용하여 조사하였다. 지하에 존재하는 파쇄대는 지표면으로부터 높이 0.15 m에서의 자력분포에 (+)피크와 (-)피크로 이루어진 피크 쌍(peak pairs) 형태의 자기이상을 나타내는데, 이러한 자기이상은 지상으로부터 1.15 m의 높이에서는 그 강도가 현저하게 감소한다. 지하의 빈공간에 의하여 자속밀도가 감소하는 자기이상이 발생하며, 지하공간의 심도가 깊을수록 자속밀도의 감소정도가 줄어든다. 이러한 자속밀도 감소 현상을 이용하면 지하에 존재하는 터널과 싱크홀과 같은 빈 공간의 존재와 규모를 탐사할 수 있을 것으로 보인다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제12권3호
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• pp.171-179
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• 1980

중성자 및 감마선에 대한 선량율 환산인자(flux-to-dose-rate conversion factors)를 최대흡수선량 개념을 근거로 하여 계산하였다. 중성자 및 감자선에 대한 선량율 군산인자는 에너지 범위가 각각 2.5$\times$$10^{-8}$ 20MeV 및 0.01-15MeV에 대하여 계산하였다. 이제까지 선량율 환산인자는 단일에너지에 대한 값이 였었는데 본 연구에서는 유사인체조직 (phantom)내에서 방사선의 에너지 분포가 직선적이 아니라고 가정하여 계산되었다. 특히 DLC-23, DLC-27, DLC-31 등 핵정수 자료의 각 근에 적합한 선량율 환산인자를 결정하였다는 점이 특색이다. 결과적으로 ANSI N666에 있는 값과 본 연구에서 계산된 값이 잘 일치된다는 것을 확인하였고, 본 결과는 어떤 방사선장에서도 중성자나 감마선 선량율 분포를 계산하는데 이용될 수 있고, 방사선 차폐해석, 방사선방어, radiation dosimetry 등에 필요한 값이 될 것이다.

• 한국환경복원기술학회지
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• 제21권6호
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• pp.1-13
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• 2018

Mapping radiation heat flux of urban area is essential for urban design and landscape planning. Because controlling urban geometry and generating green space are important urban design strategies for reducing urban heat, urban planner and designer need to recognize the micro urban heat distribution for adequate urban planning. This study suggests a new methodology for mapping urban radiation heat flux in a micro scale considering buildings and trees' shade. For doing that, firstly, we calculate net radiation for each urban surfaces (building, road (not shaded, building shaded, tree shaded), ground (not shaded, building shaded, tree shaded), tree (not shaded, building shaded)). Then, by multiplying the area ratio of surfaces to the net radiation, we can obtain the radiation heat flux in micro-scale. The estimated net radiation results were found to be robust with a $R^2$ of 90%, which indicates a strong explanatory power of the model. The radiation heat flux map for 12h $17^{th}$ August explains that areas under the building and tree have lower net radiation heat flux, indicating that shading is a good strategy for reducing incident radiation. This method can be used for developing thermal friendly urban plan.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제6권1호
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• pp.8-24
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• 1981

This paper presents flux-to-dose-rate conversion factors for neutrons and gamma rays based on the American National Standard Institute(ANSI) N666. These data are used to calculated the dose rate distribution of neutron and gamma ray in radiation fields. Neutron flux-to-dose-rate conversion factors for energies from $2.5{\times}10^{-8}$ to 20 MeV are presented; the corresponding energy range for gamma rays is 0.01 to 15 MeV. Flux-to-dose-rate conversion factors were calculated, under the assumption that radiation energy distribution has nonlinearity in the phantom, have different meaning from those values obtained by monoetiergetic radiation. Especially, these values were determined with the cross section library. The flux-to-dose-rate conversion factors obtained in this work were in a good agreement to the values presented by ANSI. Those data will be a useful for the radiation shielding analysis and the radiation dosimetry in the case of continuous energy distributions.