Showerhead is used as a main part in the semiconductor equipment. The face plate flatness should remain constant and the cleaning performance must be gained to keep the uniformity level of etching or deposition in chemical vapor deposition process. High operating temperature or long period of thermal loading could lead the showerhead to be deformed thermally. In some case, the thermal deformation appears very sensitive to showerhead performance. This paper describes the methods for robust design using computational fluid dynamics. To reveal the influence of the post distribution on flow pattern in the showerhead cavity, numerical simulation was performed for several post distributions. The flow structure appears similar to an impinging flow near a centered baffle in showerhead cavity. We took the structure as an index to estimate diffusion path. A robust design to reduce the thermal deformation of showerhead can be achieved using post number increase without ill effect on flow. To prevent the showerhead deformation by heat loading, its face plate thickness was determined additionally using numerical simulation. The face plate has thousands of impinging holes. The design key is to keep pressure drop distribution on the showerhead face plate with the holes. This study reads the methodology to apply to a showerhead hole design. A Hagen-Poiseuille equation gives the pressure drop in a fluid flowing through such hole. The assumptions of the equation are the fluid is viscous-incompressible and the flow is laminar fully developed in a through hole. An equation can be expressed with radius R and length L related to the volume flow rate Q from the Hagen-Poiseuille equation, $Q={\pi}R4{\Delta}p/8{\mu}L$, where ${\mu}$ is the viscosity and ${\Delta}p$ is the pressure drop. In present case, each hole has steps at both the inlet and the outlet, and the fluid appears compressible. So we simplify the equation as $Q=C(R,L){\Delta}p$. A series of performance curves for a through hole with geometric parameters were obtained using two-dimensional numerical simulation. We obtained a relation between the hole diameter and hole length from the test cases to determine hole diameter at fixed hole length. A numerical simulation has been performed as a tool for enhancing showerhead robust design from flow structure. Geometric parameters for the design were post distribution and face plate thickness. The reinforced showerhead has been installed and its effective deposition profile is being shown in factory.
족자 고리는 끈이나 유소를 고정시켜 걸 수 있도록 하는 장황 부속품으로 형태가 다양하며 여러 금속재를 사용하여 제작되었다. 현재 전통 형식의 고리는 대부분 개장으로 인해 유실되었으며, 일본식 고리를 사용하고 있다. 따라서 본 연구에서는 국립중앙박물관에 소장된 전통 족자 19점을 대상으로 고리의 형태와 제작기법, 성분을 조사하여 옛 형태를 복원해 보고자 하였다. 의궤 내용에서 고리는 원환(圓環), 국화동(菊花童), 배목(排目) 등 고유의 명칭으로 기록되어 있다. 휴대용 엑스선 형광분석기(portable X-ray fluorescence, Artax, Rontec)로 성분을 분석한 결과, 전통 형식의 고리는 황동, 철, 은-구리합금 등 다양한 금속재로 확인되었다. 구리와 아연이 주성분인 황동은 17점 족자 고리에 사용되었다. 전 윤시달 초상(신2339)의 배목에서는 철을 사용하였으며, 주석-납 합금으로 도금하였다. 이서구 초상(신1065)에서는 고리 전체가 은-구리합금으로 제작되었음을 확인하였다. 광학현미경(Leica, M205A)으로 제작 방법을 조사한 결과 원환은 금속봉을 절단한 뒤 둥글게 휘어 만든 유형과 주조로 제작된 유형으로 확인되었다. 배목은 주조한 합금으로 봉재나 판재를 만들고 다시 단조과정을 거쳐 제작하였고, 배목장식은 금속판재를 잘라 형태를 만든 후 축조와 타출기법 등으로 무늬를 새겨 장식하였다.
일상생활에서의 시각탐색의 대상이 되는 표적 사물의 출현 가능성 즉 출현 확률은 매우 낮은 경우부터 높은 경우까지 다양하다. 그럼에도 불구하고, 실험실 상황의 시각 탐색 연구에서 표적의 출현 확률은 대개 50%의 확률로 고정되는 경우가 대부분이다. 본 연구에서는 서로 다른 표적 출현확률의 영향 하에 시각탐색 과정에서의 정보처리 특성을 조사하였다. 지각적으로 단순한 도형자극으로 구성된 시각탐색과제가 실시되었으며, 탐색 표적이 제시되는 빈도를 저빈도(20%)와 중립빈도(50%), 또는 고빈도(80%)로 달리함으로써 표적 출현확률이 탐색 정보처리 책략에 미치는 영향을 탐색 정확도, 신호탐지 측정치 그리고 반응시간 차원에서 조사하였다. 실험 결과, 표적이 드물게 출현할수록 실수율이 증가하고 헛경보율이 감소했으며 반대로 고빈도 표적탐색에서는 역전된 패턴이 관찰되었다. 신호탐지 분석 결과, 이러한 결과는 민감도가 아닌 탐색 반응기준의 이동에 의한 것으로 확인되었다. 또한 반응시간 차원에서, 표적 있음 시행에서의 적중 반응은 출현확률과 관계없이 일정했던 반면 표적 없음 시행에 대한 정확한 기각 반응은 출현확률에 비례해 지연된 것이 관찰되었다. 이러한 결과는 표적이 빈번하게 출현할수록 표적 없음 상황에서 탐색을 종료하기 위한 탐색 역치 기준이 보수적이었음을 의미한다. 본 연구의 결과는 표적 출현확률 효과가 단순히 반응편향에 따른 속도-정확도 교환이 아닌 의사결정 기준의 변화에 기초한 상이한 탐색 정보처리 과정의 산물임을 시사한다.
The purpose of this presentation is to review the situation of the Cheju broiler industry peculiarized with the integrated production and marketing system to some degree, which is not prevailed in the whole broiler industry in Korea, so as to study the case of the Cheju industry from the viewpoint of an economic integration. The economic integration in the broiler industry is grouped into three patterns: non-integration, quasi-integration and complete integration, which generally exist under the different type of market competition. The quasi-integration tends to be formed at all phases where the complete integration is not fully implemented, but the non-integration has begun to change its nature into partially integrated structure. The Cheju broiler industry is characterized by the geographical location of isolated market so that factor supplies and broiler products are marketed in the different conditions from those of mainland Korea, somewhat in an oligopolistic pattern. It was since early 1980's that the industry successfully had three dressing plants merged into one by virtue of entire growers ownership, which opened an era of an integrated industry centered on the function of dressing birds. The case of Cheju broiler industry today is to be referred to as a typical quasi-integration which is coordinated the function between growing and dressing birds directly and extended the functional cooperation to distribution of products indirectly, while factor supplies are traded independently. As a result of a quasi-integration, the growers are able to receive a fixed price set by the dressing plant of growers that has the power to adjust the supply of and demand for broilers produced and consumed in the Island. There are some problems, however, in the integration of the Cheju broiler industry, stemming mainly from the process of the structure change, : 1) the difficulty of controlling the production of broilers, 2) continuing pressure on the integration by non-integrated sectors, 3) the challenge on the stabilized broiler market from the mainland, 4) limited effectiveness of consumer education activities, and 5) lack of leadership for the industry development through integration. It is projected that the partially integrated Cheju broiler industry will be continually developed toward the direction of a complete integration in due course, as the currently independent supply sectors are to be backward integrated. The case of the Cheju broiler integration, therefore, could be used as a reference for making the whole broiler industry in Korea develop toward the integrated structure in the future.
울릉분지 남단해역의 해상전자력치와 인근 육상고정관측점에서 장기관측한 지자기 자료로부터 지자장의 거동을 부식하고 자기이상분포를 해석하였다. 육상공정관측점에 서 14일에 걸쳐 지자상을 연속측정하여 연구지역 지자상의 변화양상을 분석하였으며, 해상에서 측정된 전자력치의 일련화보정에 이용하였다. 연구지역의 자기이상분포는 해 저지형의 변화에 의한 영향을 거의 반영하지 않는데, 그 원인은 주로 퇴적층하부의 기 반암분포에 있다. 자기 이상분포로 볼 때 연구지역은 그 특성을 달리하는 2구역으로 구분된다; 연안 대륙붕을 따라서는 최대 약 600 nT의 파장이 짧고 진폭이 큰 자기이상 분포가 나타나며, 그 동쪽으로는 해저지형의 큰 변화에도 불구하고 자기이상치가 단순 히 감소하면서 완만하고 진폭이 작은 저자기이상대가 분포한다. 연안의 고이상대는 자 기이상분포 형태 및 인근 육상지질분포 등으로 미루어 볼 때 화성관입체나 분출암 등 의 존재에 의한 것으로 보이며, 외해쪽의 저자기이상분포의 주요 원인은 자력원인 기 반암의 심도가 깊은 데 있다. 외해지역의 저자기이상대 내에서 선정된 3개의 자기이상 단면으로부터 스펙트럼 분석방법을 적용하여 구한 기반암까지의 심도는 외해로부터 차 례로 7.0 km, 5.0 km, 2.6 km 이며, 이는 기존의 탄성과 탐사 및 시추결과에 잘 대비 된다. 울릉퇴적분지의 특정적인 저이상대 및 자성기반의 심도분포가 분지의 생성과정 및 형태와 함께 Yamato 분지와 Japan 분지등 동해내의 다른 분지들과 유사한 것으로 보아, 연구지역인 울릉분지 남단에서의 자성기반도 Yamato 분지와 Japan 분지에서 정 의된바 있고, 주로 화산응회암과 현무암이 흔재되어 있으면서 자성이 낮은 것으로 알 려져 있는 L-2층에 대비할 수 있다.
본 연구는 건축 구조물의 방화 등으로 인해서 발생한 가연물의 연소현상을 분석하여 화재발생 시점을 예측하기 위한 기초 방안을 제시하였다. 이를 위해서 계단실 화재사고 사례로부터 가연물을 인터폰 개별현관기(이하 '인터폰'으로 표시)로 선정하고 룸코너시험기(room corner test equipment)에서 화재실험을 실시하여 시간 변화에 따른 발열량을 산출하였으며, 화재시뮬레이션 프로그램인 fire dynamics simulator (FDS)를 사용하여 화재성상 변화에 따라서 발화지점 하층부로 연기가 유입되는 시간을 비교하였다. 그 결과 가연물이 ABS 재질로 구성된 인터폰은 계단실 총 체적 공간 $291.3m^3$, 바닥면적 $23.3m^2$, 층간 높이 2.5 m인 경우 발화원의 열 유속 및 환경 조건에 따라서 최대 4.93배 정도 연기 유입 시간이 차이가 나는 것을 확인하였다. 본 연구는 가연물의 열화학적 특성 변화를 고려한 실험 자료를 해석모델에 적용하여 화재감식을 분석적으로 판단하는데 유용한 자료가 될 것으로 사료된다.
목적 : 세포의 성장 상태 즉, 지수적 증식기와 평형기 세포에서 방사선에 의한 c-jun의 발현 양상의 차이를 파악하고, 방사선조사 후 세포주기 분포를 분석하여 이들의 상관 관계를 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 사람 자궁경부암 세포주인 CaSki를 대상으로 날자 경과에 따른 세포성장곡선을 작성하여 지수적 증식기(제 4일)와 평형기(제 9일) 세포를 정하였다. 방사선조사는 6 MV 선형가속기를 이용해 2 Gy의 선량을 조사하였고, 이때 선량률은 3 Gy/min 이었다. 지수적 증식기와 평형기 세포 각각에 방사선조사 후 시간 경과에 따라 total RNA를 추출하여 northern blot analysis를 시행해 c-jun의 발현 양상을 관찰하였다. 또 방사선조사 후 시간 경과에 따라 세포를 얻어 유세포계측법을 이용해 세포주기 분포를 분석하였다. 결과 : 방사선조사 1 시간 후에 지수적 증식기와 평형기 세포 모두에서 최대의 발현이 관찰되었다. 그러나 이후 6시간까지 지수적 증식기 세포에서는 지속적으로 발현이 증가한 반면, 평형기에서는 점차 발현이 감소되는 양상을 보였다. 방사선에 의한 세포주기의 변화는 지수적 증식기에서 시간 경과에 따라 G0-G1에서 S, G2-M 기로의 이동이 더 활발히 일어났다. 결론 : c-jun 은 방사선조사 후 성장상태에 따른 세포 증식의 조절과 관련 있을 것이다.
최근 들어 자연형 하천과 하천생태계 복원에 대한 관심이 점증하면서 수리학적 기능 외에, 다양한 생태환경을 제공하고 하안 부근의 경관을 개선하는 기능을 가는 수제에 대한 관심이 커지고 있다. 그러나 현재 국내에는 수제설치에 대한 설계지침이 충분치 않을 뿐 만 아니라 국내 수행된 연구 자료가 매우 부족한 실정이다. 이에 본 연구에서는 수제 설계인자 해석을 위한 수리모형실험을 수행하였다. 실험조건은 수제선단 흐름변화와 수제하류부 재순환영역에 대한 고정상실험으로 수제길이와 투과율을 조절하여 수행하였다. 주요 분석은 수제 선단에서는 중앙부 유속증가와 세굴의 영향인자인 유속과 편향각을 측정하여 수제 선단유속비와 면적비에 대한 실험식을 제안하였다. 또한 수제하류부 재순환 영역에서는 수제 설치의 주요요인인 수제간격의 기초 자료를 해석하기 위해 흐름분리 길이와 입사각의 변화를 분석하였으며 투과율과 수제 설치각에 대한 실험식을 제안하였다.
DNA 결합 단백질 억제(Inhibitor of DNA binding protein) 또는 분화억제(Inhibitor of differentiation) 인자인 Id는 네 종류(Id1-4)가 있으며, 세포의 증식과 분화, 혈관 형성 및 세포자가사멸 등에 정 또는 부의 조절인자로서 널리 알려져 있다. 하지만 아직까지 번식생리 분야에서 이들 유전자들의 발현이나 기능에 관해 알려진 것은 거의 없다. 따라서 본 연구에서는 쥐 난소에서 난포의 발달에 따른 Id3 mRNA의 발현 양상을 살펴보고자 실시하였다. 쥐에게 PMSG주사 후, 3, 6, 12, 24, 36 및 48시간째에 난소를 회수하여 고정, 탈수 및 파라핀 포매를 실시하였다. In situ hybridization 실험을 위하여 anti-sense와 sense Id3 cRNA 탐침자를 제작한 다음 난소 절편에 반응시켰다. 반응이 끝난 난소 절편은 NTB-2 유광제에 노출시킨 후 현상액에 반응시켰다. 모든 처리가 끝난 슬라이드는 H&E 염색을 실시한 다음 현미경하에서 hybridization 감도를 1+에서 4+로 구분하여 평가하였다. 난자에서는 Id3 mRNA 감도가 원시와 제1차 난포에서 ${\geq}2+$으로 확인되었으나, 제2차, 우성 및 배란전 난포에서는 1+ 이하로 관찰되었다. 한편, 과립막세포에서는 우성과 배란 전 난포에서 Id3 mRNA가 3+ 또는 4+로 강하게 발현되는 것을 확인하였다. 이상의 결과를 종합하여 보면, Id3 mRNA는 난포의 발단 단계 또는 난포세포에 따라 특이적으로 발현하는 것으로 보아 난포의 발달과 밀접한 연관이 있을 것으로 사료된다.
가축의 행동에 대한 관심이 치근 고조되고 있으며, 향후에는 가축복지법의 규제도 받게 될 실정인데 비하여 우리 나라는 아직 동물과 환경과의 관계에 대한 연구가 미진한 실정이다. 돈사의 구조적 특성은 돼지에게 여러 가지 측면에서 영향을 미쳐 생산성을 좌우하게 될 뿐만 아니라 동물복지 차원에서도 연구가 진행되어야 할 시점이다. 따라서 본 실험은 무창 육성·비육돈사에서 계절별 환기시스템에 따른 휴식공간을 파악하고자 하였으며, 또한 측벽밀폐 비율이 돼지의 배분 습성에 미치는 영향을 조사하고자 하였다. 1. 돈방 측벽밀폐율을 50%, 75%, 100% 세수준으로 하였을 때 돼지의 배분습성은 온도, 습도, 공기유속과 상관없이 일정한 지역에 배분하는 행동을 보였다. 따라서 돼지는 돈방내의 어두운 지점에서 배분하는 것으로 관찰되어 무엇보다도 조명의 영향을 받는 것으로 나타났다. 2. 측벽 밀폐율에 따른 분뇨의 배분집적 높이는 50% 일 때 10cm, 75%는 5cm 그리고 100%일 때는 3 cm가 직접 되었으며, 폭은 각각 30 cm, 25 cm, 20 cm로 나타났다. 3. 돈방의 휴식공간에서의 암모니아 농도는 각 돈방 측벽의 배분율이 50%일 때 $4.2mg/{\ell}$, 75%는 $5.1mg/{\ell}$ 그리고 100%일 때 $5.8mg/{\ell}$그리고 100% 일 때 $5.8mg/{\ell}$으로 측정되어 돈방바닥면에 분뇨가 넓게 분포되는 100%일 때 암모니아의 농도가 가장 높았다. 이것을 배분습관과 연관되어 돈방내의 어두운 부분을 최소한 줄일 경우 휴식공간에서의 암모니아 농도는 줄일 수 있는 것으로 판단되었다. 4. 요인중 돼지의 휴식공간의 위치 영향에서 환경변인은 무엇보다도 공기유속인 등 하다. 겨울철에는 0.03 m/g 지점에서 휴식을 하였으며, 여름철에는 0.24 m/g 지점에서 휴식을 취하였다. 따라서 돼지의 휴식공간은 공기의 유속에 의한 영향이 매우 큰 것으로 관찰되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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